分子泵工作原理

分子泵工作原理
分子泵工作原理是基于分子的喷射和阱捕捉原理。

它主要由一个离心式转子和静心式假体构成。

离心式转子内置了多个直径较小的偶极子，通过高速旋转产生超高真空。

静心式假体则是一个由多个喷嘴和阱组成的结构。

在工作过程中，气体首先通过喷嘴从气压较高的一侧进入分子泵。

然后，在离心式转子的旋转下，气体会被强制向外喷射，并造成一种类似于分子束的效果。

当分子束到达静心式假体时，它们会被假体内的阱捕获。

静心式假体内的阱有多个结构，如圆环、螺旋或其他形状，用于捕获分子。

这些阱通常被加热以提高效率。

被捕获的分子在阱内不断碰撞和扩散，最终会降低其动能并以固体或液体的形式沉积在阱的壁上。

分子泵工作原理的关键在于离心式转子的高速旋转和静心式假体的捕获和降温效应。

通过这种原理，分子泵能够实现非常低的气压，甚至到达超高真空范围。

分子泵广泛应用于高科技领域，例如半导体制造、材料科学、航天工程等。