微机械电容式加速度传感器的信号电路设计

微机械电容式加速度传感器的信号电路设计
李敏毅; 王蕊; 杨德俊; 吴杰歆
【期刊名称】《《传感器世界》》
【年(卷),期】2005(011)007
【摘要】介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路,给出了在电路中所用的电子元器件,同时进行分析,得到电路的输出电压和传感器信号电容变化量之间的关系。

实验结果表明,该电路的线性高,测量差分电容变化的灵敏度好,是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路。

【总页数】3页(P31-33)
【作者】李敏毅; 王蕊; 杨德俊; 吴杰歆
【作者单位】广东省计量科学研究院工程师; 华南理工大学在读博士生
【正文语种】中文
【中图分类】TP212.12
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