TiO_2薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响

TiO_2薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响
刘成士;伍登学;赵利利;廖志君;卢铁城
【期刊名称】《稀有金属材料与工程》
【年(卷),期】2009(38)A02
【摘要】在硅衬底上利用电子束蒸发沉积了TiO2薄膜,利用椭圆偏振仪测量了不同沉积温度下的TiO2薄膜的折射率,发现其折射率随着沉积温度的升高而升高。

利用X射线衍射(XRD)仪对这些薄膜的结构进行表征,发现折射率高的样品其结晶化程度也高。

利用X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶红外吸收谱(FT-IR)相结合的方法对薄膜的成分进行分析,发现内部存在低价态的钛氧化物,使薄膜的折射率明显低于固体块材料的折射率。

【总页数】4页(P575-578)
【关键词】TiO2薄膜;折射率;电子束蒸发
【作者】刘成士;伍登学;赵利利;廖志君;卢铁城
【作者单位】四川大学辐射物理与技术国家教育部重点实验室;中科院国际材料中心
【正文语种】中文
【中图分类】O484.5
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