微电子电路生产实习课程教学大纲

微电子电路生产实习课程教学大纲

英文名称：Microelectronics Circuit Production Practice

课程编码：B09078

课程类别：必修

学分数： 1

学时数（理论、实验分别表示）：10 /30

周学时：8

课内学时/课外学时：10/30

授课学期：第七学期

适用专业：电子科学与技术

先修课程：集成电路制造技术

考核方式：写总结

一、教学目的要求。

生产实习是微电子技术专业教学计划中重要的实践性教学环节。目的是使学生了解微电子产品制作的全过程，巩固和丰富已学过的专业知识，培养学生的动手能力，理论联系实际能力。学生通过在实际操作中观察现象、发现问题，并分析与解决问题，从而掌握解决实际问题的方法和提高解决实际问题的能力，为后续课程学习和工作打好坚实的基础。

二、课程主要内容及基本要求。（标“*”者为重点内容；标“△”者为难点）

第一次熟悉分立器件生产线

参观：分立器件生产线△*

组织参观生产分立器件生产厂商或有关单位，了解分立器件生产的组织机构和生产情况。由生产实习指导教师联系组织生产实习产品厂参观，主要参观内容包括：

（1）分立器件的生产流程与生产工艺；

（2）分立器件的组装、检测与调试；

（3）请公司技术人员讲解产品的工作原理及相关技术；

（4）请企业经理介绍工厂的组织机构和生产组织管理情况。

第二次熟悉光电生产线

参观：光电生产线△*

组织参观光电生产厂商或有关单位，了解光电生产的组织机构和生产情况。由生产实习指导教师联系组织生产实习产品厂参观，主要参观内容包括：（1）请光电企业的经理介绍工厂的组织机构和生产组织管理情况；

（2）请光电公司的业务骨干讲解产品的生产流程与LED的新技术；

（3）请光电企业的技术人员讲解仪器的操作技术和产品的制造流程。

第三次熟悉功率器件流程

参观：功率器件制造企业△*

由生产实习指导教师联系组织功率器件制造企业参观，主要参观内容包括：（1）功率器件的生产流程与生产工艺；

（2）功率器件的组装、检测与调试；

（3）请功率器件公司的业务骨干讲解产品的工作原理及相关工艺技术；

（4）请功率器件公司的经理介绍工厂的组织机构和生产组织管理情况。

第四次熟悉PCB板生产流程

参观：PCB板制造企业

由生产实习指导教师联系组织PCB板制造企业参观，主要参观内容包括：（1）PCB板的生产流程与生产工艺；

（2）PCB板的组装、检测与调试；

（3）请电路公司的业务骨干讲解产品的工作原理及相关工艺技术；

（4）请电路公司的经理介绍工厂的组织机构和生产组织管理情况。

第五次实习后的观感及交流相互经验

实习后的观感及交流相互经验。

三、课程主要环节及时数分配见下表：

由厂方带领学生参观实习。

四、教学的深度与广度

掌握集成电路生产流程，了解集成电路设计、生产和工艺的最新动态。了解校内主要工艺的工作流程。

结合学过的理论，对每一道工艺取得感性的理解；根据电学参数，确定工艺步骤；运用《半导体工艺原理与技术》中相关知识，确定每一工艺条件及技术要求；应用工艺模拟软件对工艺条件进行模拟，先对工艺设计的正确与否进行验证，并通过模拟结果修改工艺步骤和条件；应用工艺设备，按照主要设计的工艺流程进行操作，掌握工艺操作技术。

五、对知识、能力结构、综合素质的要求

生产实习是微电子技术专业教学计划中重要的实践性教学环节。使学生了解微电子产品制作的全过程，巩固和丰富已学过的专业知识，培养学生的动手能力，理论联系实际能力。

六、与相关课程的衔接与配合

在集成电路制造线上与前面的集成电路制造工艺课程的理论相结合；在剔版图的过程中，将模拟集成电路、数字集成电路、半导体物理、电子电路等大量课程的相关知识进行融会贯通，运用到产品中。

七、主要教学方法

参观工艺线，请权威人士讲座，观看录像片，学生讨论等。

八、CAI课件、多媒体等现代教育技术手段的应用。

在请权威人士讲座中需要运用多媒体技术；观看录像片。

九、培养学生创新意识和能力的主要措施。

通过各种方法培养学生的创新意识和能力：

1、通过公司的具体实例，让学生了解创新的重要性；

2、让学生和工艺线上的员工一起工作和交流，使得学生了解别人是如何创

新的；

3、通过权威人士的讲座，让学生了解别人创业的辛苦；

4、让学生绘制各种电路图和版图，在学习的过程中创新；

5、通过学生相互的交流，可以了解同学的观点。

十、检查教学效果和评价学生学习质量的方式与方法。

通过实习观感和相互的讨论来了解学生的学习情况。

十一、教科书及主要教学参考书。

1、Stephen A. Campbell，曹莹等译，微电子制造科学原理与工程技术

（第二版），电子工业出版社，2004。