亚微米特征工艺尺寸静态随机存储器单粒子效应实验研究
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第４ 卷第１ 期 ４ ２
２ １年 １ 月 ００ ２
原
Hale Waihona Puke 子能科学
技
术
Ｖｏ１ ４ ＮＯ ２ ． ４， ．１
Ｄｅ ． ２ Ｏ ｃ ０１
Ａ ｔ ｍ ｉ ｏ ｃＥｎｅ ｇｙ Ｓｃｅ ｅ ａ ｄ Ｔｅ ｈｎ ｏｇ ｒ ｉｎｃ ｎ ｃ ｏｌ ｙ
亚微 米 特征 工 艺 尺寸 静态 随机 存储 器 单 粒 子 效 应 实 验 研 究
中图 分 类 号 ： Ｎ３ ５ ９ Ｔ ０ ．４ 文献 标 志码 ： Ａ 文 章 编 号 ： ０ ０６ ３ （ Ｏ ０ １ －４ ８０ １ ０ — ９ １ ２ １ ） ２１ ９ — ７
Ｅｘ ｅ ｉ ｅ ａ ｓ ａ ｃ ｆ Ｓ ｐ ｒ ｍ ｎｔ ｌＲｅ ｅ ｒ ｈ ｏ ＥＵ ｎｄ Ｓ ａ ＥＬ ｎ Ｈｉ ｈ Ｄｅ ｉｙ Ｓ ｉ ｇ ｎｓｔ ＲＡＭ ｓ Ｗ ｉｈ Ｓｕ — ｉ ｒ ｎ Ｆｅ ｔ ｒ ｉ ｅ ｔ ｂ ｍ ｃ ｏ ａ ｕ ｅＳ ｚ ｓ
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同集 成 度 （Ｍ 、Ｍ 、Ｍ 、６ 静 态 随 机 存 储 器 （ Ｒ １ ４ ８ １ Ｍ） Ｓ ＡＭ） 粒 子 翻 转 （ Ｅ 和 单 粒 子 闩锁 （ Ｅ ） 验 研 单 Ｓ Ｕ） ＳＬ实
究 ， 出 了 Ｓ ＡＭ 器 件 的 Ｓ Ｕ、 Ｅ 给 Ｒ Ｅ Ｓ Ｌ截 面 曲线 。 与 ｍ 级 特 征 尺 寸 的 器 件 相 比 ， 特 征 尺 寸 的 减 小 ， 随 单
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粒 子 翻 转更 加 严 重 。测量 到 了令 人 关 注 的 单 粒 子 多 位 翻 转 （ Ｕ） 应 ， 翻 转 位 数 进 行 了统 计 分 析 。 ＭＢ 效 对
ＭＢ 对 目前 卫 星 系 统 采用 的 Ｅ ＡＣ技术 提 出 了挑 战 。 Ｕ Ｄ
关 键 词 ： 态 随 机存 储 器 ； 位 翻转 ； 离 子 加 速 器 静 多 重
郭红霞， 尹虹， 罗 姚志斌， ５张科营， 平， 张凤｝， 何宝 王园明
（ 北 核 技术 研 究 所 ， 西 西安 西 陕 ７０ ２ ） １０ ４
摘 要 ： 用 中 国 原 子 能科 学 研 究 院 重离 子 加 速 器 ， 展 了不 同 特 征 尺寸 （ ． ５ ． ３ ｍ） ＭＯ 利 开 Ｏ ３ ｔＯ １ Ｃ Ｓ工 艺 、 不
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第４ 卷第１ 期 ４ ２
２ １年 １ 月 ００ ２
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Hale Waihona Puke 子能科学
技
术
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亚微 米 特征 工 艺 尺寸 静态 随机 存储 器 单 粒 子 效 应 实 验 研 究
中图 分 类 号 ： Ｎ３ ５ ９ Ｔ ０ ．４ 文献 标 志码 ： Ａ 文 章 编 号 ： ０ ０６ ３ （ Ｏ ０ １ －４ ８０ １ ０ — ９ １ ２ １ ） ２１ ９ — ７
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