精编电子特气基础知识

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(汇总)电子特气基础知识.ppt

9600 11
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3ห้องสมุดไป่ตู้
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
➢废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM

厂务大宗气体及特殊气体系统知识

()：
利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氩气，因氩气在空气中含量仅0.93﹪，生产成本相对较高。
2 ()：
利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0﹪以上纯度之氢气。另外可由水电解方式解离H2＆O2，制程廉价但危险性高易触发爆炸，液化后易于运送储存。
()：
简单知识基本掌握
第一章气体概述
由于制程上的需要，在半导体工厂使用了许多种类的气体，一般我们皆依气体特性来区分，可分为一般气体（）与特殊气体（）两大类。
前者为使用量较大之气体，如N2、等，因用量较大，一般气体常以大宗气体称之。
后者为使用量较小之气体•一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威胁的气体，如4、3等
系
统
基
础
知
识
概述
专业认知
一、厂务系统定义
乃是藉由连接以传输使机台达到预期的功能。是将厂务提供的(如水,电,气,化学品等),经由预留之连接点( ),藉由管路及电缆线连接ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ机台及其附属设备( )。
机台使用这些,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。项目主要包括∶，，，，，，，, .
2.（配件）
3.（阀件）
4.（调压阀）
5.（逆止阀）
6.（过滤器）
7.（真空产生器）
8.其他
2.1.2选料依据：
•气体种类,气体特性
*影响材料使用的等级– / / / /….
•业主需求及预算
*有无指定厂牌或规格
•依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸
*影响材料使用的尺寸–¼”/¾”/15A/…….

电子基础知识培训资料

电容器的允许误差有用百分数的，也有用误差等级的。对应关系：±1%---00级；±2%---0级； ±5%---Ⅰ级； ±10% ---Ⅱ级； ±20%---Ⅲ级。
2、额定工作电压
额定工作电压是指电容在电路中长期可靠地工作允许的最高直流电压。电容工作在交流电路中时，交流电压的峰值（最大值）不得超过额定工作电压。
code value code value code value code value code value code value code value code value 01 100 13 133 25 178 37 237 49 316 61 422 73 562 85 750 02 102 14 137 26 182 38 243 50 324 62 432 74 576 86 768 03 105 15 140 27 187 39 249 51 332 63 442 75 590 87 787 04 107 16 143 28 191 40 255 52 340 64 453 76 604 88 806 05 110 17 147 29 196 41 261 53 348 65 464 77 619 89 825 06 113 18 150 30 200 42 267 54 357 66 475 78 634 90 845 07 115 19 154 31 205 43 274 55 365 67 487 79 649 91 866 08 118 20 158 32 210 44 280 56 374 68 499 80 665 92 887 09 121 21 162 33 215 45 287 57 383 69 511 81 681 93 909 10 124 22 165 34 221 46 294 58 392 70 523 82 698 94 931 11 127 23 169 35 226 47 301 59 402 71 536 83 715 95 953 12 130 24 174 36 232 48 309 60 412 72 549 84 732 96 976

电子基础知识培训教材

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三极管（又称三极体、电晶体）
集电极
发射极基极
集电极
HMBT2222A/NPN 贴片三极管
发射极
基极 HSD1616A/NPN 插件三极管 MJD112/NPN 贴片三极管
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三极管表示之方法
符号 TR （Transistor的缩写）或Q
电路符号
c b
e
NPN型三极管
c b：基极
b
c：集电极
2.2 µF、100V、 1206型贴片电容
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贴片电容要注意
▲此类电容一定要通过隔离、标示对其加以保存，万一混在一起可以通过大小、颜色或使用万用表测其容值加以区分。
▲贴片电容之型号分类同贴片电阻，如“0603#”、 “0805#”、“1206#”，电容无功率之分。 ▲如何用万用表测一未知容值电容：
将万用表调至电容档“Cx”，并尽量调到较大的档位，电容两极引出插入对应之孔位，若其读数很小，则换用较小之档位；若读数很大甚至无读数，调至最大档位。注意其单位有两种：nF/ µF。
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3、电感
符号 L（Inductance）
单位 H （亨利）
电路符号
一般符号
带铁心型
1H=1000mH
1mH=1000µH
介电容、电解电容、有机薄膜电容等。
24
电容的表示方法
符号 C（Capacitor的缩写）
单位 F （法拉）
电路符号
一般符号
）
国际标准
电解电容
1F=1000mF 1mF=1000µF 1µF=1000nF 1nF=1000pF
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认识电解电容
■我们所见到的插件电容即为电解电容。
■电解电容有极性。 ■如何判断其正负极：

电子特气基础知识

按物理状态分类
电子特气可分为气态、液态和固态。气态电子特气主要是指常温常压下呈气态的气体，如氧气、氮气等；液态电子特气主要是指低温液化或加压液化后存储的气体，如液氧、液氮等；固态电子特气主要是指加温后呈气态的气体，如二氧化碳等。不同物理状态的电子特气具有不同的储存和使用要求。
02 电子特气的应用领域
电子特气的储存和运输存在一定的安全隐患，高纯度电子特气对储存和运输的条件要求较高，需要严格控制温度、湿度、压力等条件。解决方案：加强储存和运输环节的安全管理，制定严格的操作规程和安全管理制度，确保电子特气的安全储存和运输。
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酸碱性质
02 部分电子特气呈酸性或碱性，如氯化氢和氨气等。
氧化还原性质
03
一些电子特气具有氧化性或还原性，如氧气和氯气等
。
电子特气的稳定性与纯度
稳定性
电子特气在储存和使用过程中应保持稳定，避免与空气中的氧气、水蒸气等物质发生反应。
纯度要求
电子特气需要高纯度，以避免杂质对电子器件性能的影响。纯度通常以9N、 99.9999999%等表示。
05 电子特气的安全与环保
电子特气的安全特性
低毒性
01
电子特气中的大部分气体都是低毒或无毒的，对操作人员的健
康影响较小。
稳定性
02
电子特气在常温常压下不易与其他物质发生化学反应，具有较
好的稳定性。
惰性
03
部分电子特气如氩气、氦气等具有很强的惰性，不易与其他物
质发生化学反应。
电子特气的储存与运输安全
电子特气基础知识
目录
• 电子特气的定义与分类 • 电子特气的应用领域 • 电子特气的物理化学性质 • 电子特气的生产工艺与技术 • 电子特气的安全与环保 • 电子特气的发展趋势与挑战

特气

第二节特殊气体前言在半导体集成电路制造过程中使用种类繁多的特种气体,这些气体大都具有易燃,易爆,有毒等危险特性,所以我们必须要充分了解这些特性,根据它们的安全特性制定不同操作方法,才能安全地使用它们。

即使发生安全事故,我们也必须知道怎么样去正确处置。

2-1半导体制造用特殊气体在搬送上的注意事项(1)气瓶的使用必须在指定的场所进行,其它场所严禁(2)与气瓶配套使用的阀门,压力计,流量计等部品必须专用,严禁各气体间混用(3)气瓶使用前需确认气瓶是否固定好,H2气瓶最好有接地装置(4)处置发生气体泄漏后气瓶时,为了避免残存有害气体的伤害,首先进行有效的通风,处置人员必须穿着空气呼吸器,并且把可燃物品清除出去(5)其它方面的注意事项同有毒,可燃性气体的处置注意事项相同2-2气体的保管,使用,运输2-2-1保管(1)气体存放地方需取得相关部门的认证(2)气瓶的存放处周围2米内火源,易燃物严禁放置(3)为了避免气瓶上方重物坠落损伤气瓶及阀门,所以气瓶放置处上方严禁悬挂重物,另外气瓶需用金属绳给予固定(4)气瓶的保管温度应在40℃以下(5)在特气放置处附近为了防止火源接近,必须悬挂”禁烟”“严禁烟火”“危险”等安全警示标示(6)特气放置处必须配备有效的消防设施(碳酸灭火器,消火栓等)(7)特气放置处还需配备毒气吸收剂,中和剂及防毒面具,空气呼吸器等装置2-2-2气体使用过程中的注意事项(1)特气使用场所应保证室温在40℃以下(2)为了防止气瓶翻倒,需对气瓶进行固定,如固定用链条,固定架等(3)气瓶的阀门在开启和关闭时动作要轻,使用后的气瓶在关闭阀门后需盖上保护罩(4)在气瓶使用前,必须对阀门,配管,压力计等拆装部分用检漏液进行检漏(5)易燃气体使用在减压设备时,气瓶与设备之间必须要有逆止法(6)特气相关的作业过程中必须两人同时进行2-2-3气体的移动(1)在搬送易燃性和有毒性气体时,需严格遵守国家的相关法律及法规(2)特气运输车在运输气体时,必须配备消防设备,防毒器具,吸收剂,保护眼镜(3)在气瓶使用现场搬送气瓶时应使用专用搬送小车,避免碰伤气瓶2-3特气分类(1)可燃性气体(2)有毒性气体(3)卤素类气体(4)非金属类化合物(5)碱性气体(6)酸性气体(7)无机酸气体(8)惰性气体2-4异常事故处置2-4-1火灾2-4-1-1一般注意事项(1)火灾发生时重点处置对策内容(a)气体爆炸(b)有毒气体中等(c)气瓶阀门损坏，气瓶破裂(2)与火灾发生相关对策(a)火灾发生时要及时通知周围的人及安全管理主任者(b)较大的火灾应及时通知消防部门(C)当发生严重的毒气泄漏时，消防部门，医疗救护部门等相关部门要进行联合调查处置(3)参加灭火人员应具备危险气体的消防知识2-4-1-2火灾周边的处置(1)可移动的气瓶迅速转移到安全场所(2)如果气瓶不可移动，要对气瓶进行冷却处理防止气瓶发生爆裂(3)危险的易燃和有毒气体应优先转移到安全场所(4)相关人员迅速实施避难2-4-1-3着火气瓶的处置(1)为了防止二次火灾发生，将着火气瓶移动到其他场所进行灭火(2)在处置着火气瓶时，一定要注意易燃，有毒气瓶的爆裂和泄漏(3)一定要佩带保护用具，并且在灭火时一定要在上风方向(4)用水冷却是最为有效的救火方法，但也可根据情况使用灭火器和灭火沙2-4-2受伤人员的处置2-4-2-1一般注意事项(1)被害者迅速转移到安全场所(2)对被害者进行紧急救护(3)与紧急救护医院进行联络2-4-2-2紧急处置对策（1）当吸入有毒性气体后，首先将被害人转移到空气新鲜的场所休息，松开衣扣，并且盖上保暖物，如有必要可进行吸氧。

电子特气基础知识_2022年学习材料

电子特气基础知识电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识-■1.电子特种气体分类：-可燃气体-SiH4;CH4;PHa;B2He;As a;GeH4;H2;CH2F2;SiH2Cl2;SiHCl3.......-√氧化性气体-O2;NF3;N O;Cl2;CIF3;NO.....-√腐蚀性气体-HCl;HBr;BCl3;BF3;SiCl4;NH3: F6;Cl2;SiHCl3;SiH2Cl2.....-√惰性气体-N2;He;Ar;Kr;Xe;CF4;C F6;C3F8;CHF3......-2.电子特种气体的危害-般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛或运输，每种气体-都有一种或两种以上的危害性.
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-可燃气体的燃烧范围-Gas-SiH4-NH32-C2H2-CH4-ห้องสมุดไป่ตู้H3-B2H6-GeH4-Flammable Range-1.496%-15-27 -4-75%-2.5-82%-5-15%1.6~98%-0.8-98%-N/A-10
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-氧化性气体：-●定义：-能够加速燃烧或使可燃物燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性-●例如：-Oxygen 02-Fluorine F2-Chlorin CL2->Nitrous OxideUnstableNOX-Nitrogen Oxide NO-Chlo ine Trifluoride CLF3->Nitrogen Trifluoride NF3-●控制方法： >尽量洁净无油，油脂，或有机物->对氟气应用系统进行金属钝化->远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧 11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-特种气体毒性比较表-TLV-TWA-STELEL-IDLH-LC50-LD50-Gas-PPM-PPM/4 hour-mg/kg-CF4-N/A-NH -20-35-300-350-SiH4-9600-PH3-0.3-11-GeH4-0.2-1380-125 -B2H6-0.1-15-29-AsH3-0.05-BCH33-7

集成电路及半导体行业特气安全培训

特气间布局图
H/LPN2
LPN2
H/LPN2
H/LPN2
HBr HBr
危化品间 BCl3 BCl3
NH3
SiH4
NH3
SiH4
C3H8 C3H8
毒腐间 NH3(BSGS) 5%SiH4 易燃易爆间 NH3(BSGS) 5%SiH4
C2H4 C2H4
H2纯化间
TCS
NH3(BSGS) 10%PH3
TCS
CF4
介电质工艺Clean gas
ETCH and CVD
......
......
...... 7
Part 3 特气安全事故案例
特气爆炸事故案例
时间：2005年11月23日地点：台南生产太阳能电池的MOTECH工厂事故：硅烷钢瓶发生爆炸损失：一人当场烧死，所有气柜、面板及管线烧毁，直接经济损失130万美金。经过：硅烷气柜泄漏报警，操作工过去检查，打开气柜瞬间发生爆炸。
9
特气泄露中毒事故案例
RH化工氯气泄漏事故
10
瓶装特气事故视频
10·10燃气爆炸视频
普通气瓶事故视频
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Part 3 特气安全风险
特气安全风险
危害因素压力热膨胀缺氧易燃性氧化性毒性腐蚀性低温包装重
风险爆炸爆炸窒息火灾、爆炸火灾、爆炸中毒腐蚀、灼烧冻伤砸伤
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房通风换气率不应低于18m³/(h.m²)。 2. 特种气体气瓶柜、阀门箱应设置机械排风装置。 3. 大宗特种气体站房应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量计算确定，但房间
换气次数不应小于12次/h。事故通风应与特种气体站房环境探测器进行联锁，并应在特种气体站房外设置事故通风紧急按钮。 4. 特种气体站房宜设置空调系统，室内温度、湿度设计参数应满足气瓶柜的要求，当气瓶柜无具体要求时，室内设计参数宜满足温度为 23℃±5℃，湿度为30%～70%的环境要求。

special gas 特气(jorphine)知识讲解

管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal faceseal）的方式进行。
一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和 Swagelok 两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。
一般情况下，VCR 式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于1 0 - 9c c 的氦气泄漏率（Leakage Rate）[4]。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。
设备
特气传输与控制——VMB/VMP
Valve Manifold Box
Valve Manifold Panel
特气传输与控制——气体管件在安装
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。
管件与管件间的连接最好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用氩弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的氩气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。
Outlines
-
Path VMB SubVMB
SubVMB SubVMB Sub-
-
Hole 1 Hole 2 Hole 3
Gas Name SiF4
Manual
Regulat Transdu
Valve V-Block or
cer
Filter
Up Stream Valve
Y
-
Y
Y
Y
Y
O2

电子特种气体的概述与应用领域分析

电子特种气体的概述与应用领域分析概述：电子特种气体也被称为电子气体，是一类在电子器件制造和工业应用中广泛使用的气体。

这些气体具有优异的电气特性，可用于各种电子设备、半导体制造、光学与激光器件等行业。

本文将对电子特种气体的概述和应用领域进行分析。

应用领域分析：1. 半导体领域：电子特种气体在半导体行业中扮演着重要的角色。

其中，氩气是一种常用的半导体制造气体，用于填充晶圆制造过程中的工艺室，实现半导体材料的生长和制备。

氩气作为惰性气体，稳定性高且不易与材料发生反应，能够提供最佳生长条件，确保晶体质量。

此外，氮气也是半导体制造中常见的特种气体，用于氮化物半导体材料的生长，并能控制半导体中的杂质浓度，提高材料的电气性能。

2. 光学与激光器件领域：电子特种气体在光学与激光器件领域有着广泛的应用。

例如，氦气常用于激光器件中的氦氖激光器，其具有高能量密度和较长的寿命。

氦气能够通过放电激发氖原子，产生激光输出，被广泛应用于医疗、科研、通讯等领域。

此外，氩气也常用于激光激发器和氩离子激光器。

这些激光器可以产生高功率、高光束质量和狭窄的光谱线宽，广泛应用于医疗、材料加工、测量、科研等领域。

3. 光伏领域：光伏技术是利用太阳能将光转化为电能的技术。

电子特种气体在光伏领域中起到重要的作用。

硒气常用于薄膜太阳能电池的生产过程中，用于薄膜材料的沉积过程。

硒化镉薄膜太阳能电池具有高转换效率和较低的成本，被广泛用于屋顶光伏系统等应用中。

4. 电子器件领域：除了半导体行业外，电子特种气体还在其他电子器件的制造过程中发挥关键作用。

例如，氩气和氮气被广泛应用于液晶显示器的制造过程中，用于制造压电材料、填充显示器背光等。

这些特种气体能够提供特定的环境和稳定的化学性质，帮助生产出高质量的液晶显示器产品。

5. 医疗领域：电子特种气体在医疗领域中也有重要的应用。

例如，氧气是医院中最为常见的特种气体之一。

氧气被用于供给氧疗，帮助患者维持生命功能，治疗呼吸系统疾病。

电子特气基础知识

Chapter 2:硅烷Silane

系统设计：
MDA 监测泄漏；使用紫外/红外监视器来检测起火。消防喷淋系统；气源有紧急切断装置；气源钢瓶之间用耐火隔断板隔开；气路系统设计要完全独立于其他系统，特别是要同氧化性气体系统完全分开（GN2）；钢瓶阀门安装限流器；安装单向阀。
N/A 9600 11 1380 29
N/A 350
0.3 0.2 0.1 0.05
1250
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
呼吸皮肤吸收消化系统
控制中毒的方法
控制库存充分通风正常通风（开放式，自然通风） Emergency（风机或排风扇强制通风）监测系统环境监测器医疗检测个人防护用具
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
化学窒息性气体：
定义:
１．能够阻止血液携带氧气；或２．能够阻碍氧气从肺部运输到组织器官，或３．能够阻止组织器官吸收氧气，尽管血液中含氧丰富．例如:
• Carbon Monoxide CO • Hydrogen Sulfide H2S • Hydrogen cyanide HCN
力泄放阀为主要保护，爆破片为第二保护．
密闭空间要进行充分通风，特别对于液氧和液氢．
16
Chapter 1:ESG Basic Knowledge 腐蚀性液体：
性质类似于腐蚀性气体，除了蒸汽压力低于15psig 的液体．
例如:
Dichlorosilane SiH2Cl2; DCS
废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge 腐蚀性气体

电子基础知识222

(3) 電容的特性﹕隔直通交。
(4) 作用﹕用於貯存電荷的元件﹐貯存電量充值放電﹑濾波﹑耦合﹑旁路。
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3﹒電容的單位及換算公式﹕
a 電容的單位﹕基本單位為法拉(F)。常用的有微法(UF)﹑皮法 (PF)。 b 換算公式﹕1F=103MF=106UF=109NF=1012PF
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五﹑電感﹕
1﹒用字母L表示﹐在電路中的符號為﹕ 2﹒電感的單位﹕最基本的單位為亨利(H)﹐常用的有毫亨(MH)﹐
微亨(UH) 3﹒換算公式為﹕1H=101MH=106UH 4﹒電感數值的認法與電阻類似﹐但後面的單位為UH。
成翔电子(東莞)股份有限公司
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二﹑電容﹕
﹒ 1 種類﹕按極性可分為有極性電容和無極性電容。其中常用的
有極性電容為電解電容和鉭質電容。無極性電容常用的有陶瓷電
容(又稱瓷片電容)和塑膠電容(又稱麥拉電容)。
2﹒電容的電路符號及字母表示法﹕
(1) 電容的電路符號有兩種﹕
為有極性電容
為無極性電容
+-
(2) 電容字母表示﹕C - ) +
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一﹑電阻
1﹒種類﹕
a 按製作材料可分為﹕碳膜電阻﹑金屬膜電阻﹑線繞電阻
和
用
水泥電阻等。其中常用的為碳膜電阻﹐而水泥電阻則常
於大功率電器中或用作負載。
3﹒電路符號及字母表示﹕
+ -
+-
+

半导体材料（3）-电子特气

半导体材料（3）-电子特气电子特种气体又称电子特气，是电子气体的一个分支，相较于传统工业气体，纯度更高，其中一些具有特殊用途。

电子特气下游应用广泛，是集成电路、显示面板、太阳能电池等行业不可或缺的支撑性材料。

生产过程特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。

气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，通过化学反应得到气体粗产品。

气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。

气体混配是将两种或两种以上有效组分气体按照特定比例混合，得到多组分均匀分布的混合气体。

气瓶处理是根据载气性质及需求的不同，对气瓶内部、内壁表面及外观进行处理的过程，以保证气体存储、运输过程中产品的稳定。

气体充装是指通过压力差将气体充入气瓶等压力容器；气体分析检测即为对气体的成分进行分析、检测的过程。

电子特气分类根据制备方法和应用领域的不同，工业气体可以分为大宗气体和特种气体。

大宗气体包括空分气体(由空气分离得到)和合成气体，该类气体产销量大、对纯度要求低，主要用于化工能源、金属冶炼、机械制造等；特种气体可分为高纯气体、标准气体和电子特种气体。

电子特气的下游应用包括集成电路IC、显示面板(LCD、OLED)、光伏、LED等。

图1.工业气体的分类及应用资料来源：华特气体、浙商证券集成电路制造需经过硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等工艺环节，这个过程中需要的高纯特种气体和混合气体的种类超过50种，且每一种气体应用在特定的工艺步骤中。

此外，在显示面板、LED、光伏电池片等器件的制造中的不同工艺环节均会用到多种特种气体。

表1. 电子特气在不同领域的应用资料来源：CNKI、东兴证券根据应用领域，将电子特气细分为刻蚀用气体、CVD 用气体、稀释气体、掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、发光二极管用气体等。

表2. 电子特气在不同领域的应用资料来源：CNKI、东兴证券市场结构及规模在全球电子特气市场中，半导体所消费的特种气体占总市场的73%，其次是显示面板占比约20%，化合物半导体与LED、光伏则分别占到4%、3%。

电子特气制备工艺流程

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电子特气制备工艺流程（大纲）一、电子特气概述1.1电子特气定义及分类1.2电子特气的应用领域1.3电子特气制备的意义二、电子特气制备方法2.1物理制备方法2.1.1蒸馏法2.1.2膜分离法2.1.3吸附法2.1.4冷冻法2.2化学制备方法2.2.1化学合成法2.2.2催化转化法2.2.3电化学反应法2.2.4光化学反应法三、电子特气制备工艺流程3.1原料的选择与处理3.1.1原料的选择3.1.2原料的处理方法3.2制备工艺流程设计3.2.1工艺流程概述3.2.2工艺参数优化3.2.3设备选型与布局3.3电子特气提纯工艺3.3.1物理提纯工艺3.3.2化学提纯工艺3.3.3联合提纯工艺3.4电子特气分析与检测3.4.1分析方法与技术3.4.2检测设备与标准3.4.3质量控制与评价四、电子特气制备过程中的关键问题4.1设备材质与性能4.1.1设备材质选择4.1.2设备性能优化4.2安全生产与环境保护4.2.1安全生产措施4.2.2环境保护措施4.3生产成本与经济效益4.3.1成本分析4.3.2经济效益评估五、电子特气制备发展趋势与展望5.1新型制备技术的研究与应用5.2电子特气市场前景分析5.3电子特气在新兴领域的应用探索5.4绿色环保制备工艺的发展趋势5.5智能制造技术在电子特气制备中的应用前景一、电子特气概述电子特气，顾名思义，是在电子产品生产和半导体制造中使用的一种特殊气体。

电子特气-芯片制造的血液

电子特气-芯片制造的血液电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等三大领域的“血液”。

电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关。

根据techcet，2020年全球电子气体市场规模约为58.5亿美元，其中电子特气的市场规模为41.9亿美元，占比71.6%。

以海外龙头林德集团（含普莱克斯）、空气化工、液化空气和日本酸素为首的气体公司占有全球90%以上的电子特种气体市场份额。

因半导体产业对气体质量、供应的特殊要求，中国半导体企业生产工艺中所使用的电子气体亦被海外龙头所垄断。

随着未来疫情的缓解、能源革命与计算革命带动的半导体行业景气持续，预计2025年全球电子气体市场规模将超过80亿美元，年复合增速预计达到6.5%。

01.电子气体，电子工业的血液工业中，把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。

工业气体是现代工业的基础原料，其广泛应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造、食品、冶金、化工、机械制造等新兴行业及国民经济的基础行业，对国民经济的发展有着战略性的支持作用，因此被喻为“工业的血液”。

▲工业气体产业链根据制备方式和应用领域的不同，工业气体可分为大宗气体和特种气体两类，大宗气体主要包括氧、氮、氩等空分气体及乙炔、二氧化碳等合成气体，特种气体品种较多，主要包括电子特种气体、高纯气体和标准气体等。

全球工业气体市场近年来呈现稳步增长的态势，2020年全球工业气体市场规模约为920亿美元。

未来随着高新技术产业的兴起，新兴分散用气市场将逐渐崛起，为中国国内气体零售商的发展开拓出更大的空间，从而促进工业气体行业发展。

2019年中国工业气体行业市场规模为1477亿元，同比增长9.5%。

▲2014-2019年中国工业气体市场规模特种气体按其应用可分为电子特种气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等，广泛应用于电子半导体、化工、医疗、环保、高端装备制造等领域，2018年中国特种气体下游各细分领域占比情况如下：电子半导体使用占比约为41%，化工气体使用占比约为39%。