钇离子注入改善Co-40Cr合金表面氧化膜粘附性的作用
表面工程习题
名词解释1、表面重构：在平行基底的表面上，原子的平移对称性与体内显著不同，原子位置作了较大幅度的调整，这种表面结构称为重构。
2、离子镀：在真空料件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。
3、表面改性：采用某种工艺手段使材料表面获得与其基体材料的组织结构、性能不同的一种技术。
4、莱宾杰尔效应：受环境介质影响以致表面自由能的减少，从而导致固体材料的塑性、强度降低减小的现象。
5、等离子体:是一种电离度超过0.1%的气体，是离子、电子和中性粒子（原子和分子）所组成的集合体。
6、化学镀：在没有外电流通过的情况下，利用化学法使溶液中的金属离子还原为金属并沉积在金属表面，形成镀层的一种表面加工方法。
7、物理气相沉积：在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子，或离子化为离子，直接沉积到基体表面的方法。
8、阳极氧化：是指在适当的电解液中，以金属为阳极，在外加电流的作用下，使其表面生成氧化膜的方法。
9、真空化学热处理：是在真空条件下加热工件，渗入金属或非金属元素，从而改变材料表面化学产能成分、组织结构和性能的热处理方法。
10、贝尔比层：固体材料经切削加工后，在几微米到几十微米的表层中，可能发生组织结构的剧烈变化，而最外的5-10nm 厚可能形成的一种非晶态层。
11、现代表面技术：为满足某种特定的工程需要，使金属表面或零件表面具有特殊的成分、结够、功能的物理化学方法与工艺。
12、磷化：把金属放入含有Mn\Fe\Zn 的磷酸盐溶液中进行化学处理，使金属表面生成一层不溶于水的磷酸盐保护膜的方法。
13、CVD: 在一定的真空度和温度下，将几中含有构成沉积膜层的材料元素的单质或化合物反应源气体，通过化学反应而生成固态物质幷沉积在基体上的成膜方法。
二、填空题1、CVD 分类，按综合分类为热激发CVD 、低压CVD 、等离子体CVD 、激光（诱导）CVD 、金属有机化合物CVD 等。
激光熔覆修复技术在40Cr轴类零件现场修复中的应用
表3 不同激光工艺参数的金相组织
扫描速度 /mm·s-1
激光功率 /kW
0.8
1.0
1.2
1.4
1.6
2
4
6
8
热加工
39 2021年 第6期
焊接与切割
Welding & Cutting
d
b c
a）多层修复整体形貌 b）修复区底部与基体结合区形貌
图3 单因素试验熔覆深度、熔覆宽度和热影响区统计结果
2 试验设计
2.1 试验材料 试验用的基体材料为风机主轴40Cr钢，试验
前，将试样表面的油、锈和氧化物除去。采用的 Ni60A粉末颗粒直径为53~150μm，在扫描电子显微 镜（SEM）下，发现粉末形状为规则的球体，球状 粉末具有良好的流动性，如图1所示。基体与粉末材 料的主要化学成分见表1。
热加工
合金堆焊层的组织结构、硬度和耐蚀性能，结果表 明，Ni60堆焊层硬度约为500HV，明显高于基体。 李金华等[13]采用正交试验法研究了激光熔覆过程中 相对工艺参数对Ni60合金粉末组织和显微硬度的影 响，结果表明，不同工艺参数下熔覆层的显微硬度 差异不大，主要集中在680～720HV，而熔覆层的高 度波动较大。
组
序号
1-1
1-2
1
1-3
1-4
1-5
2-1
2-2
2
2-3
2-4
2-5
功率 /kW 0.8
1 1.2 1.4 1.6 0.8 1 1.2 1.4 1.6
扫描速度 /mm·s-1 2 2 2 2 2 4 4 4 4 4
图2 激光修复试验系统
表2 修复工艺参数
送粉率 /r·min-1
阳极氧化醋酸镍封孔原理
阳极氧化醋酸镍封孔原理
阳极氧化醋酸镍封孔是一种表面处理技术，它通过在铝合金表面形成致密的氧化膜来
提高其耐腐蚀性和硬度。
封孔是这种氧化处理过程的一个关键步骤，它通过填充氧化膜中
的微小孔隙来进一步提高涂层的密封性和稳定性。
本文将介绍阳极氧化醋酸镍封孔的原理
及其影响因素。
1. 氧化膜的形成原理
阳极氧化是一种将金属表面转化为氧化物的化学反应。
在铝表面形成氧化膜的过程中，一般采用电解液为主要反应介质。
在电场作用下，铝表面的阳极区域会释放出氧化物离子，同时阴极区域会产生氢气。
氧化物离子和铝反应产生氧化物薄膜，这种化学反应的核心机
制是氢氧化物的形成。
氧化膜的形成受到多种因素的影响，如电解液成分、电场强度、温度等。
其中，电解
液中镉离子和醋酸离子对氧化膜的形成起着重要作用。
镍离子通常用于改善氧化膜的染色
和耐腐蚀性能。
2. 封孔原理及影响因素
氧化膜的封孔处理通常采用化学或物理方法，其中化学封孔受到较广泛的应用。
化学
封孔一般通过在氧化膜上浸渍一种封孔液体实现，这种封孔液体可以渗入氧化膜中的孔隙，在氧化膜表面形成一种致密的封孔层。
常用的封孔液体包括醋酸镍、醋酸铝、硫酸铵等。
封孔液体的选择和浸泡时间等参数会影响氧化膜的性能。
例如，醋酸镍的浓度和浸泡
时间可以对氧化膜的颜色和硬度产生明显的影响。
此外，氧化膜的加工方式也会影响封孔
的效果。
在阳极氧化之前，必须注意表面清洁和去除油污等因素，以便确保氧化膜的形成
和封孔的有效性。
表面工程学复习资料
表面工程学复习资料第一章绪论1．表面工程技术：为满足特定的工程需求，使材料或零部件表面具有特殊的成分、结构和性能的化学、物理方法与工艺。
2．表面工程技术内涵：（1）表面改性技术。
能够提高零部件表面的耐磨性、耐蚀性、抗高温氧化性能，或使材料表面具有特殊功能（磁性能、光电性能）的有关技术。
（2）表面加工技术。
能在单晶硅表面制作大规模集成电路的光刻技术、离子刻蚀技术。
（3）表面合成技术。
借助各种手段在材料表面合成新材料的技术，离子注入制备或合成新材料。
（4）表面加工三维合成技术将二维表面加工累积成三维零件的快速原型制造技术。
（5）上述几个要点的组合或综合3．表面工程技术的分类：（1）表面改性技术：表面组织转换技术、表面涂镀技术、表面合金化和掺杂技术（2）表面微细加工技术（3）表面加工三维成型技术——快速原型制造⑷表面合成新材料技术4.表面工程技术功能：①提高耐腐蚀、耐磨性、耐疲劳、耐辐射性能，表面自润滑性；②实现表面自修复性（自适应、自补偿、自愈合），生物相容性。
第二章表面工程技术的物理化学基础1.理想表面：无限晶体中插进一个平面，将其分成两部分后所形成的表面，并认为半无限晶体中的原子位置和电子密度都和原来的无限晶体一样。
2.洁净表面：尽管材料表层原子结构的周期性不同于体内，但如果其化学成分仍与体内相同，这种表面就成为洁净表面。
3.清洁表面：指零件经过清洗（脱脂、浸蚀等）以后的表面，与洁净表面必须用特殊的方法才能得到不同。
4.典型固体界面分类：（1）基于固相晶粒尺寸和微观结构差异形成的界面（2）基于固相组织或晶体结构差异形成的界面（3）基于固相宏观差异形成的界面：冶金结合界面、扩散结合界面、外延生长界面、化学键结合界面、分子键结合界面、机械结合界面5.物理吸附和化学吸附的区别：P12 表2-16.摩擦分类（实际工作条件差别）干摩擦，边界润滑摩擦、流体润滑摩擦、滚动摩擦7.固体润滑覆膜分类：（1）粘结固体润滑膜（2）化学反应法固体润滑膜（3）电镀和气相沉积方法形成固体润滑膜8.影响固体材料粘着磨损性能的因素：（1）润滑条件或环境。
氧化钇用途
氧化钇用途氧化钇是一种重要的无机化合物，具有广泛的应用领域。
本文将详细介绍氧化钇的用途，并探讨其在不同领域中的研究进展和应用前景。
首先，氧化钇在材料科学领域具有重要作用。
由于其独特的物理和化学性质，氧化钇被广泛应用于材料合成和改性中。
例如，在陶瓷材料制备中，氧化钇可作为添加剂，提高陶瓷材料的力学性能和耐高温性能。
此外，氧化钇还可以作为涂层材料，在金属表面形成一层保护膜，提高金属材料的耐腐蚀性能。
其次，在电子工业中，氧化钇也有重要应用。
由于其优异的电介质特性和稳定性，氧化钇被广泛应用于电子元器件制造中。
例如，在电容器制造中，将氧化钇作为介质层可以提高电容器的储能密度和工作稳定性。
此外，在半导体器件制造过程中，将氧化钇作为绝缘层可以阻隔电子和孔穴的传输，提高器件的性能和可靠性。
此外，氧化钇还在能源领域发挥重要作用。
由于其高熔点和热稳定性，氧化钇被广泛应用于固体氧化物燃料电池（SOFC）中。
在SOFC 中，氧化钇作为电解质材料可以提供高离子导电性能，并且具有良好的化学稳定性。
此外，由于其对氧离子具有高选择性传输能力，氧化钇还可以作为气体分离膜，在分离纯净氢气等过程中发挥重要作用。
另外，在光学领域，氧化钇也有广泛应用。
由于其优异的光学特性和光学稳定性，氧化钇被广泛应用于激光材料、荧光材料和光学涂层等领域。
例如，在激光器制造中，将少量的稀土离子掺入到氧化钇晶体中可以产生特定波长的激光输出，并且具有较高的效率和较长的寿命。
此外，在生物医药领域，由于其良好的生物相容性和生物活性，氧化钇也有重要应用。
例如，氧化钇纳米颗粒可以用于生物成像和药物传递。
在生物成像中，氧化钇纳米颗粒可以作为对比剂，提高磁共振成像（MRI）的对比度和分辨率。
在药物传递中，将药物包裹在氧化钇纳米颗粒中可以提高药物的溶解度和稳定性，并且具有较好的靶向性。
综上所述，氧化钇具有广泛的应用领域。
在材料科学、电子工业、能源、光学以及生物医药等领域中，氧化钇都发挥着重要作用，并且具有广阔的研究前景。
扩散课工艺培训培训内容
高；电容极板之间的介质，对电容的大小有较大影响氧化工艺-4氧化膜的作用隔离介质：工艺中常用的场氧化就是生长较厚的二氧化硅膜,达到器件氧化工艺-5氧化方法2 == SIO 2扩散课工艺培训 培训内容扩散部设备介绍氧化工艺介绍 扩散工艺介绍 合金工艺介绍 氧化层电荷介绍LP CVD 工艺介绍扩散部设备介绍卧式炉管立式炉管炉管工艺和应用氧化工艺-1氧化膜的作用选择扩散和选择注入。
阻挡住不需扩散或注入的区域，使离子不能进入。
氧化工艺-2氧化膜的作用缓冲介质层二次氧化等，缓冲氮化硅应力或减少注入损伤氧化工艺-3氧化膜的作用器件结构的一部分：如栅（Gate ）氧化层，非常关键的项目，质量要求非常隔离的目的。
干氧氧化 SI+O结构致密，均匀性、重复性好，掩蔽能力强，对光刻胶的粘附性较好， 但生长速率较慢,一般用于高质量的氧化，如栅氧化等；厚层氧化时用作起始和终止氧化；薄层缓冲氧化也 使用此法。
水汽氧化 2H 2O+SI == SIO 2+2H 2 生长速率快，但结构疏松，掩蔽能力差，氧化层有较 多缺陷。
对光刻胶的粘附性较差。
氧化工艺-6氧化方法湿氧氧化（反应气体：Q +H20H 2O+SI == SIO 2+2H2 SI+O2 == SIO 2N度不同，a值会略-9氯化物的影响加入氯化物后，氧化速率明显加快，这可能是质量有了很大提高压力影响压力增大，氧化速率增大；温度温度升高，氧化速率增大；排风&气体HCL和02生成水汽的原因；但同时氧化排风和气体很重要，会影响到厚度和均匀性；氧生长速率介于干氧氧化和水汽氧化之间；H2O的由H2 和02的反应得到；并通过H2和02的流量比例来调节氧化速率，但比例不可超过以保安全；对杂质掩蔽能力以及均匀性均能满足工艺要求；多使用在厚层氧化中。
HCL氧化（氧化气体中掺入HCL加入HCL后，氧化速率有了提高，并且氧化层的质量也大有改善。
目前栅氧化基本采用02+HCL方法。
氧化钇的性能与作用
氧化钇的性能与作用
氧化钇是一种金属氧化物，它在熔点较低的情况下很容易成形，
具有优异的电阻性、机械性和易焊性，因此它以多种形式出现在我们
的日常生活中。
它的特性可以用来制造电子元器件，也可以作为粘合
和铝翅板夹板的封装材料，也可以用作蓝屏夹板，以提高电路板的功
能性和可靠性。
氧化钇也可以用于管壳、电池夹，还可以作为滤波电
阻器、涂覆垫和定位电极等电子元器件的贴片材料。
氧化钇的性能是介于低熔点高电阻金属氧化物和低电阻类金属氧
化物之间的，它具有良好的电阻率、耐热性、耐磨性、耐腐蚀性和电
磁屏蔽性。
它被广泛应用于芯片封装、MIM电阻、阻器线缆封装、定位
电极封装、滤波、电路板上电子元件和接插件组装等领域。
因此，氧
化钇是当今电子元件封装工艺中不可缺少的组成部分，它不仅可以提
高元件的可靠性，而且可以提高产品的性能，具有明显的经济效益。
氧化钇的作用是将一些高电压组件和电子元器件与电路板之间建
立电路上的物理隔离，并将其连接在一起形成连接。
氧化钇具有吸热、防氧化防腐蚀、电磁屏蔽、耐热、抗振动、低熔点和具有很高的绝缘
强度等特性。
氧化钇也可以提供固定的位置，从而使得电子元件具有
很好的稳定性，避免元器件的短接和过载，从而保证电路的可靠性。
此外，氧化钇也可以有效的抑制电子元件及硅片之间的热量传导，从
而保护电子元件的安全。
阳极氧化防护措施
阳极氧化防护措施概述阳极氧化防护是一种常见的金属表面处理技术，用于提高金属材料的耐腐蚀性和耐磨性。
它通过在金属表面形成一层氧化膜来实现防护的效果。
本文将详细介绍阳极氧化防护的原理、方法和应用领域，并探讨一些常见的防护措施。
原理阳极氧化是利用金属材料在电解液中形成氧化膜的过程。
在电解液中，金属材料作为阳极，通过外加电流，在阳极表面形成氧化膜。
氧化膜具有良好的耐腐蚀性和耐磨性，能够有效地保护金属材料不受外界环境的侵蚀。
方法阳极氧化防护主要包括以下几个步骤：1. 清洗：将金属材料表面的污垢、油脂等杂质清除干净，以保证防护膜的质量。
2. 预处理：将金属材料浸泡在适当的电解液中，进行预处理。
预处理的目的是去除金属表面的氧化层，以便形成均匀的氧化膜。
3. 阳极氧化：将金属材料作为阳极，通过外加电流，在电解液中进行阳极氧化处理。
处理过程中，阳极表面逐渐形成氧化膜。
4. 封孔：在氧化膜形成后，进行封孔处理。
封孔处理可以填充氧化膜中的微孔，提高氧化膜的密封性和耐蚀性。
5. 后处理：对氧化膜进行后处理，如染色、着色等，以改变氧化膜的颜色和外观。
应用领域阳极氧化防护广泛应用于各个行业和领域。
以下是一些常见的应用领域：1. 建筑业：阳极氧化可以改善铝材的耐候性和耐腐蚀性，常用于建筑物外墙、窗框、门窗等部位的防护处理。
2. 汽车工业：阳极氧化可以提高汽车零部件的耐磨性和耐腐蚀性，常用于发动机零部件、车身部件等的防护处理。
3. 电子工业：阳极氧化可以改善金属材料的导电性和耐蚀性，常用于电子器件、散热器等的防护处理。
4. 航空航天工业：阳极氧化可以提高航空航天器材料的耐高温性和耐腐蚀性，常用于飞机零部件、卫星器件等的防护处理。
防护措施阳极氧化防护的效果受到多种因素的影响，为了提高防护效果，可以采取以下措施：1. 选择合适的电解液：不同的金属材料需要选择适合的电解液进行处理，以获得最佳的防护效果。
2. 控制处理参数：包括电流密度、处理时间、温度等参数，对于不同的金属材料和要求，需要进行合理的控制，以保证防护膜的质量。
金属表面改性-离子注入技术
金属表面改性方法-离子注入技术(材料加工-铸造一班訾凌君 11S009103)摘要：系统介绍了金属表面改性用离子注入的机理和特点剖析了温度、注入剂量、离子种类等影响因子对改性层效果的影响，综述了该技术在提高强度和硬度、改善磨损性能、降低摩擦系数等方面的用途，展示了离子注入技术的开发方向和应用前景。
关键词：表面改性；离子注入；应用；Abstract: mechanism and characteristic of ion implantation using for improvement of surface properties of metallic materials are described systematically. Anatomy genes such as temperature, dosage and the kind of ion infection on improved layer, its applications such as enhancing hardness and strength; improving wear resistance reducing friction modulus have been reviewed, so as to indicate the direction of development and wide range of its use.Keywords: ion implantation; improvement of surface property of metallic materials application.1、前言现代科技的高速发展，对金属材料表面性能(抗磨损、抗腐蚀、抗疲劳等)的要求日益提高，特别是高负荷、高转速、高寿命、耐高温、低损耗金属零部件的迫切需求，广泛采用最近发展的金属表面处理技术及工艺(抛光、电刷镀、化学镀复合镀层、热喷涂、激光表面强化、气相沉积、等离子体渗氮、渗碳、渗硼及金属修补胶和薄膜性保护技术)虽然在各自领域发挥着重要作用,但都存在一定的缺点和局限性，因而使得离子注人技术应运而生。
40Cr钢经不同渗氮工艺处理后的性能研究
20
《金属热处理》2003 年第28 卷第7 期
1 引言
s 。在阳极极化的过程中，当渗氮层被击穿时（产生空
为提高钢材的表面硬度、耐磨性、疲劳强度及抗 蚀时）腐蚀电流激增。将腐蚀电流激增处的电极电
腐蚀能力，在工业生产中常对钢材进行表面渗氮处 位，标记为击穿电位。
理。随着科学技术的进步，钢的渗氮技术与工艺得 3 试验结果
从现有资料中，还不能准确分析出 Ce 、La 的存 在形式，说 明 其 化 合 物 结 构 很 复 杂，有 待 进 一 步 探
讨。
3 结论
（1 ）离子注入试样表层硬度远高于未注入试样 表层和基体，使材料表面存在很大硬度梯度，注入层
类似于在材料表面形成一层“硬壳”。
（2 ）注入Al REti B + + N + 能大幅度提高 H13 钢 表层的纳米硬度。
［2 ］ 赵 青，等. 温度对氮离子注入的 Cr12 MoV 表面性能影响［J ］. 微细加工技术，2000 ，4 ：14- 20 .
［3 ］ 王 超，等. Cu 离子和 Al 离子注入 M2 钢表面改性研究［J ］. 核 技术，2001 ，24（4 ）：295- 299 .
［4 ］ 黄拿灿，等. 工模具钢的金属离子注入及其强化机理［J ］. 热加工 工艺，2000 ，2 ：8- 10 .
20 mi n 油淬，540 C > 90 mi n 回火。
气体渗氮采用两段渗氮工艺：d500 C > 30h ；i
510 C > 40h ，气氛均为氨气。气体氮碳共渗的工艺
为570 C > 5h ，介质为氨气和甲醇。离子渗氮的工艺
为570 C > 5h ，渗氮介质为氨气。
聚酰亚胺塑料表面处理工艺
聚酰亚胺塑料表面处理工艺
聚酰亚胺塑料作为一种高性能工程塑料，具有优异的耐热、耐化学腐蚀、耐磨损等性能，在航空、汽车、电子等领域得到广泛应用。
然而，其表面特性却使得它难以进行粘接、涂覆等后续加工处理。
因此，如何对聚酰亚胺塑料进行表面处理，充分发挥其优异性能，成为了研究的热点之一。
目前，常用的聚酰亚胺塑料表面处理工艺主要有以下几种：
1. 涂覆处理：采用特殊的涂层材料，通过化学反应或物理吸附作用，将涂层牢固粘附在聚酰亚胺塑料表面，从而增强其表面性能。
2. 离子注入：使用离子束轰击聚酰亚胺塑料表面，使其表面原子发生改变，从而改善其界面粘附性能。
3. 等离子体处理：通过等离子体的作用，对聚酰亚胺塑料表面进行清洁、激活等处理，从而提高其粘附性能。
4. 机械加工：通过机械加工，如研磨、磨光等处理，改善聚酰亚胺塑料表面的平整度和粗糙度，提高其粘附性能。
总之，针对聚酰亚胺塑料表面处理的工艺选择应根据具体应用场景和工艺要求进行选择，以充分发挥其优异性能，为产业发展做出贡献。
- 1 -。
氧化钇含量对氧化锆陶瓷力学性能及抗热震性的影响
氧化钇含量对氧化锆陶瓷力学性能及抗热震性的影响吴珊;姜兴振;黄志兵;蒋泓清【摘要】在氧化锆中加入不同质量分数的氧化钇,采用1460℃常压烧结,保温4h,制得氧化钇稳定氧化锆陶瓷.并分析不同的氧化钇含量下,氧化锆陶瓷相变化、材料密度、维氏硬度、抗弯强度、抗热震性的变化.当氧化钇质量百分含量达到5.5％的时,材料的密度、硬度、抗弯强度等力学性能达到最大值,并且此时的抗热震性较好,超过这个临界值,材料的性能将下降.【期刊名称】《广州化工》【年(卷),期】2013(041)012【总页数】3页(P66-68)【关键词】氧化锆陶瓷;氧化钇;相组成;抗热震性【作者】吴珊;姜兴振;黄志兵;蒋泓清【作者单位】江西理工大学材料科学与工程学院,江西赣州341000;江西理工大学材料科学与工程学院,江西赣州341000;江西理工大学材料科学与工程学院,江西赣州341000;江西理工大学材料科学与工程学院,江西赣州341000【正文语种】中文【中图分类】TQ174.11 氧化锆概述ZrO2有三种晶型［1］，低温环境下为单斜晶系，密度5.65 g/cm3，高温环境下为，密度为6.10 g/cm3。
当温度进一步升高，四方晶系将会转变为立方晶系，密度为6.27 g/cm3。
其相互转化关系如下:氧化锆(ZrO2)陶瓷作为结构材料和功能材料已经进行了较多的研究，由于晶型转变，发生体积变化，会造成开裂，影响ZrO2陶瓷的性能，故常在ZrO2陶瓷中添加晶型稳定剂，如CaO、MgO、Y2O3、CeO2和其他的稀土氧化物。
这些氧化物的加入可以促使ZrO2变成无异常膨胀、收缩的立方或四方晶型的稳定ZrO2。
根据加入稳定剂数量的不同，可得到稳定(Stabilized Zirconia，或SZ)以及部分稳定ZrO2(Partially Stabilized Zirconia，或PSZ)。
常见的多为Y2O3稳定的ZrO2陶瓷材料。
不同的相组成对氧化锆陶瓷的性能具有较大的影响［3］，不同的Y2O3含量将会影响氧化锆陶瓷材料的相组成及力学性能。
西电硕士论文-碳化硅离子注入及欧姆接触研究
摘要本文对SiC 离子注入和欧姆接触进行了深入的研究。
本文从金属半导体接触的实验过程入手，阐述了本文所建立的SiC欧姆接触模型所涉及到的半导体器件物理理论，包括金属半导体肖特基接触理论、Nn异质结理论和nn+理论。
根据大量的实验文献，研究了金属半导体界面在高温退火过程中发生的反应和生成物，分别对p型和n型的SiC欧姆接触的载流子输运机理进行深入的研究，提出了说明p型和n型欧姆接触形成的能带模型，即渐变异质结结构模型，并且对本文所提出的模型使用器件模拟软件ISE TCAD进行了二维I-V特性模拟验证，对n型和p型SiC欧姆接触提出了统一的物理模型。
在p型和n型SiC欧姆接触的已有工艺基础上，进行欧姆接触制造工艺的改进，以期达到良好的稳定性。
对欧姆接触的制造和工艺具有一定的指导意义。
按照前面对SiC欧姆接触模型的研究，设计了相关的实验。
在介绍实验流程之前，首先介绍了SiC中的杂质、离子注入技术、离子注入存在的问题，以及离子注入后的退火过程中，所涉及到的退火掩膜问题。
然后详细研究了SiC欧姆接触制造工艺中的关键工艺流程，最后介绍了刚刚流片结束的实验流程和实验结果，实验取得了良好的结果。
比接触电阻的测试是评价所制造的欧姆接触水平的一个重要手段。
本文最后介绍了欧姆接触比接触电阻的各种测试方法，探讨了最常用的矩形TLM法和其他一些常用的测试方法，比较了各种测试方法在欧姆接触比接触电阻测试中的优缺点，对最常用的矩形TLM法引入的误差进行了分析并讨论了修正方法。
关键词：离子注入 欧姆接触 传输线模型AbstractIn this paper, the characteristics of ion implantation and ohmic contact of SiC are deeply investigated. This thesis expatiates all the physics of the SiC ohmic contacts models, which have been developed by experiments, include metal-semiconductor schottky contact theory, Nn heterojunction and nn+ theory.Based on abundance of experiment literature, the reaction between the metal and semiconductor interface in the process of high temperature annealing has been studied. The carrier transportation mechanism of p-type and n-type SiC are investigated respectively, and the energy band model to explain ohmic contacts to p-type and n-type has been presented, that is gradual change heterojunction model. At last, the device simulator ISE TCAD has been used to validate the model with two dimension I-V characteristic simulation, and the unify model of SiC ohmic contacts to p-type and n-type SiC has been derived.Experiment has been design after the study of SiC ohmic contacts model. First, ion implantation technology, problems in the ion implantation and annealing cap in the annealing process after ion implantation have been introduced. Then the main steps of SiC ohmic contacts technology have been proposed. The experiment flow and result has been presented at the last, good result has been got from the experiment.The specific contact resistance obtained from measurement is an important parameter to evaluate the level of fabricates ohmic contacts. At the last of this thesis, some measurement methods for ohimc contacts specific contact resistance have been introduced. The rectangle transmission line model and some other test patterns have been studied and some comments are made for their comparison. Also, the error analysis about rectangle transmission line model and modify method have been discussed.Key words: Ion implantation Ohmic contact Transmission line model创新性声明本人声明所呈交的论文是我个人在导师的指导下进行的研究工作及取得的研究成果。
表面包覆金属氧化物的作用
表面包覆金属氧化物的作用
表面包覆金属氧化物可以起到以下几个作用：
1. 防止金属的进一步氧化：金属氧化物可以起到一种屏障或隔离的作用，防止氧气进一步接触到金属的表面，从而减缓金属的氧化速度。
2. 提高金属的耐腐蚀性能：金属氧化物的形成可以形成一层致密的氧化膜，这种氧化膜可以提高金属的耐腐蚀性能，减少金属在腐蚀介质中的腐蚀速度。
3. 增加金属的强度和硬度：金属氧化物的形成可以使金属的表面硬化，并增加金属的强度。
这对于一些有高强度要求的金属材料来说尤为重要。
4. 改善金属的热稳定性：金属氧化物可以提高金属材料的热稳定性，使其能够在高温环境下保持较好的性能。
总之，表面包覆金属氧化物可以在很大程度上改善金属材料的性能，延长其使用寿命，并提高其在一些特殊环境条件下的适用性。
氧化钇在涂料中的作用
氧化钇在涂料中的作用嘿，朋友们！今天咱来聊聊氧化钇在涂料里那神奇的作用。
你说这氧化钇啊，就像是涂料界的一位超级英雄！它能让涂料变得特别厉害。
咱平常刷墙的涂料，要是加了氧化钇，那可就不一样啦！它就像给涂料注入了一股神奇的力量。
好比说，涂料就像是一辆汽车，氧化钇呢，就是让这汽车跑得更快更稳的秘密武器。
有了氧化钇的加入，涂料的耐温性能那是蹭蹭往上涨啊！以前可能温度稍微一高，涂料就有点扛不住了，会起皮啊、变色啊什么的。
但现在呢，有了氧化钇在，就好像给涂料穿上了一层耐高温的铠甲，再高的温度它也不怕，依旧稳稳当当的。
而且啊，氧化钇还能让涂料的颜色更鲜艳、更持久呢！你想想看，咱家里刷的墙，要是颜色没多久就暗淡了，那多难看呀！但有了氧化钇帮忙，那颜色就像被施了魔法一样，长时间都能保持鲜亮，多棒啊！这就好比是一朵花，氧化钇就是让这朵花一直绽放不凋谢的神奇养分。
它还能增强涂料的附着力呢！就像胶水一样，把涂料牢牢地粘在墙上，不容易掉下来。
你说厉害不厉害？这要是没有氧化钇，那涂料可能就像个调皮的孩子，动不动就想跑掉。
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阳极氧化铝附着力促进剂
阳极氧化铝附着力促进剂阳极氧化铝附着力促进剂是一种用于提高阳极氧化铝表面附着力的添加剂。
阳极氧化铝是一种重要的表面处理工艺，可在铝材表面形成一层氧化膜，提高铝材的耐腐蚀性和耐磨性。
然而，由于铝材表面的微观凹凸不平，导致氧化膜附着力较低，容易脱落。
为了解决这一问题，研究人员开发出了阳极氧化铝附着力促进剂。
阳极氧化铝附着力促进剂是一种能够在阳极氧化过程中与铝材表面发生化学反应的物质。
它可以与铝材表面形成一层致密的化合物或者物理结构，增加氧化膜与铝基体的结合力。
这种附着力促进剂通常是有机物或无机物，具有较高的化学活性和亲和力。
在阳极氧化铝过程中，附着力促进剂首先与铝材表面发生反应，形成一层化学键或物理结构。
这种化学键或物理结构能够有效地提高氧化膜的附着力。
同时，附着力促进剂还能够改变阳极氧化过程中的电流密度分布，使得氧化膜更加均匀和致密。
这样一来，氧化膜与铝基体的结合力得到显著提高，附着力也得到增强。
阳极氧化铝附着力促进剂的添加方法有多种。
一种常见的方法是将附着力促进剂加入到阳极氧化溶液中，与铝材同时进行氧化反应。
另一种方法是在氧化后对铝材进行后处理，将附着力促进剂涂覆在氧化膜表面。
这样可以进一步增强氧化膜的附着力。
此外，还可以通过改变阳极氧化的工艺参数，如电流密度、温度和氧化时间等，来调节附着力促进剂的效果。
阳极氧化铝附着力促进剂的研究和应用已经取得了显著的成果。
通过添加适量的附着力促进剂，可以大大提高阳极氧化铝的附着力，减少氧化膜的脱落。
这对于提高铝材的使用寿命和功能性能具有重要意义。
此外，附着力促进剂还可以调节氧化膜的颜色和外观，使得阳极氧化铝具有更多的应用领域。
阳极氧化铝附着力促进剂是一种有效的提高阳极氧化铝表面附着力的添加剂。
它能够与铝材表面发生化学反应，形成致密的化合物或者物理结构，增加氧化膜与铝基体的结合力。
通过合理添加附着力促进剂，可以显著提高阳极氧化铝的附着力，改善铝材的耐腐蚀性和耐磨性。
集成电路制造工艺客观题复习含答案精选全文
可编辑修改精选全文完整版集成电路制造工艺客观题复习含答案化学汽相淀积的英文缩写是（）。
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阳极氧化的附着力
阳极氧化的附着力阳极氧化是一种常见的表面处理技术，用于提高金属表面的附着力和耐腐蚀性。
本文将从不同角度分析阳极氧化的附着力，并探讨其在实际应用中的意义和效果。
阳极氧化是通过将金属制品浸泡在含有电解质的溶液中，并施加外加电流的方式进行的。
在这个过程中，阳极氧化会改变金属表面的化学性质和物理结构，形成一层致密的氧化膜。
这层氧化膜与金属基体之间的结合力决定了阳极氧化的附着力。
影响阳极氧化附着力的因素有很多。
首先是金属表面的处理状况，如清洗、脱脂和除锈等。
只有在金属表面完全干净和光滑的情况下，阳极氧化的附着力才能得到保证。
其次是电解质的成分和浓度，不同的电解质会对氧化膜的形成和附着力产生影响。
此外，电流密度和处理时间也是影响阳极氧化附着力的重要因素。
合理的电流密度和处理时间可以使氧化膜均匀且致密，从而增强附着力。
在实际应用中，阳极氧化的附着力对于金属制品的质量和性能有着重要的影响。
首先，阳极氧化可以增加金属表面的硬度和耐磨性，提高其抗刮擦和耐磨损能力。
其次，阳极氧化能够增加金属表面的耐腐蚀性，形成一层致密的氧化膜可以防止外界物质侵蚀金属基体。
此外，阳极氧化还可以改善金属表面的装饰效果，使其具有更好的外观和触感。
在工业生产中，阳极氧化广泛应用于铝和其合金的表面处理。
由于铝的自然氧化膜较薄且不均匀，附着力较差，因此需要进行阳极氧化处理来增强其附着力和耐腐蚀性。
经过阳极氧化处理后的铝制品可以广泛应用于航空航天、汽车、建筑和电子等领域。
此外，阳极氧化还可以应用于钛、镁和锌等金属的表面处理，以提高其性能和附着力。
阳极氧化的附着力对于金属制品的质量和性能至关重要。
通过合理选择处理条件和控制工艺参数，可以获得具有良好附着力和耐腐蚀性的氧化膜，从而提高金属制品的使用寿命和性能。
阳极氧化技术的不断发展和完善将为各行各业带来更多的应用和发展机遇。
阳极封孔剂
阳极封孔剂
阳极封孔剂通常是在电化学领域中使用的一种材料，用于封闭阳极孔洞，防止进一步的氧化或其他反应。
这些封孔剂的使用通常涉及到电化学腐蚀、阳极氧化等工艺。
在阳极氧化（Anodizing）过程中，金属表面通过电解被氧化形成氧化膜，这个膜上存在微小的孔洞。
为了提高氧化膜的密封性和防护性，可以使用阳极封孔剂。
这些封孔剂可以填充氧化膜中的微孔，减少孔洞的大小，从而提高膜的密封性。
阳极封孔剂的主要功能包括：
1. 密封孔洞：防止外部环境中的湿气、化学物质等进入孔洞，降低金属的进一步氧化风险。
2. 提高膜密封性：通过填充微孔，改善氧化膜的密封性，增加其抗腐蚀性。
3. 改善外观：一些阳极封孔剂还可以改善氧化膜的外观，使其更为均匀，提高装饰性。
阳极封孔剂的选择通常取决于金属类型、氧化过程参数以及最终产品的要求。
这些封孔剂可能是有机或无机的，其成分可能包括聚合物、硅胶、酚醛树脂等。
使用前建议仔细阅读相关产品说明和工艺规范，以确保正确使用和获得所需的性能。
铈促进金属还原
铈促进金属还原
铈是一种化学元素，它在金属还原过程中起到了重要的促进作用。
金属还原是指将金属离子还原成金属原子的过程，而铈则能够在这一过程中发挥催化作用，加速金属的还原。
铈在金属还原中的作用主要是通过氧化还原反应来实现的。
当金属离子与铈离子接触时，铈离子会将电子转移给金属离子，使其还原为金属原子。
这样一来，金属离子的还原过程就得到了加速，从而实现了金属还原的促进作用。
铈的促进作用是由其特殊的电子结构所决定的。
铈的电子结构中，外层电子的数量较少，这使得铈离子具有较强的氧化性。
当铈离子与金属离子接触时，铈离子会将其自身的电子转移给金属离子，从而实现金属离子的还原。
同时，铈离子本身也会发生氧化，形成还原后的铈离子，这个过程是可逆的。
铈促进金属还原的过程可以用以下化学方程式表示：
2Ce3+ + M2+ → 2Ce4+ + M
其中，Ce3+代表还原前的铈离子，Ce4+代表还原后的铈离子，M2+代表金属离子。
铈的促进作用在工业生产中有着广泛的应用。
例如，在冶金工业中，铈常用于提取稀有金属，如钍、铀等。
铈可以与这些金属形成络合物，从而加快其还原过程，提高提取效率。
此外，铈还可以用于催
化剂的制备，用于加速化学反应的进行。
铈在金属还原中起到了重要的促进作用。
其特殊的电子结构使其具有较强的氧化性，能够加速金属离子的还原过程。
铈的促进作用在工业生产中有着广泛的应用，对提高生产效率和降低能耗具有重要意义。