OCA膜厚量测技术

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膜厚测试方法

膜厚测试方法

膜厚测试方法膜厚测试是一种常见的测试方法,用于测量材料或物体表面上薄膜的厚度。

它在各种工业领域中得到广泛应用,如电子、光学、化学等领域。

本文将介绍膜厚测试的原理、常用的测试方法以及测试过程中需要注意的事项。

一、原理膜厚测试的原理是根据不同的测试方法来确定薄膜的厚度。

常见的测试方法包括光学测量、电子显微镜测量和X射线衍射测量等。

光学测量是利用光的干涉或散射原理来测量薄膜厚度的方法。

通过测量入射光和反射光之间的相位差或强度变化,可以计算出薄膜的厚度。

电子显微镜测量是利用电子束与膜样品相互作用的原理来测量薄膜厚度的方法。

通过测量电子束穿过薄膜样品的衰减情况,可以计算出薄膜的厚度。

X射线衍射测量是利用X射线与薄膜样品相互作用的原理来测量薄膜厚度的方法。

通过测量入射X射线经过薄膜样品后的衍射图案,可以计算出薄膜的厚度。

二、常用的测试方法1. 厚度计测量法:使用厚度计直接测量薄膜的厚度。

这种方法适用于较厚的薄膜,但对于较薄的薄膜则不太适用。

2. 交流阻抗测量法:通过测量薄膜表面的电阻和电容来计算薄膜的厚度。

这种方法适用于导电性较好的薄膜。

3. 透射电镜测量法:使用透射电镜观察薄膜的厚度。

这种方法适用于较薄的薄膜,可以达到亚纳米级的测量精度。

4. 扫描电子显微镜测量法:使用扫描电子显微镜观察薄膜的厚度。

这种方法适用于较薄的薄膜,可以达到纳米级的测量精度。

三、测试过程中的注意事项1. 根据薄膜的性质选择合适的测试方法,以获得准确的测量结果。

2. 在进行测量之前,需要对测试仪器进行校准,以确保测量结果的准确性。

3. 在进行测量时,需要保持薄膜样品的表面清洁,以避免污染对测量结果的影响。

4. 测量过程中需要注意避免外界干扰,如振动、温度变化等因素可能影响测量结果的准确性。

5. 测量结束后,需要对测量结果进行分析和处理,以获得薄膜的厚度值。

四、总结膜厚测试是一种常见的测试方法,可以用于测量材料或物体表面上薄膜的厚度。

膜厚测试标准方法与标准

膜厚测试标准方法与标准

膜厚测试标准方法与标准膜厚测试在工业生产和科学研究中具有重要的应用价值。

通过对薄膜厚度的准确测量,可以帮助生产厂家控制产品质量,提高生产效率,降低生产成本。

同时,薄膜厚度的测试也是科研工作者研究材料特性和性能的重要手段之一。

针对不同的薄膜材料和应用领域,对膜厚测试的标准方法和标准也有所不同。

首先,膜厚测试的标准方法包括非接触式和接触式两种主要方式。

非接触式方法主要包括光学干涉法、X射线荧光法、激光干涉法等,这些方法不需要直接接触样品表面,在不破坏样品的前提下可以快速准确地测量薄膜厚度。

接触式方法主要包括扫描探针显微镜、原子力显微镜等,这些方法需要直接接触样品表面,可以实现更高的分辨率和测量精度。

根据不同的应用需求和实验条件,可以选择合适的膜厚测试方法进行测试。

其次,膜厚测试的标准主要包括ISO、ASTM、GB等国际标准组织发布的标准。

这些标准规定了膜厚测试的基本原理、测试方法、仪器设备、数据处理等方面的要求,对于确保测试结果的准确性和可比性具有重要意义。

在实际的膜厚测试过程中,遵循相关的标准是确保测试结果准确可靠的关键。

在膜厚测试过程中,需要注意一些影响测试结果准确性的因素。

首先是样品表面的准备和处理,必须保证样品表面光洁平整,避免表面粗糙度、不均匀性等因素对测试结果的影响。

其次是仪器设备的选择和校准,不同的膜厚测试方法需要不同的仪器设备,必须校准仪器设备以确保测试结果的准确性。

最后是数据处理和分析,对测试得到的数据进行合理的处理和分析,可以帮助提高测试结果的准确性和可靠性。

梳理一下本文的重点,我们可以发现,膜厚测试的标准方法和标准对于保证测试结果的准确性和可比性具有重要意义。

在进行膜厚测试时,需要选择合适的测试方法和遵循相关的测试标准,同时注意样品表面的准备和处理、仪器设备的选择和校准、数据处理和分析等方面的工作,以确保测试结果的准确性和可靠性。

希望本文对膜厚测试方法与标准的研究能够有所帮助,促进膜厚测试技术的进一步发展和应用。

膜厚的测量与监控

膜厚的测量与监控
探头(石英晶片)工作温度一般不允许超过80℃,否则将会带来很大误 差。
电阻法
原理:由于电阻值与电阻体的
形状有关,利用这一原理来测 量膜厚的方法称电阻法。由于 金属导电膜的阻值随膜厚的增
加而下降,所以用电阻法可对
金属膜的淀积厚度进行监控, 以制备性能符合要求的金属薄 膜。
由于材料的电阻率(或者电导率)通常是与 整块材料的形状有关的一个确定值,如果 认为薄膜的电阻率与块材相同,则可由下 式确定膜厚,即
上表面
下表面
如果两束相干光的波程差等于波长的整数倍.则两束光相互 加强。如果波程差等于半波长的奇数倍,则两束光相互削弱。 因此,当膜层厚度相差λ /2 (光学厚度)时,即膜层的几何厚度 相差λ /2n (n为薄膜材料的折射率)时,反射率相同,这就是
光干涉法测膜厚的基础。
薄膜折射率<比较片折射 率(曲线1,2)
测试方法
形状膜厚
其他方法
电子显微镜法 化学天平法Leabharlann 微量天平法 扭力天平法 石英晶体振荡法
比色法 X射线荧光法 离子探针法 放射性分析法
质量膜厚
质量测定法
原子数测定法
物性膜厚
电学方法
光学方法
电阻法 电容法 涡流法 电压法
干涉色法 椭圆偏振法 光吸收法
微量天平法(质量膜厚)
方法:将微量天平设置在真空室内,把蒸镀的基片吊 在天平横梁的一端,测出随薄膜的淀积而产生的天平 倾斜,进而求出薄膜的积分堆积量,然后换算为膜厚。 由此便可得到质量膜厚。
nt=λ/4 反射率达到最小值 nt=λ/2 反射率达到最大值
薄膜折射率>比较片折射率 (曲线4,5)
nt=λ/4 反射率达到最大值 nt=λ/2 反射率达到最小值

膜厚测量仪工作原理

膜厚测量仪工作原理

Filmetrics膜厚测量系统THIN-FILM MEASUREMENT薄膜测量Introduction介绍Thin film薄膜Very thin layers of material that are deposited on the surface of another material (thin films) are extremely important to many technology-based industries. Thin films are widely used, for example, to provide passivation, insulating layers between conductors, diffusion barriers, and hardness coatings for scratch and wear resistance. The fabrication of integrated circuits consists primarily of the deposition and selective removal of a series of thin films.沉积在另一种物质表面的非常薄的物质层,即薄膜,对许多基于技术工艺的行业是非常重要的。

薄膜有广泛地应用,例如提供导体间的钝化绝缘层、防扩散层、防止划伤和磨损的硬化层。

集成电路的生产就主要由一系列薄膜的沉积和选择性的去除组成。

Films typically used in thin-film applications range from a few atoms (1Åor 0.0001 pm) to 100 pm thick (the width of a human hair.) They can be formed by many different processes, including spin coating, vacuum evaporation, sputtering, vapor deposition, and dip coating. To perform the functions for which they were designed, thin films must have the proper thickness, composition, roughness, and other characteristics important to the particular application. These characteristics must often be measured, both during and after thin film fabrication.典型应用中的薄膜厚度从几个原子级别(1Å或0.0001pm)到100pm(人类头发的厚度)不等。

镀层和氧化膜厚度的显微镜测量技术

镀层和氧化膜厚度的显微镜测量技术

镀层和氧化膜厚度的显微镜测量技术0 前言覆盖层厚度是表征覆盖层品质(优劣)的重要参数之一,因此,在科学研究、工艺控制和产品质量检测中常常要对覆盖层厚度进行测量。

覆盖层厚度测量方法较多,主要有涡流法、磁性法、库仑法、显微镜法(金相法)、扫描电子显微镜法、轮廓仪法、X射线光谱法等,其中横断面厚度显微镜测量法是较早采用的光学测量法。

该方法直观,重现性好,因而在国内外广泛应用。

1 GB/T6462-2005标准简介GB/T6462-2005标准由中国机械工业联合会提出,并列入2003年机械工业科学技术发展计划(机械工业标准制订、修订部分)。

由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口,武汉材料保护研究所、宁波永新光学股份有限公司负责起草。

该标准于2003年底完成并通过标委会审查,同年上报。

2005年6月23日国家质量监督检验检疫总局和国家标准化管理委员会联合发布了该标准。

GB/T6462-2005标准等同于ISO1463:2003[8],同时也是对GBPT646221986《金属和氧化物覆盖层横断面厚度显微镜测量方法》的修改。

标准对横断面显微镜法测量电镀层和氧化膜厚度的原理、横断面制备、测量、测量不确定度及其影响因素、实验报告等进行了全面的描述和规定,共分9章和3个附录(资料性附录)。

与GB/T6462-1986相比,该标准修改了标准的名称并增加了适用范围、规范性引用文件、相关术语和定义及横断面的斜度和齿状结构覆盖层的测量的相关内容。

该标准于2005年12月1日正式实施,对促进我国覆盖层相关标准与国际接轨具有十分重要的意义。

2 测量原理和方法显微镜法测量覆盖层厚度简单且直观,其基本原理是:在待测件上选取有代表性的试样,然后经过适当工序制作成符合要求的横断面,通过光学显微镜,在图像放大下,用校正过的目镜测微尺或精度较高的标尺(如游标卡等)测量覆盖层横断面的宽度,即为覆盖层的厚度。

一般来说,厚度较大时可选择精度较高的标尺直接测量横断面宽度;厚度较小时,则采用目镜测微尺。

光学膜厚仪测量原理

光学膜厚仪测量原理

光学膜厚仪测量原理光学膜厚仪是一种测试薄膜厚度的测量仪器,广泛应用于各种行业的制造和研究中,比如电子、光电、航空等领域。

本文将围绕“光学膜厚仪测量原理”进行阐述,为大家详细介绍它的工作原理、使用步骤等相关内容。

一、光学膜厚仪的测量原理通过波长为λ的光线垂直入射到待测膜层上,经过膜层内部不同材料的反射和折射,再从膜层表面反射回来,经过一个光学系统形成干涉图像,可以由此测出膜层的厚度。

这里的关键是通过观察干涉图像,确定膜层的厚度,因为不同厚度的薄膜会产生不同的干涉图像。

二、光学膜厚仪的使用步骤1. 首先需要在样品上涂覆一层薄膜,并使其平坦均匀,以确保测量的准确性。

2. 将待测样品放置在光学膜厚仪上,并固定好。

3. 打开光学膜厚仪,设置好波长和角度等参数,让光线从样品表面垂直入射,并保证其稳定。

4. 通过观察干涉图像,确定样品上的薄膜层的厚度,可以通过光学软件或者手动测量的方式来完成。

5. 测量完成后,记得关闭仪器并清理样品表面,以便下次使用。

三、光学膜厚仪的注意事项1. 在使用光学膜厚仪时,需要注意其精度和准确性。

因为干涉图像的解释很难,而且很容易受到干扰,因此需要专业的技术人员进行操作和读取数据。

2. 保持测试环境的一致性,比如温度、湿度、光线等条件应该保持恒定,以确保测量的精度。

3. 样品表面应该清洁,避免灰尘、污物等对测量结果的干扰。

同时,应该尽可能避免在样品表面留下按碰痕迹或被划伤。

综上所述,光学膜厚仪能够帮助我们待测样品上的薄膜层的厚度,从而为我们的工程制造提供支持和便利。

不过,在使用时还需要我们严格遵循使用步骤,保持测量的准确性和精度。

oca离型膜测试手法

oca离型膜测试手法

oca离型膜测试手法全文共四篇示例,供读者参考第一篇示例:离型膜是一种用于保护特定表面不受污染和损坏的材料。

在工业生产中,离型膜的应用非常广泛,比如在汽车、电子产品、建筑材料等领域都有使用。

而对于离型膜的性能进行测试是非常重要的,以确保它能够满足产品的要求和标准。

在离型膜的测试中,oca离型膜测试是其中一个重要的环节。

oca 离型膜是一种特殊类型的离型膜,它通常被用于保护和固定电子产品中的显示屏,比如手机、平板电脑等。

oca离型膜测试主要是为了检测其在使用过程中的性能和稳定性,以确定其是否能够达到产品的要求。

oca离型膜测试手法主要包括以下几个方面:1. 外观检查:首先需要对oca离型膜的外观进行检查,包括表面平整度、色泽、透明度等。

任何表面不平整、气泡、污渍等问题都可能影响oca离型膜的使用效果。

2. 粘度测试:oca离型膜的粘度是指其粘附在基材或显示屏上的能力。

通过粘度测试可以评估oca离型膜的粘贴性能,以确定其是否能够牢固粘贴在目标表面上。

3. 耐候性测试:oca离型膜在使用过程中会受到各种外界环境的影响,比如温度、湿度、光照等。

耐候性测试是为了检测oca离型膜在不同环境条件下的稳定性和耐久性。

4. 热性能测试:在一些特定环境下,oca离型膜可能会受到高温或低温的影响,热性能测试是为了评估oca离型膜在高温或低温条件下的性能表现。

5. 耐化学性测试:oca离型膜可能会接触到各种化学物质,比如溶剂、清洁剂等。

耐化学性测试是为了检测oca离型膜在接触到这些化学物质时是否会产生变化或损坏。

以上是oca离型膜测试手法的一些主要方面,通过这些测试可以全面评估oca离型膜的性能和质量,确保其能够满足产品的要求。

在进行oca离型膜测试时,需要严格按照相关测试标准和方法进行,以保证测试结果的准确性和可靠性。

只有通过严格的测试,才能确保oca 离型膜在实际使用中能够发挥最佳效果,保护和固定电子产品的显示屏。

阳极氧化膜各检测项目检测方法各国标准

阳极氧化膜各检测项目检测方法各国标准

计算:
表面密度 A
m1
m2 A
ρA——表面密度(氧化膜单位面积上的质量),g/mm2; m1——氧化膜溶解前的试样质量,g
m2——氧化膜溶解后的试样质量,g A ——覆有氧化膜的面积,mm2
平均膜厚 A 106
δ——平均膜厚,μm
ρA——表面密度(单位面积上氧化膜的质量),g/mm2; ρ——密度,g/cm3 (正常情况下2.3~3g/cm3,不含铜的铝及
不适用于测特殊膜(如:深色氧化膜)、试 样基底粗糙的膜。通常可测10μm以上的膜。 表面平滑时也可测5~20μm的膜。 仪器:专用分光束显微镜 步骤: 1. 供需双方商定测量表面,在考察区域内
至少取10点进行测量。 2. 计算出膜厚的算术平均值。(异常值须
舍去)
原理
e——氧化膜的真实厚度,μm e’——仪器侧量的厚度,μm n——氧化膜折射率(1.59~1.62)
1.4.1质量损失法(GB/T 8014.2,采用ISO 2106-1982)
适用于除铜含量大于6%以外的绝大部分铝合金
步骤及原理: 1. 待测表面积在0.08~1dm2之间,质量不宜超过100g。如表面较脏或
被油脂及其他物质污染时,必须用合适的有机溶剂(如:汽油、酒精、 三氯乙烯)进行清洗。 2. 计算阳极化试样的面积,称取其质量(精确到0.1mg)。 3. 将试样置于100℃磷酸-铬酸溶液中浸泡10分钟。取出试样用蒸馏水洗 净,干燥再称量。依次方法重复浸泡和称重,直至再没有失重为止。
1.4.3横截面显微法(GB/T 6462-1986,采 用ISO 1463-1982)
制备横断面:从待测件上指定的位置切割一块试样(横断面 需垂直于待测覆盖面,确保覆盖层无变形,无边缘倒角,基 体表面不过于粗糙)

OCA相关性能测试方法

OCA相关性能测试方法

OCA相关性能测试方法
[测试项目]
全光透过率、透过色度、剥离性、ITO腐蚀性
[测试方法]
K7361-1村上色彩HM-150雾度计、光学玻璃
测试设备 JIS
①载体测试:光学玻璃(酒精擦拭干净)放入仪器中测试,平行3全光透过率
次后取平均值(雾度计自动根据3次测试值取平均值)
测试步骤
②试样测试:oca撕掉轻面离型膜后贴合光学玻璃,撕去另一面离型
膜后放入仪器中进行测试,平行测试3次取平均值
技术资料中※为步骤②的测试平均值
备注:
()为纯胶的全光透过率数据
透过色度测试设备日本分光光度计V-670
测试方法基线:用滑动玻璃片D光源进行测定。

透过色度(Lab,Yxy)换算
为C光源测定值
《Lab表色系色度図》xy色度図
最理想色度
测试设备日本ORIENTEC 拉力测试机
轻面剥离性23℃、65RH%恒温恒湿条件下,25mm幅宽,180°拉离型膜,剥离速度300mm/min。

剥离性
重面剥离性先撕掉轻面离型膜,覆上25μmPET膜,而后操作同上。

=ITO腐蚀性实验测试方法。

氧化槽膜厚九点测试法

氧化槽膜厚九点测试法

氧化槽膜厚九点测试法
不同的铝型材阳极氧化膜厚是有不同标准的,比如工业铝型材氧化膜厚要求是10μ,而太阳能边框铝型材氧化膜厚一般要求是AA15,也就是15μ。

那么怎样测量铝型材氧化膜的厚度呢?今天介绍三种方法:
第一种,用涡流测厚仪进行检测,涡流测厚仪上的探头在接触到型材表面时会产生高频电磁场,使膜层下的铝合金产生涡流,但表层的氧化膜是不导电的,涡流产生的交变电场会改变探头是参数,将参数显示在仪表上就是氧化膜厚了。

这种膜厚检测方法方便快捷,也是我们品管人员主要的检测方法。

第二种,电压击穿法检测,用专用电压击穿仪测量氧化膜被击穿的电压值,这个方法也比较简单,可以在仪表上直接读出氧化膜厚度。

第三种,金相试片观察法,将阳极氧化过的铝型材,切取一部分试片,用金相试片的方法处理后,放在显微镜下观察氧化膜厚度。

这种方法是直接测量氧化膜厚度的方法。

第四种,重量法,用与铝型材同样材质的铝合金做成试验片,100*50mm厚度0.8-2mm。

与铝型材同槽氧化之后,在60-70摄氏度的环境下干燥30分钟,然后再万分之一天平上称重。

称重之后再褪去氧化膜,然后用清水洗涤,干燥,再称重,两次的重量差就是氧化膜的重量。

通过氧化膜的重量以计算膜层厚度。

这种方法比较麻烦,一般铝型材氧化膜测量不会采用这种方式。

OCA光学胶检验标准

OCA光学胶检验标准

OCA光学胶检验标准
1.0目的:
明确OCA光学胶品质检验标准,确保OCA光学胶质量符合本公司要求。

2.0适用范围:
适用于本公司所有OCA光学胶的进料检验。

3.0 定义:
N/A
4.0 使用文件及参考資料
4.1工程图纸
4.2BOM
4.3 样品
5.0 检验仪器设备及治/工具:
5.1 卡尺
5.2 干净镜片、菲林
5.3 透光率测试仪/透光率雾度仪
6.0 抽样方案,检验条件:
6.1 抽样方案
6.1.1 抽样计划:依照MIL-STD-105E (II) 抽样检验。

6.1.2 判定方法:
A 主要缺点:主要指功能,性能以及严重的外观缺陷, 依AQL:0.4接收。

B 次要缺点:主要指轻微的外观缺陷,依 AQL:1.0判定接收。

C 尺寸、性能:10片/批。

6.2 检验条件
6.2.1光照条件:20W白炽灯或者40W荧光灯下,周围光亮度为800 LUX。

6.2.2检验员视力要求1.0以上(含矫正视力)。

7.0 尺寸检查
7.1用卡尺对照工程图纸,对来OCA光学胶的规格作尺寸检查,如尺寸超出公差值将不能接受
8.0检查项目及标准。

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