简述透射电镜的基本结构
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简述透射电镜的基本结构
1 前言
透射电镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)是一种基于电子显微学原理的高分辨率显微镜,其分辨率可达到埃级甚至
亚埃级。
该仪器广泛应用于物理学、材料科学、生物学、化学等领域,可用于研究各种材料的结构、形貌、成分、晶体学及电子学性质等。
2 TEM的基本结构
透射电镜主要由以下四个基本部分组成:
2.1 电子枪
电子枪是TEM中产生电子束的关键部件,其常见的形式是热阴极
电子枪和场致发射电子枪。
热阴极电子枪通过电热效应产生电子,而
场致发射电子枪则利用局部电场在钨钯合金表面产生很高的电场强度,从而剧烈地加热表面使电子逸出。
2.2 电子透镜
电子透镜是将电子束汇聚并聚焦到样品上的关键部件,其构成包
括透镜、准直器和物镜。
电子透镜主要有两种类型:磁透镜和电透镜。
磁透镜利用磁场对电子束进行聚焦,而电透镜则利用电场对电子束进
行调制。
2.3 样品台
样品台是载样架,是放置样品的位置。
样品一般为超薄切片(通常在50~100nm范围内),为了使电子穿过样品,样品台需要设计成能够调节高度和倾角的形式。
2.4 检测器
检测器主要用于检测穿过样品的电子,将电子转换成电信号,并进行处理,最终得到图像。
常见的检测器有荧光屏和数字相机。
荧光屏由镁铝酸盐(MgO)和少量Eu离子组成,电子射到荧光屏上时,荧光屏中的Eu离子被激发产生荧光,荧光被放大并通过透镜投射到目镜或相机上。
数字相机则将电信号采集并转换为数字图像。
3 总结
透射电镜是一种高精度、高分辨率的显微镜,其应用范围极广,可以研究材料的微观结构和性质,为材料科学、物理学、化学、生物学等领域的研究提供了强有力的手段。