防静电检测规范

防静电检测规范
防静电检测规范
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1、目的： ........................................................................................... 错误!未定义书签。

2、适用范围： .................................................................................... 错误!未定义书签。

3、定义............................................................................................... 错误!未定义书签。

4、职责............................................................................................... 错误!未定义书签。

5、程序 (2)
6、相关文件和记录 (19)
7、附录 (19)
5、程序
5.1测试方法：
测试环境：
环境温度23±5℃，相对湿度40%～70%。

测试仪器使用方法
.1静电场测试仪（TREK520）
静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键：“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER” 键开机/关机。

该仪器有两个量程：0~2KV、0~20KV,可通
过按“RANGE/ZERO”键进行切换。

当显示3位小数时，量程范围为0~2KV；当
显示2位小数时，量程范围为0～20KV。

每次测试时都应进行读数清零工作，方法为：将sensor对准一个已
知的电压为0V的导体上，按“RANGE/ZERO”键至少3秒钟。

为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。

测
试前，先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板），手持干燥并
干净的棉布以每分钟120次的速度，施加适当的压力（2～4千克力），单
向摩擦待测物表面20次，然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面
的距离为2.54CM及两个红灯重合在一起），将显示的读数乘以1000即得
实际的电压值，例如读数为“.018”，则实际电压为18V。

.2 表面电阻测试仪（ACL-385）
ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不变，测试时将被测物放于绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加适当压力（2～4KG）于测试按
钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即为读数。

如果被测材料为软
性材料，可施加4～6kg的压力进行测试。

.3 接地电阻测试仪（EMI-20780）
EMI-20780 可以测试点对点电阻(RTT), 接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面电阻率, 配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为: 1x 103Ω - 1012Ω；测试电压为: 10V或100V+/-5%；测试精度为: +/-10%;
测试时间为15秒；测试时：把2条连接线分别插入测试表上端的“A”插口, 注意白色连接线和黑色连接线的插头不同, 不要插错. 然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极；按下“D”测试按键15秒, 这时LCD屏幕按顺序显示如下:
●华氏温度
●摄氏温度
●相对湿度
●电阻值
●所采用的测试电压
电阻测试结果由“B”显示屏和“C”冥数LED 指示灯共同显示, 例如电阻值为
175，000，000Ω, 显示如下:
1.75显示在“B”显示屏上, 同时“C”LED指示灯的8会亮,表示测试结果为: 1.75 x 108Ω。

如果LCD显示屏显示“1____”, 说明超过该仪器测试范围。

测试电压为10V或100V, 按下“F”键, 采用10V电压测试, 如果不按下“F”键, 仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压. 阻值在105Ω以下时采用10V测试电压, 阻值在106Ω以上时采用100V测试电压
.4人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试）
测试步骤：
1. 员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，穿戴正
确。

左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电
手腕插入静电测试仪面板的手环插口。

2. 扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的LCD面板提示“请您
按下测试键”。

手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完全接触）
开始测试，3 秒后仪器将测试完毕。

3. 如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的LCD面板显示“通
过”，如果测试不合格，仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声，同时仪器的LCD 面
板显示“不通过”。

不通过时可连续测试4次，若还是不合格，员工立即
到IPQA处更换。

4. IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。

5接地桩电阻测试仪（ZC29B型号）
1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米，且
电位探棒P’系在E’和C’之间。

2.E端钮接5m导线，P端钮接20m导线，C端钮接40m导线。

3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零
位。

4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器
刻度盘，使检流计指针指“0”。

5.当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟
150转。

再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以
倍率档即为被测接地电阻数值。

6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘
以得正确读数。

7.当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导
线联接到被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操
作步骤同上。

8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流
计灵敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。

18 /3M-718A）
1、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）
金属端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，
测试仪显静电值应大于“+1000V”。

2、在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再
看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。

3、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）
金属端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测
试仪显静电值应小于“-1000V”。

4、离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看
测试仪显示值应大于-40V小于+40V。

5、在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。

注意：要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V
电容测试仪（SAML1800）：
测试时，开关旋转至“1801 FALL”档，SALM1801S-I的LED变成红色，蜂鸣器发出报警声响；旋转开关至“1801 PASS”档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。

此为合格。

5.2 测试项目
静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试
结果记录在《ESD点检记录表格》中。

设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后要立即测试）测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

1. 设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。

测试
频率：每月。

2. 电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之
间的阻抗要小于10Ω。

测试频率：每天。

每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。

要求每条线都要测。

测试方法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端
插在电源地线孔里。

要求电阻值小于10Ω。

测试结果记录在《ESD点检记录表格》
中。

5.2.4防静电工服
PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻1×105Ω≤R S< 1×109Ω （上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤
脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

如
检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并
邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。

IPQA监督有无不合格静电服流
入产线。

5.2.5防静电工作台
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在
1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。

每块工作台面测试3个点，将
测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.6地板
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在1*105~1*109Ω之间。

每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区
域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。

测试时两个电极距离
为0.6米～1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在
1*105-1*109Ω之间。

测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，
另一端插入电源地线插孔里。

每100平米测试1个点。

测试结果记录在
《ESD点检记录表格》中。

5.2.7物流器具（如：周转箱、周转车、货架）
由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电压小于100V，周转箱表面电阻：1×103Ω- 1×109Ω，每次每种器具抽检，每1条线抽检
10Pcs，如果有1Pcs不合格则全检。

测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

1×109Ω，接地电阻在1×103Ω- 1×109Ω之间。

测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.8腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，
对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也
必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。

如有测试不合格者需
立即到IPQA处更换。

测试合格后方能进入产线。

腕带系统电阻：800KΩ—10MΩ；工鞋系统电阻：100KΩ--35MΩ。

5.2.9静电场检测
由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位的静电场强进行一次测试，并将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

测试要求：距工作台30CM范围内，静电值要小于+/- 100 V
5.2.10 离子风机测试
由ESD专员负责每季度使用 3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将结果记录在《ESD点检记录表格》中
测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米；合格标准:1000V降到100V的消电时间小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。

注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试
1防静电工作椅子
由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻都在1×105-1×109欧姆之间，。

将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。

2传送带测试
由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在
1×105-1×109欧姆之间。

每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录
在《ESD点检记录表格》中。

由ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。

测试不合格立即更换。

5.3 防静电包装材料的测试
认证测试：首先要求供应商送样给PE确认，同时附上产品的相关参数说明书或产品相关性能指标认定书，经PE验证合格后方可采购。

防静电性能测试环境要求：温度23±5℃,湿度15±5％
测试项目
打“√”为必测项目
高温测试：在温度为60℃，湿度为15％的干燥箱内烘烤12天或在温度为
70℃，湿度为15％
的干燥箱内烘烤8天，然后放于室温存放24小时再进行表面电阻、摩擦电
压测试
接收测试
PE部门对所有无物料代码的ESD辅料进行来料检验。

不定期全检。

检验要
求如下：
防静电性能测试环境要求：温度23±5℃,湿度40～70％
测试项目
由ESD小组人员每个月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容
器、防静电胶、有机玻璃屏进行抽检。

要求表面电阻在1×104-1×1011欧
姆之间，摩擦电压小于100V。

每条线测试5Pcs，若有3Pcs不合格则整
条线全检并更换相应物料。

以上这些物料必须有防静电标识才可投入产
线使用，一经IPQA发现将没收，找替代品或者做防静电加工。

5.4 各类防静电物品、设施检测指标
注：1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压”，要求小于100V；
2.为便于包装材料的接收检验，选择包材时可根据实际情况选择表面电阻及体电
阻在1×105Ω～1×1010Ω的材料。

3.对产线自制物料盒需要经过PE认证检验后并贴上防静电标志才能使用。

4.胶带要加测剥离电压小于100V才能接收。

6、
7、附录—各类点检项目明细
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