洁净室知识培训ppt课件

99.99%
HEPA
CR
filter
1μm
0.5μm
0.3μm
波浪型隔离体 过滤器介质
99.99%
FAN Filter HEPA/ ULPA
工作区域
0.1μm
外框 滤纸
密封条
外框
HEPA Filter高效过滤器——
High Efficiency Particulate Air Filter
热溶胶 （多处加工）
风罩的测量技术要求
项目
技术要求
测量限值/范围
流量50 –3500 m3/hra
误差
读数的 5 %
反应时间
90 % 满标度时不到10 s
校准间隔
最多12个月
注：a—测量限值和分辩率取决于所用风罩的尺寸。
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压差测定仪表
压差检测 普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5～10Pa， 某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负 压差需要维持-10～-30Pa。 根据国家标准GB19489-2004“实验室、生物安全通用要求”的规定：相对于大气 压污染区为-40Pa， 根据国家标准GB50346-2004“生物安全实验室建筑技术规范”的规定：与室外方 向上相邻相通房间的最小负压差为-10Pa。 在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便 随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的 报警标定值，以便超过规定压差时输出报警信号。
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风量罩
测量送风风速
风量罩主要由三个部分构成:风量罩体、基座、PDA构成. 风量罩体主要用于采集风量,将风汇集至基础上的风速均匀器上.在风速均 匀器上装有热式传感器,热式传感器将风速的变化,再根据基底的尺寸将风 量计算出来.风量罩的显示采用PDA,大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到 风速和风量的数据.操作简单,可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录, 以便对数据进行分析.测量和记录的数据被记录在存储卡上,不会丢失,可以 通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用.
4
各种条件下微尘状况
外大气层 大气层
1,000 10,000
田园地带
100,000
街市区
1,000,000
工业地带
Fra Baidu bibliotek
10,000,000
微尘粒子数(P5C/ft3) ≥0.5μ m
尘埃粒子直径的示意图
0.0001 0.001
0.01
0.5 μ m
0.1
1.0
10
100
1000
10000
香烟的烟 颜料
洁净室知识培训
目录
洁净室的用途……………………………………………1 洁净间基础知识…………………………………………25 洁净室及洁净区洁净度等级……………………………26 洁净室管理四大原则……………………………………29 洁净室(Clean Room)内的注意事项……………………54
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洁净室的用途
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发汗现象
从胳膊发汗条件创造。
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吸烟的例子
香烟烟雾的粒子。
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运动时产生的尘埃粒子数量
静坐时产生的尘粒数约 10,000 轻微运动时产生的尘粒数约 100,000
剧烈运动时产生的尘粒数约 10,000,000
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灰尘是如何去除的呢？
95% Pre-filter
90~95% Bag-filter
12
纸张的发尘对比
左边是普通纸，右边是无尘纸。
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胶带和手套的发尘例子
左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。
14
电动工具的发尘例子
左边是电钻发尘的样子。右边是真空泵发尘的样子。
15
吸尘器排气的例子
吸尘器各地方排气泄漏的样子。
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打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子
打喷嚏时瞬间发生的飞沫。
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什么是洁净室？
洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它 的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内 其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》
由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越 小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器 件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染 源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这 些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率 和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的 环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。
外框
热溶胶
褶皱状滤纸
ULPA Filter高效过滤器——
Ultra Low Penetration Air Filter
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灰尘是如何去除的呢？
洁净室的空气净化
新 风
正压 Relief Damper
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手持简易型激光粒子计数器
测量空气中微粒的数量 限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英 尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为 0.3μ m。通常均可采用电池或交流电工作。 这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型， 有0.3和0.5μ m及0.5和5μ m两种标准配置。 由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便， 适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可存 储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。
左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。
9
拍击工作服时产生的尘埃粒子对比
左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。右边是拍击洁净服时发尘的样子。
10
洁净室内的事例
作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。
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浮游粒子
使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。
水泥 人的头发
烟
植物孢子
重工业发出的粒子
硅砂
花粉
病毒
细菌
化学物质
尘埃粒直径（单位：μ m）
6
灰尘又是如何产生的呢？
人员因素造成
空气中漏入 原料中带入
78 35
25 设备运转产生
25
生产过程产生
——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》
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一般事务室里拍摄的例子
荧光灯全部消失的场合。
8
走路时候发尘样子对比
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高效过滤器
高效过滤器捡漏 卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压 箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超 过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声 （即 %LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进 行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶 胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。