mems压阻式传感器工作原理

mems压阻式传感器工作原理
Mems压阻式传感器是一种基于微机电系统(Microelectromechanical Systems, MEMS)技术制造的压力传感器，通过测量薄膜电阻的变化来检测压力的变化。

工作原理如下：
1. 薄膜制备：在压阻式传感器的芯片上制备一层薄膜，通常使用硅材料制成。

2. 压力感应：当外部施加压力到传感器上时，薄膜会发生变形，变形程度与压力的大小成正比。

3. 电阻变化：薄膜上有一系列的电阻，这些电阻会随着薄膜的变形而发生改变。

通常，薄膜上的电阻布局为一系列细长电阻条，形成一个电桥电路。

4. 电桥电路：电桥电路是由两个电阻共享电流的分压电路。

薄膜上的电阻条为电桥电路提供输入电阻。

当薄膜发生变形时，电桥的电阻比例会发生变化，从而改变了电桥的电压输出。

5. 信号处理：电桥的电压输出信号经过相关的放大和滤波电路进行处理，并转换成数字信号。

6. 压力测量：通过测量电桥输出信号的变化，可以判断外部压力的大小和变化。

Mems压阻式传感器因其小型化、高精度和低功耗等特点，在压力、重力、加速度等方面的测量中得到广泛应用。