超高真空设备的放气分析
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作 者：汪力 闫荣鑫 孙立臣 刘恩均 Wang Li Yan Rongxin Sun Lichen Liu Enjun 作者单位：北京卫星环境工程研究所,北京,100094 刊 名：航天器环境工程 ISTIC英文刊名：SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING 年，卷(期)：2009 26(2) 分类号：V416.8 关键词：放气 超高真空 材料 outgassing ulwa-high vacuum materia分析出材料放气的成分
超高真空设备的放气分析
超高真空设备的放气分析
文章介绍了超高真空设备放气的理论,并给出两种放气模型:Schram吸附模型和吸附-扩散模型;对设备的放气理论值进行了计算,并通过四极质谱仪得出的残余气体质谱图分析出材料放气的成分.
超高真空设备的放气分析
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文章介绍了超高真空设备放气的理论,并给出两种放气模型:Schram吸附模型和吸附-扩散模型;对设备的放气理论值进行了计算,并通过四极质谱仪得出的残余气体质谱图分析出材料放气的成分.