ESD Check List(Q3-035-05)-ESD稽核表
防静电ESD控制审核检查表
4. Summarize each times data for further improvement project in future
01Biblioteka 23Nothing
The APPROACH The approach is The approach is
something new to exists,meaning: SYSTEMATICALLY ASSESSED,meanin
supplier
process/procedure/ DEPLOYED,
g KPIs exist and are
WI is written.
meaning: process, measured for the
WI are deployed to approach or
all relevant people / performance is
projects - evidence assessed, etc…
is available or
Data available !
adequate people
are in place etc…
Remark: For SBI supplier, OQA audit score should not be less than 2.00
Description for use
Purpose
This is tool of PCLZ SQM. To assess the performance of supplier's quality management including production line, productivity, OQA, ESD and RoHS. Use this tool to identify gaps, strengths and opptunity to improving quality management in supplier factory This tool include: A. Production line audit check list B. Production line capacity check list C. OQA check list D. ESD check list E. RoHS check list
ESD内部稽核查检表
Page: 1/2NB R源自 Phone RD W/H1.1 部門內是否有切實可行的ESD/EOS系統標准文件 1.2 部門內是否有專業的ESD窗口 1.3
從事接觸到ESD敏感物件的工作人員,上崗前是否有接受過 ESD訓練
1.4 工齡滿一年的員工是否有年度重新訓練認証 1.5 ESD敏感區域進出口是否設有警示標識 1.6
所有治工具是否采用抗靜電材料制成﹐且機台是否做好接地 處理.
2.6 所有人員進入鋪設導電地板之ESD防護區時,是否有穿靜電鞋 2.7 ESD檢測儀器是否時刻處于設備良好狀態 2.8 靜電衣穿著時是否符合公司標准 2.9 ESD工作站之靜電環,靜電桌墊是否采用并聯接地 2.10 靜電環是否有與設備接地線或各种被誤認為己接地設備上 2.11 靜電接地時采用之鱷魚夾與接地香蕉插頭是否有混合使用 2.12 所有ESD檢測儀器是否均有進行校驗﹐且均在有效期內 2.13 離子風扇安裝位置是否符合要求 2.14 離子風扇送風量是否符合要求 2.15
ESD 內 部 稽 核 查 檢 表
稽核人員: 稽核人員: 日期: 日期: 受稽區域 負責/ 負責/受稽人員 一、ESD 系統要求 IQC IQC COB 物料室 COB COB 產線 COB QC SMT SMT 物料室 SMT 產線 SMT QC QC SMT 維修 BB 物料室 BB A區 A區 BB B 區 BB C 區 BB BB D區 D區 BB E区 E区 BB QC/OBA BB 維修 BB 包裝
作業員在作業時是否有依要求佩戴靜電環﹑靜電手套或靜電 手指套
2.16 所有人員每次上班前是否主動檢測靜電環/鞋接地狀況 2.17 所有ESD敏感零組件,是否放于靜電盒/框或防靜電容器內 2.18 取放ESD敏感零件時,是否使用防靜電鑷子進行操作 2.19 對含有ESD敏感材料之PCB進行清潔時是否使用防靜電刷 2.20 2.21 2.22
ESD日常点检表
实施日期：2007/6/8
第6页共6页
版本：B/0 实施日期：2007/6/8 第2页共6页
在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动 防静电 操作岗位，须使用防静电手套。 手套\ 指套 定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。 防静电工作台在日常使用中，必须确保正常 接地状态。 防静电工作台上不允许存放塑料盒、橡皮、 玻璃、白色塑料袋等易产生静电的物品，图 纸、资料等应放入防静电文件袋中。
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目视
日/1 次
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目视
日/1 次
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目视
日/1 次 日/1 ຫໍສະໝຸດ 日/1 次 日/1 次∕ ∕ 万用 表 万用 表 万用 表 万用 表 温度 计 ∕ ∕
目视 目视 测试 测试
日/1 次 日/1 测试 次 日/1 测试 次 测试 目视 目视 目视 日/1 次 日/1 次 日/1 次 日/2 次
环境不允许不符合防ESD规范的人员进入EPA控制区域。 ∕
编号：KDC-ZL007/01
检查工作区所有ESD敏感器件、单板都放置在 防静电周转工具或包装中。 确定你的工作区内、防静电周转工具和包装 中没有不允许的或未经处理的静电源。工作 防静电 区内必须存在的一些静电源远离ESD敏感器件 工作台 和敏感单板30厘米以上。保证明显而严重的 静电源远离防静电工作区1米以上。 确认工作台台垫为防静电台垫，工具为防静 电工具。确认工作区域所有防静电工具都有 ESD标识。 确认在工作台上的清洁用品、溶剂、喷雾器 、胶纸等工具材料已被EPA区域责任人确认可 以使用。 如果工作台装了离子风机，在工作时应打 开，并保证其位置正确。 每日对设备的接地线进行检查，要求接地点 设备\ 和设备的接地点相通。 测试工 装 检查设备和工装的接地点必须牢固，无松开 现象。 电动起 电动起子电线外壳部分应实行硬接地，并进 子 行测试保证接地良好。 电烙铁电力线外壳部分应实行硬接地，并进 电烙铁 行测试保证接地良好。 温度\ 除电子仓控制:15℃--28℃/45%--60%,其它 湿度 EPA区域控制:15℃--28℃/45%--70%。 周转车 周转箱 周转车必须有接地的链条和大地保持良好接 地。 对PCBA和元器件必须使用防静电的周转箱盛 装，不防静电的器具不得进入敏感区域。
ESD内审检查表范例
审核位置：重工
序 号
审核要点
1 严禁徒手接触ESD元件，是否使用抗静电真空笔或无磁性的镊子取放ESDS元件？
2 ESD元件必须被真空包装，暴露的时间是否在受控的环境中？
审核证据 审核证据
审核证据
参考文件 符合性
ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范
备注
参考文件 符合性
ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范 ESD控制规范
审核位置：QA巡检员
序 号
审核要点
1 QA巡检员是否每周一次根据ESD稽查表进行检查？
2 发现不符合ESD控制要求的行为，QA如何处理？
3 QA组长是否对提交的ESD稽查表进行了审核确认？
审核位置： ESD相关物品的购买
序 号
审核要点
1 所有和ESD有关的物品供应商有无提供符合国家标准的相关检测报告？
符合性
备注
审核位置：个人腕带的确认及ESD防护
序 号
审核要点
1
腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记录在 《防静电手环测试记录表》中。
2 《防静电手环检测记录表》是否每天由线长或工段负责人签字审核？
3 ESD控制区作业人员是否穿戴好ESD防护衣服、防静电帽、防静电鞋？
3 在处理电路板时有无戴干净的防静电手套或指套？
4
当运送ESDS时如果使用如金属手推车一类的移动工具时，手推车有无通过拖链或导电 的脚轮接地？
5
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋、防静电帽，所有人员在接 触静电敏感材料时有无佩戴防静电手环？
6 充电物品不可接触ESD敏感元件，是否满足？
ESD checklist(中英对照_自行翻译)
M8. Measure field voltages around the equipment; Spec: < 200V 測量設備周圍的場電壓;規格：<200V的 Are non-grounded personnel at least 4 feet away from any ESD sensitive area? 18 人員若未接地是否有離靜電敏感區域至少4英尺(1m)？ Are charge-generating equipment at least 4 feet away from any ESD sensitive area? 19 會發生電荷的設備距離靜電敏感區域至少4英尺(1m)？ Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat? 20 處理靜電敏感元件時是否于工作臺上鋪設靜電消散墊子ssipative mat on the table properly grounded to the ESD common ground at prescribed intervals? 靜電消散墊子是否有以規定距離適當與ESD共同接地點連接? M9. Measure the resistivity of the worktable surface; Spec: 1e5-1e9 Ohms/Square 測量工作臺表面電阻率：10^5 - 10^9歐姆 /平方 21 M10. Measure the resistance of the dissipative mat ground point to the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm 測量靜電消散墊子接地點至共同接地點阻值;規格：<1歐姆 M11. Measure field voltages at different areas of the worktable surface; Spec: < 200V 測量工作臺表面不同區域之場電壓，規格：<200V的
ESD 2023版本年度检查表
序号 Serial Number
审核要点 Review points
1
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到 指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？
2
生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出 来，且粘贴ESD标签？
3
是否定期对工作站接地进行检查，并记录《符合性验证记 录表》？
ESD元件的存储、运输、处理
《ESD静电放电手册》
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√ ■合格 □不合格
27
当运送ESD敏感器件时如果使用如金属手推车一类的移动 工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？
ESD元件的存储、运输、处理
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋 28 、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防 ESD元件的存储、运输、处理
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
备注 Notes
审核员Auditor：
序号 Serial Number
《ESD静电放电手册》
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ESD测试手册
ESD测试手册ESD 测试清单序号名称测试项目1 电批对地阻值2 烙铁对地阻值3 静电鞋对地阻值4 静电服表面阻值/摩擦电压衰减时间5 静电手腕带对地阻值6 静电脚跟带对地阻值7 托盘表面阻值/对地阻值8 包装材料表面阻值/摩擦电压9 夹治具表面阻值/对地阻值10 工作台表面表面阻值/对地阻值11 流水线表面阻值/对地阻值12 周转车对地阻值13 防静电椅对地阻值14 手套和指套摩擦电压衰减时间15 生产设备对地阻值/静电电量/静电电压16 其它需要静电测试N/A17 主接地对地阻值ESD测试手册1.1 电批接地电阻测试方法仪器名称1：万用表被测对象：电批接地理论值：小于20欧姆测试环境: 温度为23±3℃，湿度为50±10%。
测试频率:每天点检测试部门:设备维护测试方法：将欧姆表的一端与设备接地相连，另一端与被测对象相连，按下欧姆表测试按钮待数字稳定后读数。
处理方法：当检测不合格后，维护人员需检查接地线接地情况，如接地线也没有问题，需维修电批。
1.2 烙铁接地电阻测试方法仪器名称1：万用表被测对象：烙铁接地理论值：150k欧±10%测试环境: 温度为23±3℃，湿度为50±10%。
测试频率:每天点检测试部门:设备维护测试方法：将欧姆表的一端与设备接地相连，另一端与烙铁头相连，按下欧姆表测试按钮待数字稳定后读数。
处理方法：当检测不合格后，维护人员需检查接地线接地情况，如接地线也没有问题，更换新烙铁头，如果检测还是NG，则需维修电批。
1.3 静电鞋接地电阻测试方法仪器名称1：人体静电测试仪被测对象：静电鞋接地理论值：小于109欧姆测试环境: 温度为23±3℃，湿度为50±10%。
测试频率:每天点检测试部门:生产测试方法：在仪器非充电状态下，一只脚站在测试仪的测试台上，将测试项目按钮调至“Footwear”档，按下测试按钮，当测试指示灯显示绿色或发出“OK”提示，则说明静电鞋测试合格，当测试指示灯显示红色时则证明静电鞋测试不合格,然后换另一制脚，用上述同样的方法测试其合格性，处理方法：如果不能通过测试，则按照如下处理：(1)清洁鞋底,(2)清洁鞋垫,(3)如果处理后还不能通过,则要报告拉长或主管,申请更换.1.4 静电手腕带电阻测试方法仪器名称1：人体静电测试仪被测对象：静电手腕带接地理论值：小于1.0X106欧姆测试环境: 温度为23±3℃，湿度为50±10%。
2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)
3
Where ESD protective flooring is used, is the flooring grounded to the plant's common ESD ground?
是否有使用ESD保護地板並且連接至車間共同接地點?
□符合□不符合
4
Is the ESD protective flooring grounded properly at prescribed intervals?
M5. Measure the resistance between a workstation ESD ground point and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm
測量工作站ESD接地點至共同接地點間的阻值;規格：<1歐姆
□符合□不符合
8
Are personnel wearing grounded wrist straps at the ESD-protected workstations?
一次性腳環是否限定一次性使用?
□符合□不符合
15
Do personnel wear ESD protective garments or smocks in ESD controlled areas
人員在ESD管制區域是否有穿著靜電防護衣?
□符合□不符合
16
Are ESD protective garments correctly worn?
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
ESD查检表
ESD 季稽核查检表部门：组长：日期：A.ESD负责人需求：YES NO N/A1. 是否有ESD负责人之设置？[] []2. 是否每部门，每班都有设置[] []B.训练和资格：YES NO N/A3. 是否有提供ESD资格训练课程，训练资料和资格有效时间是否有监管？[] []4. 训练是否有实作说明和考试？[] []5. 全部的ESD稽核员是否受训合格？[] []6. 静电区的所有工作人员是否皆ESD资格？[] []C.防静电工作桌YES NO N/A7. 防静电工作区内每个ESD敏感的工作站都有标示吗？[] []8. 是否所有电气设备都有做接地？[] [] []9. 全部防静电工作桌是否有接地静电环插座且其连接是否合于规定？[] [] []10. 距离工作桌1公尺内之所有物品其静电电压是否都低于100V？[] [] [][] [] [] 11. 如有局部防静电处置（如防静电喷剂），是否每周实施一次？合乎静电电压低于100V以下之规定？[] [] [] 12. 所有离子风扇动作是否正常而置放是否正确？离子平衡测试是否按月校验？13. 工作桌对地阻抗是否在1MΩ与1000MΩ之间？[] [] []D.个人接地部份YES NO N/A14. 戴上静电环的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []15. 穿上导电鞋的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []16. 导电地板对地阻抗是否在25K Ω与5M Ω之间？ [] [] []17. 静电环和导电鞋检查器功能是否正常，每季是否校正？[] []18. 在防静电区内的所有人（包括工程师和访客）是否都接地（戴上静电环或穿上导电鞋）？ [] [] []19. 假如使用静电鞋，则是否同时使用导电地板？[] [] 20. 距离ESD 敏感零组件1公尺内之物品例如外套头发等，其静电电压是否低于100V ？ [] []E. ESD 敏感确认YES NO N/A 21. 是否对ESD 敏感项目予以确认？ [] []F. 包装和标示YES NO N/A22. 若不在防静电桌或区域内，是不是所有的ESD 敏感零组件都置于封闭的 ESD 摒蔽容器内，而不外露？ [] [] 23. 是否有静电源和ESD 敏感零组件一起放在ESD 摒蔽容器内？ [] [] 24. 导电和静电消散包装材料再次回收使用前是否有检查？ [] [] 25. 有否使用过时的防静电包装材料？[] [] []26. 是否使用之包装材料皆为ESD 合格的材料？ [] [] 27. 装ESD 材料之ESD 容器是否有清楚可见的标识？ [] []G. 稽核和资料保管YES NO N/A28. 在有ESD 要求的工作场合之每位工作人员是否每天执行“每日点检”？ [] []29. 每个季的内部稽核结果是否有向经理层和ESD Coordinator 报告？ [] [] 30. 每季内部稽核资料是否完全而准确？ [] [] 31. 年度稽核是否彻底及准时（15个月内）？ [] []H. 矫正措施YES NO N/A 32. 有没有证据来说明矫正措施已被完全正确执行？[] []合计 YES NO N/A[] [] []{}{}{}%%100NO YE S YE S 100＝得分＝⨯+⨯。
ESD内部审核检查表
Ⅰ静电电压抽测
测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 序号 1 2 工作区域/工作站 校验有效期： 电压测量值（KV） 评价（通过/不通过）
Ⅱ接地及表面电阻抽测
测量标准：一.接地检测类型：工作站ESD接地电阻<1Ω；二.防静电类型：工作台垫表面电阻106Ω≤测量值≤1011Ω 标准设备：设备名称：数字多用表、 表面电阻测试仪. 工作站接地检测 校验有效期：
检验工序
工作站 L L
pt#
阻值（欧姆）
表面电阻
传输带
工作站 L L Ⅲ静电地板表面电阻抽测
标准设备：设备名称：表面电阻测试仪.
生产工序
pt#
表面电阻测量值
记录
测量标准：1.检测值≤1011欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 校验有效期：
检测工段
检测序号
检测值（欧姆）
序号
测试地点编号
测试阻值
状况描述
备注
备注
防静电周转箱、托盘、 Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测
测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期：
工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
Ⅴ总接地电阻检测
测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期：
ESD检查报告表
检查 日
部门/生产线:
项目
内容
静电手环功能检测
静电手 环／套
静电手环夹子须连接ESD接地线
标准 －－
工具 静电手环测试仪
无松脱/接触良好
万用表
结果
稽核结果
静电手套允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
静电地面电阻阻抗值/静电电压 值
1X105~1011Ω/＜
表面阻抗测试仪 /静电电压测试
1、以上 注： 报告无表数中
据2、要稽求核 结果注栏栏由 内；
检查 人：
审核：
稽核：
FW-SG-04
静电电压测试仪
静电材料包装允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
防静电测试用之仪器校验有效性 校验合格且有标签
操作员/修理员有佩带静电手环 及佩带方法正确
SMT房及敏感元器件仓人员是否 穿静电衣、防静电鞋/帽
－－ －－
电批/烙铁与安全地线连接
无松脱/接触良好
接触静电敏感元器件使用ESD电 烙铁
目视 目视 目视 万用表 目视
100V
仪
防静电容具
＜100V
静电电压测试仪
备注
静电区域有ESD警告标识
－－
目视
仪器\设备\治具与安全接地线连 接
无松脱/接触良好
万用表
防静电工作台垫允许最大静电电 压
＜100V
静电电压测试仪
防静电工作台垫与ESD地线连接 生产线 /IQC/ 防静电椅垫允许最大静电电压 仓库
无松脱/接触良好
万用表
＜100V
2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
測量靜電衣表面電阻率;規格：0 - 10^5歐姆/平方
□符合□不符合
17
Are the ground points of all equipment grounded to the common ESD ground of the plant?
測量工作臺任何絕緣材料及易摩擦帶電的場電壓;規格：<200V的
□符合□不符合
29
Is the RH of ESD controlled areas maintained above 40% and is the RH in these areas monitored?
Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat?
處理靜電敏感元件時是否于工作臺上鋪設靜電消散墊子?
□符合□不符合
21
Is the static dissipative mat on the table properly grounded to the ESD common ground at prescribed intervals?
在ESD管制區域是否絕緣材料存在，例如，塑料包裝袋，塑料信封，塑料文件夾，盒子？
□符合□不符合
26
Where insulative materials are present in ESD controlled areas, are ionizers in use?
ESD内部审核检查表
14
设备部
15 16
设备部 设备部
17
ESD保护台操作区域是否设置静电手环接地点 （报警器、接地插座、接地端子）? 防静电保护台上是否有设置一个静电手环接地 点供客人和管理人员使用? 是否有检查ESD保护台上其它通电仪器设备治 工具是否有接二次保护红色设备接地线?
设备部
18
设备部 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 品保 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保 品保
19
20
离子风机/风扇/风棒/风枪是否有固定位置 距产品30cm、定最大风速、定45-90角度
离子风机/风扇/风棒/风枪是否有每日保养、 每月拆机清洁及记录与存档 ESD控制区的人员是否都参加过ESD培训、
21
1
是否有培训签到表、考核试卷、上岗证? 进入EPA防静电工作区的外来人员是否符 合ESD操作要求或有ESD合格人员陪同?
2 3
五:ESD控 制区
4
人员进入EPA区域是否按照无尘服/静电衣帽鞋 生产、IQC、 仓库、品保 着装标准执行?
5
手腕带测试仪、人体综合测试仪、手环报警器 生产、IQC、 、接地插点、接地电阻测试仪、静电压测试仪 仓库、品保 是否足够?
6
在保护台和工作区是否有非防静电的绝缘物料 （如普通Tary、泡棉、泡沫、胶袋、胶布、纸 生产、IQC、 、笔等个人物品）是否与ESD敏感器件相距 仓库、品保 30cm以上? EPA区域防静电地板/静电地垫/工作椅/货料/ 周转车是否接地？ 生产、IQC、 仓库、品保
EPA内是否有温湿度控制系统，当温湿度超标 厂务部、生产 时有无文件规定如何操作、ESD敏感元件或ESD 、IQC、仓库 产品如何操作? EPA、仓库、IQC是否配置温湿度计，是否有校 生产、IQC、 验，是否每班有温湿度记录? 仓库 EPA区域是否安装防静电地板/静电地垫？是否 有定期检测接地电阻？ EPA区域是否有配置人员（含客户/供应商等外 来人员）使用的防静电衣帽鞋、手环手套，外 来人员是否有ESD合格人员陪同? 是否配置手腕带测试仪、人体综合测试仪、手 环报警器、接地插点、接地电阻测试仪、静电 压测试仪？ 防静电检测仪器是否遵循了校验和维护程序，并 处于有效期内? EPA区域是否配置静电接地线、设备接地线供 人员、设备接地？是否有定期检测接地电阻？ 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保
ESD防护项目检查表
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2
ESD管理规范V2.1强制执行清单验收checklist
ESD环境
回路腕带插孔座，以便于操作者腕带的接地。
接地端
子到防静电线之间的电阻应小于4Ω。
当工作台接触到它附近的最高可能电压时，工作
台表面的对地电阻应能保证最大对地漏电不超过5mA。
静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应
该保持在R＜1.0×109Ω（不依赖于相对湿度）。
必须采取完整的防静电包装措施，以避免ESDS遭受内外部各种高静电、强电场的影响。
塑盒、屏蔽袋或防潮袋等进行直接包装后，再采用纸箱或木箱等进行外部包装（二次包装或间接包装），外部包装和直接包装之间应填充防静电泡沫或防静电汽珠袋用于减震和防碰撞。
盘加屏蔽袋等直接包装后再用纸箱等进行外包装（内加防静电性能的防震防碰材料）运输，或直接采用器件来料原包装进行运输。
法拉第笼的特性保证内部的ESDS处于静电放电安全状态。
ESD现场接地防护检查基准表
ESD现场接地防护检查基准表一、ESD现场接地·防护控制防静电镊子表面摩擦电压IQC ＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○防静电拉伸膜表面摩擦电压IQC ＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○2点间的表面电阻值IQC 1.0×106～109Ω5pcs／各上料LOT 表面电阻测试仪来料检验○○表面摩擦电压IQC＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○2点间的表面电阻值IQC1.0×106～1010Ω5pcs／各上料LOT 表面电阻测试仪来料检验○○表面摩擦电压IQC＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○2点间的表面电阻值IQC1.0×106～1010Ω5pcs／各上料LOT 表面电阻测试仪来料检验○○表面摩擦电压IQC＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○2点间的表面电阻值IQC1.0×106～1010Ω5pcs／各上料LOT 表面电阻测试仪来料检验○○表面摩擦电压IQC＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○2点间的表面电阻值IQC＜1.0×109Ω5pcs／各上料LOT 3M 表面电阻测试仪来料检验○○表面摩擦电压IQC＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○2点间的表面电阻值IQC1.0×106～109Ω5pcs／各上料LOT 3M 表面电阻测试仪来料检验○○表面摩擦电压IQC ＜100Ｖ5pcs／各上料LOT 表面静电场测试仪来料检验○○作成： 承认：IQC进料检验报告固定货架/移动推车/作业台防静电框架/周转箱/器件盒防静电塑胶卡板防静电手套/手指套防静电汽泡袋/PE胶袋防静电吸塑盒二、ESD受入检查对象部品。
ESD现场审核表-格式可转换编辑
1.每层货架的台垫单独和地线连接；接地夹2端连接 可靠，无脱落；
7
货架
2.与地线连接端与采用焊接方式固定；
3.台垫表面无污渍、无大面积破损；
1.台垫上的接地线连接可靠，无脱落
8
工作台台垫
2.台垫表面无污渍；
审核记录
9
腕带佩戴情况下的对 地电阻
7.5×105Ω≤R≤3.5×107Ω
10 防静电鞋穿戴下的对 5×105Ω～1.0×lO9Ω 地电阻
ESD现场审核表
部门：
审核时间：
序号
检查项目
标准和要求
1.必须穿防静电工衣、鞋、帽；
2，衣、鞋、帽须整洁,干净,无破损；
1
工作服(衣、鞋、鞋 3.衣服上钮扣应全部扣紧，穿戴整齐； 帽)穿着情况 4. 头发应被帽子罩住；
5.必须穿防静电鞋且鞋子尺码一致；
6.防静电鞋内不能有鞋垫；
1.必须使用防静电手套、手指套 2 手套、指套佩戴情况
2.手套整洁,干净,无破损；
1.腕带不能戴在衣袖上；
3
腕带佩戴情况 2.腕带上的金属应紧贴皮肤；
3.腕带上鳄鱼夹应和地线连接；
1.仪器的电源开关应保持“ON”状态或其工作指示灯 应亮； 4 离子风机、测试仪等 2.仪器定置摆放，无位移； 设施的工作状态
3.关键的或有要求的工序必须使用离子风机；
1.各工作台上的分支线、地面接地端子和干线连接牢 固，无松动或脱落；
2.接地点的标识清晰；
16 母线、分支地线及设 3.分支线与母线间电阻≤1Ω； 备的连接情况 4.电源、仪表、老化柜等设施的外壳（裸露处）与母 地线间的电阻≤2Ω；
5.母线的对地电阻≤4Ω；
17 防静电工作服 表面电阻：1×105Ω～1×109Ω