zif 薄膜 制备

zif 薄膜制备
zif 薄膜的制备方法如下：
1、配置锌基树脂前驱体溶液，将锌基树脂前驱体溶液均匀地扩散到硅片表面并成膜。

2、使用长波紫外线透过图案化掩模版对硅片表面的膜进行照射，使硅片表面膜固化生成图案化丙烯酸锌-丙烯酸共聚物有机膜，对图案化丙烯酸锌-丙烯酸共聚物有机膜进行洗涤处理。

3、采用高温热处理法将图案化丙烯酸锌-丙烯酸共聚物有机膜转化为图案化多孔氧化锌薄膜，采用化学气相沉积法将图案化多孔氧化锌薄膜和2-甲基咪唑粉末进行反应转化为图案化zif 薄膜。