新型测量压力波动的传感器
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新型测量压力波动的传感器
朱秀章
【期刊名称】《上海微电子技术和应用》
【年(卷),期】1996(000)002
【摘要】本传感器主要用来精确测量大的压力的微小波动值，。
使用前，应参照被测压力值对传感器充电一定压力的空气，测量时，籍助于特制的无张力膜使传感器内部压力跟踪外界压力，当阀门关闭时，传感器可以测量压力的波动值，当阀门开启时，传感器可以测量静压。
【总页数】5页(P32-35,45)
【作者】朱秀章
【作者单位】无
【正文语种】中文
【中图分类】TP212
【相关文献】
1.温度波动对光栅压力型传感器精确测量影响的研究 [J], 方文明;王琪;黄金泉;王幸国;张光耀
2.一种可同时测量温度和压力的新型SAW传感器 [J], 李天利;吴正斌;胡泓;郑亮
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5.煤气表压力波动测量与压力计的动态特性 [J], 宋茂强
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