氟化液的合成工艺流程
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1.将无水氢氟酸(AHF)输送到缓冲槽中待用；
2.从所述缓冲槽中输送一定量的无水氢氟酸到投料槽中，再通过重
力作用使所述无水氢氟酸流经缓冲塔进入到计量槽中准确计量；
3.将所述计量槽中的无水氢氟酸以预定速率流经初级过滤器后进入
塔釜；
4.在塔釜中通入50～60℃的热水，采用低温蒸发，得到高纯度无水
氢氟酸气体；
5.将所述高纯度无水氢氟酸气体通入纯化塔中，并通入氧化气体与
所述高纯度无水氢氟酸气体反应得到超纯无水氢氟酸气体，从所述纯化塔顶部排出，其中所述氧化气体为氟气和氮气的混合物；
6.将所述超纯无水氢氟酸气体经冷凝器冷凝后，进入调配槽中调整
浓度。