关于改进四探针头的几点建议

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确度。
２目前四探针探头存在的问题（１）在测量半导体材料的各种参数中，由于被测材料（单
晶硅片、单晶硅棒等）表面不平整，或手测时压力不均匀，通常使探针所受的反冲力不一样，探头在使用一段时间后，弹簧片的探针夹口会变形．使探针与弹簧片的接触不良，从而导致了测量数据不稳定、不准确。（２）在常温浇注铜套时，模具只是利用模针孔与锥头上的模针来固定位置．在操作时由于浇液容易堵塞模针孔而使得对
摘要：四探针技术是测量半导体电阻率的专用测量手段。介绍四探针探头的测试原理，在测试中影响四探针头性能的几个问题：弹簧片的结构存在不足，锥头与铜套配对容易错位，测试架连接件结构对测量的不良影响，以及检测探头参数的方法繁琐等。
提出应对的改进方法
关键词：四探针头；弹簧片；模具：连接件：检测
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｆｏｕｒ— ｐｏｉｎｔｐｒｏｂｅｔｅｃｈｎｉｑｕｅｉｓａｓｐｅｃｉａｌｍｅｔｈｏｄｏｆｍｅａｓｕｒｉｎｇｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ．Ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓｔｈｅｔｅｓｔｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｆｏｕｒ —ｐｏｉｎｔｐｒｏｂｅ，ａｎｄｓｅｖｅｒａｌｐｒｏｂｌｅｍｓｔｏａｆｆｅｃｔｔｈｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｆｏｕｒ —ｐｏｉｎｔｐｒｏｂｅｄｕｒｉｎｇｔｅｓｔｉｎｇ：Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｓｐｒｉｎｇｓｈｅｅｔ，ｃｏｎｅｈｅａｄａｎｄ
ｔｈｅｃｏｐｐｅｒｓｌｅｅｖｅｐａｉｉｒｎｇｅａｓｉｌｙｄｉｓｌｏｃａｔｉｏｎ，ａｄｖｅ￣ｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｔｅｓｔｓｔａｎｄｃｏｎｎｅｃｔｏｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｒｅｄｕｎｄａｎｔｍｅａｎｓｏｆｔｅｓｔｉｎｇｔｈｅｐｒｏｂｅｐａｒａｍｅｔｅｒ，ｅｔｃ．Ｔｈｅｉｍｐｒｏｖｉｎｇｍｅｔｈｏｄｉｓｐｕｔｆｏｒｗａｒｄｔｏｄｅａｌｗｉｔｈｔｈｅｍ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｆｏｕｒ — ｐｏｉｎｔｐｒｏｂｅ；ｓｐｒｉｎｇｐｉｅｃｅ；ｍｏｌｄ；ｃｏｎｎｅｃｔｏｒ；ｔｅｓｔ
中图分类号：Ｄ９２２文献标识码：Ａ文章编号：１００３ — ５１６８（２０１３）２１ — ００６８ — ０２
广州半导体材料研究所是国内研制、生产半导体材料最早的单位之一，始建于上世纪六十年代。广州半导体材料研究所半导体测试中心是研制、生产半导体专用测试仪器的主要机构，已成功研制、生产了大量各种类型和不同型号的半导体专用测试仪器、专用测试配件，主要有：ＳＤＹ一４型四探针测试仪、ＳＤＹ一５型四探针测试仪、ＳＤＹ一６型四探针测试仪、ＤＬＹ一２型导电类型测试仪、ＤＳＹ一２单晶少子寿命测试仪、ＸＸ一２手持式方块测试仪等测试仪器，各类型探针头有：四探针头、三探针头。二探针头、仿Ｆｅｌｌ四探针头，及各种测试架等，其中大部分产品填补了国内空白，处于国内领先地位。产品已广泛应用于半导体材料、功能材料及器件的科研、生产单位和高等院校。随着半导体器件的迅猛发展，需要具有更方便、更准确的智能型的测试设备，为了配合测试仪器的整体配套，要求对探头的性能做出进一步改进。１四探针测试仪的测试原理四探针技术是测量半导体电阻率的专用测量手段，已经有几十年的历史丰富的理论，目前已经在半导体生产工艺中获得了广泛应用，它简便易行，适用性强，又有足够的测试精度。四探针法的测量装置见（图１）。四根由钨丝制成的探针等间距地排成直线，彼此相距为（０．６２８ — １．５９０ｍｍ）。测量时将针尖压在样品的表面上，外面两根探针通以电流Ｉ，里面的两探针用电位差计来测量电压。
２０１３．Ｎ０．１１
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｅｎａｎＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ工程与材料科学
关于改进四探针头的几点建议
周映芬申浩（广州半导体材料研究所，广东广州５１０６１０）