参考文献

参考文献[a] 侯桂庆，高殿荣，杨林杰.螺旋泵简介和锥形螺旋叶片泵的研究[J].液压与气动，2004,11:10~11[1] Karassik，Igor J．，Joseph P．Messina，Paul Cooper，et a1．Pump Handbook(3rd Edition)[M]，McGraw-Hill，New York 2001[2] 许贤良，王传礼.液压传动[M].北京：国防工业出版社，2008[3] 王立鼎,刘冲.微机电系统科学与技术发展趋势[J].大连理工大学学报,2000,40:508-511[3a] 王沫然，李志信.基于MEMS的微泵研究进展[J].传感器技术，2002,21（6）：59~61 [4] Michalicck M A.Introduction to microelectromechanical systems[R].New Mexico:Air Force Research Laboratory,2000[5] SMITS J G.Piezoelectric Micropump with three valves working peristaltically[J].Sensors and Actuators,1989,20:203-206[5a] 苏宇锋，陈文元. 基于MEMS的微泵研究进展[J].微纳电子技术，2004,5:33~40[6] Yole Development,Status of the MEMS Industry[EB/OL].[2012-07].http://www.i-micro-news. com/upload/Rapports/Yole-Status-of-the-MEMS-Industry.July-2012-web.pdf[7] 许忠斌,杨世鹏,刘国林等.微泵的研究现状与进展[J].液压与气动,2013,6:7-12[8] Kan Jun Wu,Yang Zhigang,Peng Taijiang,etc.Design and test of a high-performance piezoelectric micropump for drug delivery[J].Sensors and Actuators A,2005(121）：156-161 [9] S.M.Ha,W.Cho,Y.Ahn.Disposable thermo-pneumatic micropump for bio lab-on-a-chip application[J].Micro-electronic Engineering,2009,86:1337-1339[10] Melvin Khoo，Chang Liu. A novel micromachined magnetic membrane microfluid pump[C]. Proceeding of the 22nd Annual EMBS International Conference，Chicago，IL，2000：2394~2397 [11] William L.Benard，Harold Kahn，Arthur H.Heuer，etc. Thin-film shape-memory alloyactuated micropumps[J]. Journal of Microelectromechanical Systems，1998，(7)2：245~251 [12] E. Quandt. Giant magnetostrictive thin film materials and applications[J]. Journal of Alloyand Compound，1997(258)：126~132[12a] 施卫东，李伟，刘厚林等.国内泵业技术现状与发展趋势[J].农林化研究，2005（5）：24~26[12b] 王沫然，李志信.基于MEMS的微泵研究进展[J].传感器技术，2002，21（6）:59~61 [12c] 任智惠.泵行业技术现状及发展趋势[J].机电产品市场，2004（9）：86~87[12d] 赵继宝.国内外水泵技术的研究现状与发展前景[J].鸡西大学学报，2008,8（2）：110~111 [13] 王传礼,丁凡,许贤良.基于GMM转换器喷嘴挡板伺服阀的研究[M].徐州：中国矿业大学出版社.2006[13a0] 唐志峰.超磁致伸缩执行器的基础理论与实验研究[D].浙江大学，2005[13a1] 王福吉.正负超磁致伸缩复合薄膜静动态特性及控制关键技术[D].大连理工大学：2005 [13a] 王博文.超磁致伸缩材料制备与器件设计[M].北京：冶金工业出版社，2003[13b] 李陪，伍虹.国外稀土超磁致伸缩材料的研究状况.稀土，1990,11（6）：52~59[13c] 李扩社，徐静，张深根.稀土超磁致伸缩材料进展[J].金属功能材料，2003，10（6）：30~33[14] 宜振兴,邬义杰,王慧忠等.超磁致伸缩材料发展动态与工程应用研究现状[J].轻工机械,2011(29)1:116-119[15]URAI T，SUGIY AMA T.Development of a direct-drive servovalve using a giant magnetostrictive material[J].Nippon Kikai Gakkai Ronbunshu，C Hen/Transactions of the JapanSociety of Mechanical Engineers，1993(7):143~169[16]WAKIWAKA H，AOKI K，YOSHIKAWA T.Maximum output of a low frequency sound source using giant gagnetostrictive material[J].Journal of Alloys and Compounds，1997(258):87~92[17] GOODFRIEND M，JOHN S，JONES C.Application of a magnetostrictive alloy，terfenol-D to direct control of hydraulic valves[C].Warrendale，PA，United States:SAE International Off-Highway & Powerplant Congress & Exhibition，1990[18] 王传礼，丁凡，许贤良.基于GMM转换器喷嘴挡板伺服阀的研究[M].徐州：中国矿业大学出版社，2006[19] 闫荣格，刘福贵，曹淑瑛等.稀土巨磁致伸缩材料及其在低压点其中的应用[J].低压电器，2003（3）：41~43[20] 贾宇辉，谭久彬.超磁致伸缩微驱动器在纳米测量中应用的研究[J].压电与声光，2000，2:127~130[21] 贾振元，杨兴，郭东明等.超磁致伸缩微位移执行器控制方法的研究[J].仪器仪表学报，2002,23（2）：288~290[22] 李翠红，叶子申，孟永钢等.超磁致伸缩-压电直线式蠕动机构的设计[J].清华大学学报，2005,45（8）：1055~1057[23] 杨大智.智能材料与智能系统[M].天津：天津大学出版社，2000[24] Yoshio Yamamoto，Hiroahi Eda，Jun Shimizu.Application of Giant Magnetostrictive Materials to Positioning Actuators.Proceedings of the 1999 IEEE/ASME，International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics:215~220[25] 夏春林，丁凡，陶国良.超磁致伸缩电-机械转换器热变形补偿试验研究[J].中国机械工程，1999，10（5）：563~565[26] 王传礼.基于GMM转换器喷嘴挡板伺服阀的研究[D].浙江大学，2005[27] 贾振元，杨兴，郭东明等.超磁致伸缩材料微位移执行器的设计理论及方法[J].机械工程学报，2001，37（11）：46~49[28] 窦学宏.一定要把稀土的事情办好——纪念邓小平同志重要稀土指示发表20周年[J].稀土信息，2012，6：32~33[29] H.T.Savage，A.E.Clark，J.M.Powers.Magneto-mechanical Coupling And ΔE E ffect in Highly Magnetostrictive Rare Earth-Fe2 Compounds. IEEE Transactions on Magnetics.1975(5)[30] 于亚婷,杜平安,廖雅琴.线圈形状及几何参数对电涡流传感器性能的影响[J].仪器仪表学报,2007（28）6:1045-1050[30a] 李世峻.柔性铰链静动力学、疲劳强度及可靠性分析研究[D].西安电子科技大学，2006 [31] Paros J.M，Weisboro L.How to design flexure hinges[J].Machine Design，1965，37（27）：151~157[32] HOWELL L pliant mechanisms[M].New York：Wiley Interscience，2001[33] 吴鹰飞，周兆英.柔性铰链的设计计算[J].工程力学，2002，19（6）：136~140[34] 于靖军，裴旭，毕树生.柔性铰链机构设计方法的研究进展[J].机械工程学报，2010，46（13）：2~13[35] 王姝歆，陈国平，周建华等.复合型柔性铰链机构特性及其应用研究[J].光学精密工程，2005，13增刊：91~97[36] Nicolae pliant mechanisms:design of the flexure hinges.ISBN 0-8493-1367-8，2003 by CRC Press LLC:447[37] 高耀东，刘学杰.ANSYS机械工程应用精华50例.北京：电子工业出版社.2011[38] 陈艳霞，陈磊.ANSYS Workbench工程应用案例精通.北京：电子工业出版社.2012[39] 邬义杰，徐杰.超磁致伸缩执行器热误差补偿及抑制方法研究[J].工业设计学报，2005,12（4）：213~218[40] 洪兴，张洪平，赵栋梁.超磁致伸缩材料的温度性能研究进展[J].金属功能材料，2007,14（4）:32~35[41] 李小鹏，荣凯，杜旭等.超磁致伸缩其的热补偿研究[J].天津工程师范学院学报，2010，（20）2：13~15[42] CLARK A E，CROWDER D H. High temperature magnetostriction of TbFe2and Tb27Dy73Fe2[J].IEEE Transactions on Magnetics，1985，MAG-21，(5):1945~1947[43] 郑雪晓.复合相变材料在电子设备短时瞬态温控中的应用[J].电子机械工程，2013,29（4）：9~12[44] 刘楚辉.相变温控及其在超磁致伸缩致动器中的应用[J].组合机床与自动化加工技术，2006,10:50~52[45] 张朝晖.ANSYS12.0热分析工程应用实战手册[M].北京：中国铁道出版社，2010[46] Marcelo J.Dapino，Ralph C.Smith，Alison B.Flatau. Structural magnetic strain model for magnetostrictive transducers[J].IEEE TRANSACTION ON MAGNETICS，2000,36(3):545~556[47] 杨申.超磁致伸缩微位移系统的研究[D].沈阳理工大学，2011[48] 付永领，齐海涛.LMS b AMESim系统建模与仿真实例教程[M].北京：北京航空航天大学出版社，2011[a] 李立毅，曲丽伟，寇宝泉.超磁致伸缩材料及其在电动机中的应用[J].微电机，2007,40（11）:46~50参考文献[1][1] 侯桂庆，高殿荣，杨林杰.螺旋泵简介和锥形螺旋叶片泵的研究[J].液压与气动，2004,11:10~11[2][2] Karassik，Igor J．，Joseph P．Messina，Paul Cooper，et a1．Pump Handbook(3rd Edition)[M]，McGraw-Hill，New York 2001[3][3] 许贤良，王传礼.液压传动[M].北京：国防工业出版社，2008[4][4] 王立鼎,刘冲.微机电系统科学与技术发展趋势[J].大连理工大学学报,2000,40:508-511[5][5] 王沫然，李志信.基于MEMS的微泵研究进展[J].传感器技术，2002,21（6）：59~61[6][6] Michalicck M A.Introduction to microelectromechanical systems[R].New Mexico:Air Force Research Laboratory,2000[7][7] SMITS J G.Piezoelectric Micropump with three valves working peristaltically[J].Sensors and Actuators,1989,20:203-206[8][8] 苏宇锋，陈文元. 基于MEMS的微泵研究进展[J].微纳电子技术，2004,5:33~40[9][9] Yole Development,Status of the MEMS Industry[EB/OL].[2012-07].http://www.i-/upload/Rapports/Yole-Status-of-the-MEMS-Industry.July-2012-web.pdf[10][10] 许忠斌,杨世鹏,刘国林等.微泵的研究现状与进展[J].液压与气动,2013,6:7-12[11][11] 王秀红.微泵研究进展[J].排灌机械，2003,21（1）：5~8[12][12] Kan Jun Wu,Yang Zhigang,Peng Taijiang,etc.Design and test of a high-performance piezoelectric micropump for drug delivery[J].Sensors and Actuators A,2005(121）：156-161[13][13] S.M.Ha,W.Cho,Y.Ahn.Disposable thermo-pneumatic micropump for bio lab-on-a-chip application[J].Micro-electronic Engineering,2009,86:1337-1339[14][14] Melvin Khoo，Chang Liu. A novel micromachined magnetic membrane microfluid pump[C]. Proceeding of the 22nd Annual EMBS International Conference，Chicago，IL，2000：2394~2397[15][15] E. Quandt. Giant magnetostrictive thin film materials and applications[J]. Journal of Alloy and Compound，1997(258)：126~132[16][16] 施卫东，李伟，刘厚林等.国内泵业技术现状与发展趋势[J].农林化研究，2005（5）：24~26[17][17] 王沫然，李志信.基于MEMS的微泵研究进展[J].传感器技术，2002，21（6）:59~61[18][18] 任智惠.泵行业技术现状及发展趋势[J].机电产品市场，2004（9）：86~87[19][19] 赵继宝.国内外水泵技术的研究现状与发展前景[J].鸡西大学学报，2008,8（2）：110~111[20][20] 王传礼,丁凡,许贤良.基于GMM转换器喷嘴挡板伺服阀的研究[M].徐州：中国矿业大学出版社.2006[21][21] 唐志峰.超磁致伸缩执行器的基础理论与实验研究[D].浙江大学，2005[22][22] 王福吉.正负超磁致伸缩复合薄膜静动态特性及控制关键技术[D].大连理工大学：2005[23][23] 王博文.超磁致伸缩材料制备与器件设计[M].北京：冶金工业出版社，2003[24][24] 李陪，伍虹.国外稀土超磁致伸缩材料的研究状况.稀土，1990,11（6）：52~59[25][25] 李扩社，徐静，张深根.稀土超磁致伸缩材料进展[J].金属功能材料，2003，10（6）：30~33[26][26] 宜振兴,邬义杰,王慧忠等.超磁致伸缩材料发展动态与工程应用研究现状[J].轻工机械,2011(29)1:116-119[27][27] URAI T，SUGIYAMA T.Development of a direct-drive servovalve using a giant magnetostrictive material[J].Nippon Kikai Gakkai Ronbunshu，C Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers，1993(7):143~169[28][28] WAKIWAKA H，AOKI K，YOSHIKAWA T.Maximum output of a low frequency sound source using giant gagnetostrictive material[J].Journal of Alloys and Compounds，1997(258):87~92[29][29] GOODFRIEND M，JOHN S，JONES C.Application of a magnetostrictive alloy，terfenol-D to direct control of hydraulic valves[C].Warrendale，PA，United States:SAE International Off-Highway & Powerplant Congress & Exhibition，1990[30][30] 王传礼，丁凡，许贤良.基于GMM转换器喷嘴挡板伺服阀的研究[M].徐州：中国矿业大学出版社，2006[31][31] 闫荣格，刘福贵，曹淑瑛等.稀土巨磁致伸缩材料及其在低压点其中的应用[J].低压电器，2003（3）：41~43[32][32] 贾宇辉，谭久彬.超磁致伸缩微驱动器在纳米测量中应用的研究[J].压电与声光，2000，2:127~130[33][33] 贾振元，杨兴，郭东明等.超磁致伸缩微位移执行器控制方法的研究[J].仪器仪表学报，2002,23（2）：288~290[34][34] 李翠红，叶子申，孟永钢等.超磁致伸缩-压电直线式蠕动机构的设计[J].清华大学学报，2005,45（8）：1055~1057[35][35] 杨大智.智能材料与智能系统[M].天津：天津大学出版社，2000[36][36] Yoshio Yamamoto，Hiroahi Eda，Jun Shimizu.Application of Giant Magnetostrictive Materials to Positioning Actuators.Proceedings of the 1999 IEEE/ASME，International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics:215~220[37][37] 夏春林，丁凡，陶国良.超磁致伸缩电-机械转换器热变形补偿试验研究[J].中国机械工程，1999，10（5）：563~565[38][38] 王传礼.基于GMM转换器喷嘴挡板伺服阀的研究[D].浙江大学，2005[39][39] 贾振元，杨兴，郭东明等.超磁致伸缩材料微位移执行器的设计理论及方法[J].机械工程学报，2001，37（11）：46~49[40][40] 窦学宏.一定要把稀土的事情办好——纪念邓小平同志重要稀土指示发表20周年[J].稀土信息，2012，6：32~33[41][41] H.T.Savage，A.E.Clark，J.M.Powers.Magneto-mechanical Coupling And ΔE E ffect in Highly Magnetostrictive Rare Earth-Fe2 Compounds. IEEE Transactions on Magnetics.1975(5)[42][42] 于亚婷,杜平安,廖雅琴.线圈形状及几何参数对电涡流传感器性能的影响[J].仪器仪表学报,2007（28）6:1045-1050[43][43] 李世峻.柔性铰链静动力学、疲劳强度及可靠性分析研究[D].西安电子科技大学，2006[44][44] Paros J.M，Weisboro L.How to design flexure hinges[J].Machine Design，1965，37（27）：151~157[45][45] HOWELL L pliant mechanisms[M].New York：Wiley Interscience，2001[46][46] 吴鹰飞，周兆英.柔性铰链的设计计算[J].工程力学，2002，19（6）：136~140[47][47] 于靖军，裴旭，毕树生.柔性铰链机构设计方法的研究进展[J].机械工程学报，2010，46（13）：2~13[48][48] 王姝歆，陈国平，周建华等.复合型柔性铰链机构特性及其应用研究[J].光学精密工程，2005，13增刊：91~97[49][49] Nicolae pliant mechanisms:design of the flexure hinges.ISBN 0-8493-1367-8，2003 by CRC Press LLC:447[50][50] 高耀东，刘学杰.ANSYS机械工程应用精华50例.北京：电子工业出版社.2011[51][51] 陈艳霞，陈磊.ANSYS Workbench工程应用案例精通.北京：电子工业出版社.2012[52][52] 邬义杰，徐杰.超磁致伸缩执行器热误差补偿及抑制方法研究[J].工业设计学报，2005,12（4）：213~218[53][53] 洪兴，张洪平，赵栋梁.超磁致伸缩材料的温度性能研究进展[J].金属功能材料，2007,14（4）:32~35[54][54] 李小鹏，荣凯，杜旭等.超磁致伸缩其的热补偿研究[J].天津工程师范学院学报，2010，（20）2：13~15[55][55] CLARK A E，CROWDER D H. High temperature magnetostriction of TbFe2 and Tb27Dy73Fe2[J].IEEE Transactions on Magnetics，1985，MAG-21，(5):1945~1947[56][56] 郑雪晓.复合相变材料在电子设备短时瞬态温控中的应用[J].电子机械工程，2013,29（4）：9~12[57][57] 刘楚辉.相变温控及其在超磁致伸缩致动器中的应用[J].组合机床与自动化加工技术，2006,10:50~52[58][58] 张朝晖.ANSYS12.0热分析工程应用实战手册[M].北京：中国铁道出版社，2010[59][59] Marcelo J.Dapino，Ralph C.Smith，Alison B.Flatau. Structural magnetic strain model for magnetostrictive transducers[J].IEEE TRANSACTION ON MAGNETICS，2000,36(3):545~556[60][60] 杨申.超磁致伸缩微位移系统的研究[D].沈阳理工大学，2011[61][61] 付永领，齐海涛.LMS b AMESim系统建模与仿真实例教程[M].北京：北京航空航天大学出版社，2011。