衬底化学腐蚀的设备与方法[发明专利]

专利名称：衬底化学腐蚀的设备与方法
专利类型：发明专利
发明人：爱德华·杰伊·福兰克斯基,杰弗里·多纳尔德·琼斯,罗伯特·亨利·卡蒂尔,莱恩·布拉克斯顿·拉克里夫
申请号：CN95102155.9
申请日：19950224
公开号：CN1112168A
公开日：
19951122
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：描述了一种用来对铜箔包覆衬底的铜箔进行化 学腐蚀的设备和相应的方法。

重要的是，此设备包括 用来产生化学腐蚀剂束的液束喷射器。

这些液束喷 射器被安排成可同时获得相当高的腐蚀速率和相当 高的腐蚀均匀性。

申请人：国际商业机器公司
地址：美国纽约
国籍：US
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：范本国
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