一种XXY定位平台的增量定位方法[发明专利]

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201711395121.0

(22)申请日 2017.12.21

(71)申请人 中国电子科技集团公司第四十八研

究所

地址 410111 湖南省长沙市天心区新开铺

路1025号

(72)发明人 樊坤　尹昊　郭立　陈勇平　

陈国钦　

(74)专利代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通

合伙) 43008

代理人 周长清　廖元宝

(51)Int.Cl.

H01L 21/68(2006.01)

(54)发明名称

一种XXY定位平台的增量定位方法

(57)摘要

本发明公开了一种XXY定位平台的增量定位

方法，首先寻找上一次工件的原点，作为此次工

件定位的基准点，得到XXY定位平台中X 1轴方向、

X 2轴方向和Y轴方向的位移增量，从而对工件进

行定位。本发明的XXY定位平台的增量定位方法

具有定位精准快速等优点。权利要求书1页 说明书4页 附图3页CN 108054126 A 2018.05.18

C N 108054126

A

1.一种XXY定位平台的增量定位方法，其特征在于，首先寻找上一次工件的原点，作为此次工件定位的基准点，得到XXY定位平台中X 1轴方向、X 2轴方向和Y轴方向的位移增量，从而对工件进行定位。

2.根据权利要求1所述的XXY定位平台的增量定位方法，其特征在于，其中X 1、X 2轴的位移增量如下：

δX1＝Rsin(δθ+θX1+θ0)-Rsin(θX1+θ0)

δX2＝Rsin(δθ+θX2+θ0)-Rsin(θX2+θ0)

其中：R：通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径；

δX1：

X 1轴滚珠丝杆的相对进给量，单位mm；δX2：

X 2轴滚珠丝杆的相对进给量，单位mm；θX1：

X 1轴上的交叉滚子轴承中心连线与X 1轴的夹角；θX2：

X 2轴上的交叉滚子轴承中心连线与X 2轴的夹角；θ0：

XXY平台旋转角度初始值；δθ：为XXY平台旋转角度。

3.根据权利要求2所述的XXY定位平台的增量定位方法，其特征在于，Y轴的位移增量如下：

δY ＝Rcos(δθ+θY +θ0)-Rcos(θY +θ0)

其中：R：通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径；

δY ：

Y轴滚珠丝杆的相对进给量，单位mm；θY ：

Y轴上的交叉滚子轴承中心连线与Y轴的夹角。4.根据权利要求2所述的XXY定位平台的增量定位方法，其特征在于，X 1轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX1和X 2轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX2，

对应转换成电机脉冲数如下：

n X1＝δX1·n 0/d

n X2＝δX2·n 0/d

其中：d：丝杆导程，单位mm；

n 0：电机旋转一周所需的脉冲数；

n X1：丝杠相对进给量δX1所需的脉冲数；

n X2：丝杠相对进给量δX2所需的脉冲数。

5.根据权利要求3所述的XXY定位平台的增量定位方法，其特征在于，Y轴电机带动滚珠丝杆转动的相对进给量δY ，

对应的电机脉冲数为：n Y ＝δY ·n 0/d

其中d：丝杆导程，单位mm；

n 0：电机旋转一周所需的脉冲数；

n Y ：丝杠相对进给量δY 所需的脉冲数。

权　利　要　求　书1/1页CN 108054126 A

一种XXY定位平台的增量定位方法

技术领域

[0001]本发明主要涉及工件定位技术领域，特指一种XXY定位平台的增量定位方法。

背景技术

[0002]由于市场经济的快速发展，各行各业对产品的质量和产能要求越来越高，尤其是一些定位精度要求高的设备应用领域，例如贴片、光伏、医疗、精密仪表仪器等，定位平台传统的控制算法自适应学习能力较差、调试定位难度大、回原点响应时间长、定位精度低等原因，影响了整个行业的快速发展。

发明内容

[0003]本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种定位快速精准的XXY定位平台的增量定位方法。

[0004]为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：

[0005]一种XXY定位平台的增量定位方法，其特征在于，首先寻找上一次工件的原点，作为此次工件定位的基准点，得到XXY定位平台中X1轴方向、X2轴方向和Y轴方向的位移增量，从而对工件进行定位。

[0006]优选地，其中X1、X2轴的位移增量如下：

[0007]δX1＝Rsin(δθ+θX1+θ0)-Rsin(θX1+θ0)

[0008]δX2＝Rsin(δθ+θX2+θ0)-Rsin(θX2+θ0)

[0009]其中：R：通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径；

[0010]δX1：X1轴滚珠丝杆的相对进给量，单位mm；

[0011]δX2：X2轴滚珠丝杆的相对进给量，单位mm；

[0012]θX1：X1轴上的交叉滚子轴承中心连线与X1轴的夹角；

[0013]θX2：X2轴上的交叉滚子轴承中心连线与X2轴的夹角；

[0014]θ0：XXY平台旋转角度初始值；

[0015]δθ：为XXY平台旋转角度。

[0016]优选地，Y轴的位移增量如下：

[0017]δY＝Rcos(δθ+θY+θ0)-Rcos(θY+θ0)

[0018]其中：R：通过连接各轴上的交叉滚子轴承中心的圆半径；

[0019]δY：Y轴滚珠丝杆的相对进给量，单位mm；

[0020]θY：Y轴上的交叉滚子轴承中心连线与Y轴的夹角。

[0021]优选地，X1轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX1和X2轴电机带动滚珠丝杆的相对进给量δX2，对应转换成电机脉冲数如下：

[0022]n X1＝δX1·n0/d

[0023]n X2＝δX2·n0/d

[0024]其中：d：丝杆导程，单位mm；