MKS真空计选型指南
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910 系列真空计主要参数：
测量范围：1.0*10-5Torr 至 1500Torr 设定范围：5.0*10-4 Torr 至 1500Torr 精度：5x10-4 至 1x10-3Torr ±10%读数 1x10-3 至 10Torr ±5% 读数 10 至 1000Torr ±0.75%读数 重复性：5x10-4 至 10-3Torr ±8% 读数 10-3Torr 至 10Torr ±2%读数 10 至 1000Torr ±0.2%读数 电源要求：9 to 30 VDC,<1.2W
订购序号
925-
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三. 皮拉尼压电复合真空计：
⒈ 901P 系列真空计（传输腔 LLT 专用的 MlcroPirani/Piezபைடு நூலகம் 差
压式真空传感器）
有 CE 标记的 901P 系列传输腔(LLT)专用的差压式真空传感器是压电传感器 和 Pirani 传感器的组合，它具有集成的电子控制线路、数字通讯系统、模 拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点。半导体设备通常都将真空锁 作为持续抽空主反应腔室的界面。这些真空锁常被很快的被抽到真空状态，
HPS 902 系列压电型压力传感器是一个测量压力的压电传感器和一个集成电 子控制电路的组合。902 压电测量计是一个直读式绝对传感器，其压力测量 与气体的种类无关。该传感器包括一个独特的温度补偿模块，在很大的测量 范围下有具有高精度。
902 系列真空计特点：
低成本传感器的替代方案
本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
901P 系列真空计主要参数：
测量范围：绝对 1.0*10-5Torr 至 1500Torr 差分 -760 至+760Torr 设定范围：5.0*10-4 Torr 至 1000Torr 差分 -760 至+100Torr 精度：①微皮拉尼 5x10-4 至 1X10-3Torr ±10%读数 1x10-3 至 100Torr ±5% 读数 100Torr 至大气压 ±25%读数 ②压差传感器 -10 至+10Torr ±10%读 数 -100 至-10Torr ±8%读数 -760 至-100Torr ±1%读数 +10to100Torr ± 5%读数 重复性：①微皮拉尼 1x10-3 至 100 Torr ±2%读数 ②压差传感器-760 至 +10Torr ±1%读数 零点稳定性：±0.1%满量程(F.S.=760Torr) 电源要求：9 to 30 VDC,<1.2W
五. 皮拉尼热阴极复合真空计：
本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
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⒈ 979B 系列真空计（常压至真空传感器）
HPS 979B 系列常压至真空传感器（ATV）是专为超高真空工艺而设计的， 它是测量 PVD 工艺和离子注入工艺中压力周期性大范围变化的理想选择。 双传感器和数字接口设计有助于实现高真空薄膜淀积应用中所需的长期 稳定性和准确性。紧凑的外形使 979 系列成为半导体设备和分析仪器的 系统集成商与设备制造商的理想选择。 979B 系列包含有一个宽量程的 MlcroPirani 微皮拉尼（10-4Torr 至常压） 和低功率微型离子测量计（10-10 至 10-2Torr），其整个压力测量范围为 13 个数量级。与传感器独立的继电器具有 3 个预设点，简化了真空系统 控制，例如可进行缓慢抽空、涡旋分子泵的控制和阀门动作控制。
LCD 显示器,用于 902 系列 902 系列手册
二. 皮拉尼真空计：
MKS 925 系列真空计（MlcroPirani 传感器）
925 系列 MlcroPirani（微皮拉尼）传感器是一个独特的、基于 MEMS 的传感 器，它是一种热导测量计。925 MlcroPirani 常用于半导体设备及其它分析 仪器中的真空压力测量。MlcroPirani 传感器设计十分小型紧凑。其绝对压 力测量范围从常压至 10-5Torr，比标准 Pirani 压力计低两个数量级。925 具有数字或模拟通讯接口，925 有三个设置点。
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909AR 系列真空计（数字与模拟热阴极技术的微型离子真空规）
HPS 909AR 系列微热阴极传感器是一种 B-A 真空计，可以利用位于中间的优 化接线器。因为它的尺寸很小，很少的 X 射线会轰击连接头，它是理想的高 真空测量工具，可以进行高真空反应腔室的压力测量，或用来进行高真空系 统控制或启动。909AR 传感器中含有能减少停机时间的氧化钇双涂层铱灯丝， 这种涂层能够抵抗高含氧的局部压力，可以暴露在空气中。真空管可以在较 低的温度下工作，这样的化学反应会比较慢，而且可以尽量减小热干扰。传 感器头还有一个保护罩防止较大微粒影响。
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MKS 真空计的选型指南
美国 MKS 的真空计（真空规）以高精度高重复性的特点在各行业应用广泛，选择 MKS 真空 计，首先您需要确定测量范围。
MKS 真空计的测量范围（如下图所示）：
一. 压电型真空计：
MKS 902 系列真空计（紧凑型压电绝对压力传感器）
902 系列真空计主要参数：
测量范围：0.1 至 1000Torr 精度（10-1000Torr）：±1%读数 重复性：±0.3%读数 电源要求：9 至 30VDC < 1.2W
902 系列真空计订购资料：
902-1112 902-1212 902-1312 902-1113 902-1213 902-1313 902-1105 902-1205 902-1305 902001 902002 100011739
902 系列传感器,ISO-KF NW16,RS485 902 系列传感器,4VCR,RS485 902 系列传感器,8VCR,RS485 902 系列传感器,ISO-KF NW16，RS232 902 系列传感器,4VCR,RS232 902 系列传感器,8VCR,RS232 902 系列传感器,ISO-KF NW16,模拟 0-10V 902 系列传感器,4VCR,模拟 0-10V 902 系列传感器,8VCR,模拟 0-10V 红色 LED 显示器,用于 902 系列
925 系列真空计订购资料（订货号如 925-11030）：
型号
925 MlcroPirani 接口类型 KF16 KF25 1/8NPT VCR4 VCR8 CF1.33 KF16 扩展 通讯接口 RS232/模拟 RS485/模拟 模拟输出 MKS 标准 MKS 定制有限量测范围 连接头和继电器 15 针 D-sub 母头/1 个接触点/925C 兼容 15 针 D-sub 母头/无接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟输 出 密封 标准/Viton 密封 标准/UHV 密封 标准/Viton 密封/带显示
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而传统 Pirani 测量计的响应时间较慢，会对它造成损坏。当真空锁处于大 气压时，要使用一个独立的开关来指示表示什么时候开启阀门。HPS 的 901P 系列真空锁传感器(LLT)结合了一个真空测量计（MlcroPirani）和一个常压 开关（压电），形成一个集成的，紧凑的组件。压电测量计是一个差分压力 传感器，它能在各种不同的气候和海拔外部压力环境下正常工作，这样就能 保护真空锁的阀门会在最佳时间打开。它的快速响应时间和广的测量范围为 设备设计人员提供了极大的灵活性。
925 系列真空计主要参数：
测量范围：1.0*10-5Torr 至大气压 设定范围：5.0*10-4 Torr 至 500Torr
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精度：5*10-4 至 10-3Torr ±10%读数,10-3 至 100Torr ±5%读数,100Torr 至大 气压 ±25%读数 重复性：10-3 至 100 Torr ± 2% 电源要求：9 to 30 VDC,<1.5W
9O1P 系列真空计订购资料（订货号如 901P-11030）：
型号
901P LoadLock 接口类型 KF16 KF25 1/8NPT VCR4 VCR8 CF1.33 KF16 扩展 通讯接口 RS232/模拟 RS485/模拟 模拟输出 MKS 标准 连接头和继电器 15 针 D-sub 母头/无接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟差 压输出 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟绝 对压力输出
909AR 系列传感器,1.33〃CF,RS232 909AR 系列传感器,1.33〃CF,RS485 909AR 系列传感器,2.75〃CF,RS232 909AR 系列传感器,2.75〃CF,RS485 909AR 系列传感器,KF16,RS232 909AR 系列传感器,KF16,RS485 909AR 系列传感器,KF25,RS232 909AR 系列传感器,KF25,RS485 909AR 系列传感器,KF40,RS232 909AR 系列传感器,KF40,RS485
订购序号
901P-
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密封
标准/Viton 密封
0
标准/Viton 密封/带显示
4
⒉ 910 系列真空计（DualTrans MlcroPirani 绝对压电传感
器）
紧凑型组合的 910 系列传感器包含有一个直读式绝对压电传感器和一个独特 的 MlcroPirani（微皮拉尼）传感器。传感器测量范围是从 10-5 到 1500Torr。 压电传感器具有温度补偿功能，在大的测量范围中具有高度的测量精度。有 别于传统的皮拉尼压力计，作为 910 系统组合部分的 MlcroPirani 微皮拉尼 单元制作在一个一平方毫米硅芯片上，能在很小的体积内进行压力的测量。 传统 Pirani 压力计的测量范围 10-3 到 100Torr，而在 10Torr 以上其测量灵 敏度就会大幅度降低。由于 MlcroPirani 传感器部分的尺寸很小，它能测量 从常压到 10-5Torr 的压力。由于 MlcroPirani 对气体种类的敏感，910 系列 可以在真空系统中用来寻找中等或轻微程度的漏气。通过主电脑进行数字通 讯可实现所有的对真空的调整与监测。
909AR 系列真空计主要参数：
测量范围：3X10-10 至 5X10-2 Torr 设定范围：5X10-10 至 9.5 X10-3 Torr 精度：±20%读数 重复性：约 5% 电源要求：24 VDC 15W
909AR 系列真空计订购资料：
909AR-11 909AR-12 909AR-21 909AR-22 909AR-31 909AR-32 909AR-41 909AR-42 909AR-51 909AR-52
型号订购序号925mlcropirani925接口类型kf16kf16扩展通讯接口rs232模拟模拟输出mks标准mks定制有限量测范围连接头和继电器15针dsub15针dsub母头无接触点15针dsub15针dsub密封标准viton密封标准uhv密封标准viton密封带显示901p系列真空计传输腔llt专用的mlcropiranipiezo压式真空传感器有ce标记的901p系列传输腔llt专用的差压式真空传感器是压电传感器和pirani传感器的组合它具有集成的电子控制线路数字通讯系统模拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点
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紧凑型系统设计，将电路与传感器集成与一体 由于传感器具有快速的、准确的和可重复性的压力测量，从而缩短了工
艺周期时间。 拥有清洁的、牢固的设计和不锈钢结构，因此传感器适合于环境严苛的
工艺 易于操作，具备模拟输出和数字通信功能 由设定点继电器获得的工艺控制具有快速的响应时间。 液晶读数显示器可用于 902 系列。显示器操作是通过 0 至 10 的线性模拟输出来 进行的。读数显示器的宽度和深度与传感器一致，仅仅 1.4 英寸（35mm）的高度。 读数显示器通过 D-sub 连接器与传感器相连。
910 系列真空计订购资料（订货号如 910-11034）：
型号
910 双传感器复合真空压力传感器 接口类型 KF16 KF25 1/8NPT VCR4 VCR8 CF1.33 KF16 扩展 通讯接口 RS232/模拟 RS485/模拟 模拟输出 MKS 标准
订购序号
910-
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连接头和继电器 15 针 D-sub 母头/无接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟绝 对压力输出 密封 标准/Viton 密封 IP54/Viton 密封 标准/Viton 密封/带显示
四. 热阴极离子真空计：
测量范围：1.0*10-5Torr 至 1500Torr 设定范围：5.0*10-4 Torr 至 1500Torr 精度：5x10-4 至 1x10-3Torr ±10%读数 1x10-3 至 10Torr ±5% 读数 10 至 1000Torr ±0.75%读数 重复性：5x10-4 至 10-3Torr ±8% 读数 10-3Torr 至 10Torr ±2%读数 10 至 1000Torr ±0.2%读数 电源要求：9 to 30 VDC,<1.2W
订购序号
925-
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三. 皮拉尼压电复合真空计：
⒈ 901P 系列真空计（传输腔 LLT 专用的 MlcroPirani/Piezபைடு நூலகம் 差
压式真空传感器）
有 CE 标记的 901P 系列传输腔(LLT)专用的差压式真空传感器是压电传感器 和 Pirani 传感器的组合，它具有集成的电子控制线路、数字通讯系统、模 拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点。半导体设备通常都将真空锁 作为持续抽空主反应腔室的界面。这些真空锁常被很快的被抽到真空状态，
HPS 902 系列压电型压力传感器是一个测量压力的压电传感器和一个集成电 子控制电路的组合。902 压电测量计是一个直读式绝对传感器，其压力测量 与气体的种类无关。该传感器包括一个独特的温度补偿模块，在很大的测量 范围下有具有高精度。
902 系列真空计特点：
低成本传感器的替代方案
本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
901P 系列真空计主要参数：
测量范围：绝对 1.0*10-5Torr 至 1500Torr 差分 -760 至+760Torr 设定范围：5.0*10-4 Torr 至 1000Torr 差分 -760 至+100Torr 精度：①微皮拉尼 5x10-4 至 1X10-3Torr ±10%读数 1x10-3 至 100Torr ±5% 读数 100Torr 至大气压 ±25%读数 ②压差传感器 -10 至+10Torr ±10%读 数 -100 至-10Torr ±8%读数 -760 至-100Torr ±1%读数 +10to100Torr ± 5%读数 重复性：①微皮拉尼 1x10-3 至 100 Torr ±2%读数 ②压差传感器-760 至 +10Torr ±1%读数 零点稳定性：±0.1%满量程(F.S.=760Torr) 电源要求：9 to 30 VDC,<1.2W
五. 皮拉尼热阴极复合真空计：
本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
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⒈ 979B 系列真空计（常压至真空传感器）
HPS 979B 系列常压至真空传感器（ATV）是专为超高真空工艺而设计的， 它是测量 PVD 工艺和离子注入工艺中压力周期性大范围变化的理想选择。 双传感器和数字接口设计有助于实现高真空薄膜淀积应用中所需的长期 稳定性和准确性。紧凑的外形使 979 系列成为半导体设备和分析仪器的 系统集成商与设备制造商的理想选择。 979B 系列包含有一个宽量程的 MlcroPirani 微皮拉尼（10-4Torr 至常压） 和低功率微型离子测量计（10-10 至 10-2Torr），其整个压力测量范围为 13 个数量级。与传感器独立的继电器具有 3 个预设点，简化了真空系统 控制，例如可进行缓慢抽空、涡旋分子泵的控制和阀门动作控制。
LCD 显示器,用于 902 系列 902 系列手册
二. 皮拉尼真空计：
MKS 925 系列真空计（MlcroPirani 传感器）
925 系列 MlcroPirani（微皮拉尼）传感器是一个独特的、基于 MEMS 的传感 器，它是一种热导测量计。925 MlcroPirani 常用于半导体设备及其它分析 仪器中的真空压力测量。MlcroPirani 传感器设计十分小型紧凑。其绝对压 力测量范围从常压至 10-5Torr，比标准 Pirani 压力计低两个数量级。925 具有数字或模拟通讯接口，925 有三个设置点。
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909AR 系列真空计（数字与模拟热阴极技术的微型离子真空规）
HPS 909AR 系列微热阴极传感器是一种 B-A 真空计，可以利用位于中间的优 化接线器。因为它的尺寸很小，很少的 X 射线会轰击连接头，它是理想的高 真空测量工具，可以进行高真空反应腔室的压力测量，或用来进行高真空系 统控制或启动。909AR 传感器中含有能减少停机时间的氧化钇双涂层铱灯丝， 这种涂层能够抵抗高含氧的局部压力，可以暴露在空气中。真空管可以在较 低的温度下工作，这样的化学反应会比较慢，而且可以尽量减小热干扰。传 感器头还有一个保护罩防止较大微粒影响。
本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
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MKS 真空计的选型指南
美国 MKS 的真空计（真空规）以高精度高重复性的特点在各行业应用广泛，选择 MKS 真空 计，首先您需要确定测量范围。
MKS 真空计的测量范围（如下图所示）：
一. 压电型真空计：
MKS 902 系列真空计（紧凑型压电绝对压力传感器）
902 系列真空计主要参数：
测量范围：0.1 至 1000Torr 精度（10-1000Torr）：±1%读数 重复性：±0.3%读数 电源要求：9 至 30VDC < 1.2W
902 系列真空计订购资料：
902-1112 902-1212 902-1312 902-1113 902-1213 902-1313 902-1105 902-1205 902-1305 902001 902002 100011739
902 系列传感器,ISO-KF NW16,RS485 902 系列传感器,4VCR,RS485 902 系列传感器,8VCR,RS485 902 系列传感器,ISO-KF NW16，RS232 902 系列传感器,4VCR,RS232 902 系列传感器,8VCR,RS232 902 系列传感器,ISO-KF NW16,模拟 0-10V 902 系列传感器,4VCR,模拟 0-10V 902 系列传感器,8VCR,模拟 0-10V 红色 LED 显示器,用于 902 系列
925 系列真空计订购资料（订货号如 925-11030）：
型号
925 MlcroPirani 接口类型 KF16 KF25 1/8NPT VCR4 VCR8 CF1.33 KF16 扩展 通讯接口 RS232/模拟 RS485/模拟 模拟输出 MKS 标准 MKS 定制有限量测范围 连接头和继电器 15 针 D-sub 母头/1 个接触点/925C 兼容 15 针 D-sub 母头/无接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟输 出 密封 标准/Viton 密封 标准/UHV 密封 标准/Viton 密封/带显示
本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
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而传统 Pirani 测量计的响应时间较慢，会对它造成损坏。当真空锁处于大 气压时，要使用一个独立的开关来指示表示什么时候开启阀门。HPS 的 901P 系列真空锁传感器(LLT)结合了一个真空测量计（MlcroPirani）和一个常压 开关（压电），形成一个集成的，紧凑的组件。压电测量计是一个差分压力 传感器，它能在各种不同的气候和海拔外部压力环境下正常工作，这样就能 保护真空锁的阀门会在最佳时间打开。它的快速响应时间和广的测量范围为 设备设计人员提供了极大的灵活性。
925 系列真空计主要参数：
测量范围：1.0*10-5Torr 至大气压 设定范围：5.0*10-4 Torr 至 500Torr
本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
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精度：5*10-4 至 10-3Torr ±10%读数,10-3 至 100Torr ±5%读数,100Torr 至大 气压 ±25%读数 重复性：10-3 至 100 Torr ± 2% 电源要求：9 to 30 VDC,<1.5W
9O1P 系列真空计订购资料（订货号如 901P-11030）：
型号
901P LoadLock 接口类型 KF16 KF25 1/8NPT VCR4 VCR8 CF1.33 KF16 扩展 通讯接口 RS232/模拟 RS485/模拟 模拟输出 MKS 标准 连接头和继电器 15 针 D-sub 母头/无接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟差 压输出 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟绝 对压力输出
909AR 系列传感器,1.33〃CF,RS232 909AR 系列传感器,1.33〃CF,RS485 909AR 系列传感器,2.75〃CF,RS232 909AR 系列传感器,2.75〃CF,RS485 909AR 系列传感器,KF16,RS232 909AR 系列传感器,KF16,RS485 909AR 系列传感器,KF25,RS232 909AR 系列传感器,KF25,RS485 909AR 系列传感器,KF40,RS232 909AR 系列传感器,KF40,RS485
订购序号
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密封
标准/Viton 密封
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标准/Viton 密封/带显示
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⒉ 910 系列真空计（DualTrans MlcroPirani 绝对压电传感
器）
紧凑型组合的 910 系列传感器包含有一个直读式绝对压电传感器和一个独特 的 MlcroPirani（微皮拉尼）传感器。传感器测量范围是从 10-5 到 1500Torr。 压电传感器具有温度补偿功能，在大的测量范围中具有高度的测量精度。有 别于传统的皮拉尼压力计，作为 910 系统组合部分的 MlcroPirani 微皮拉尼 单元制作在一个一平方毫米硅芯片上，能在很小的体积内进行压力的测量。 传统 Pirani 压力计的测量范围 10-3 到 100Torr，而在 10Torr 以上其测量灵 敏度就会大幅度降低。由于 MlcroPirani 传感器部分的尺寸很小，它能测量 从常压到 10-5Torr 的压力。由于 MlcroPirani 对气体种类的敏感，910 系列 可以在真空系统中用来寻找中等或轻微程度的漏气。通过主电脑进行数字通 讯可实现所有的对真空的调整与监测。
909AR 系列真空计主要参数：
测量范围：3X10-10 至 5X10-2 Torr 设定范围：5X10-10 至 9.5 X10-3 Torr 精度：±20%读数 重复性：约 5% 电源要求：24 VDC 15W
909AR 系列真空计订购资料：
909AR-11 909AR-12 909AR-21 909AR-22 909AR-31 909AR-32 909AR-41 909AR-42 909AR-51 909AR-52
型号订购序号925mlcropirani925接口类型kf16kf16扩展通讯接口rs232模拟模拟输出mks标准mks定制有限量测范围连接头和继电器15针dsub15针dsub母头无接触点15针dsub15针dsub密封标准viton密封标准uhv密封标准viton密封带显示901p系列真空计传输腔llt专用的mlcropiranipiezo压式真空传感器有ce标记的901p系列传输腔llt专用的差压式真空传感器是压电传感器和pirani传感器的组合它具有集成的电子控制线路数字通讯系统模拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点
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紧凑型系统设计，将电路与传感器集成与一体 由于传感器具有快速的、准确的和可重复性的压力测量，从而缩短了工
艺周期时间。 拥有清洁的、牢固的设计和不锈钢结构，因此传感器适合于环境严苛的
工艺 易于操作，具备模拟输出和数字通信功能 由设定点继电器获得的工艺控制具有快速的响应时间。 液晶读数显示器可用于 902 系列。显示器操作是通过 0 至 10 的线性模拟输出来 进行的。读数显示器的宽度和深度与传感器一致，仅仅 1.4 英寸（35mm）的高度。 读数显示器通过 D-sub 连接器与传感器相连。
910 系列真空计订购资料（订货号如 910-11034）：
型号
910 双传感器复合真空压力传感器 接口类型 KF16 KF25 1/8NPT VCR4 VCR8 CF1.33 KF16 扩展 通讯接口 RS232/模拟 RS485/模拟 模拟输出 MKS 标准
订购序号
910-
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本文由 成都四洋科技有限公司 独家提供
连接头和继电器 15 针 D-sub 母头/无接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点 15 针 D-sub 母头/3 个接触点/双模拟绝 对压力输出 密封 标准/Viton 密封 IP54/Viton 密封 标准/Viton 密封/带显示
四. 热阴极离子真空计：