基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究

基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究
涂建鑫;邹杰;孙靖远;张文冰;毕春跃;谢光忠;简家文
【期刊名称】《传感技术学报》
【年(卷),期】2024(37)1
【摘要】随着氢能的广泛应用,检测氢气(H_(2))泄漏十分必要。

采用溶剂热法合成钯(Pd)纳米颗粒,结合旋涂法从极大程度上简化了覆盖敏感层工艺,在利用微机电系统(MEMS)工艺制备的硅基金(Au)叉指电极上研究了基于“氢致Pd晶格膨胀效应(HILE)”的裂结式H_(2)传感器的敏感特性,为低成本批量化制备室温型氢气传感器提供了可行性研究。

结果表明该传感器对H_(2)的响应值与Pd纳米颗粒在基底上的覆盖率密切相关:覆盖率在一定范围内越大,响应值越小。

在室温下,该类传感器对500×10^(-6)~2500×10^(-6)H_(2)表现出了较快的响应速度:响应时间在5 s左右,恢复时间在25 s左右,具有较高的响应值:在2500×10^(-6)H_(2)气氛下高达83%,有较好的选择性和稳定性。

【总页数】6页(P16-21)
【作者】涂建鑫;邹杰;孙靖远;张文冰;毕春跃;谢光忠;简家文
【作者单位】宁波大学信息科学与工程学院;电子科技大学光电科学与工程学院;浙江万里学院大数据与软件工程学院
【正文语种】中文
【中图分类】TP212.6
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