TEM操作顺序
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
装好试样后,开始操作JEM-2100F的步骤:
1、打开beam阀,在LOW MAG下,找到薄区所在的位置;
2、在LOW MAG下将放大倍数调至500倍,然后切换至MAG1;
3、找到一个薄区,将放大倍数调至2000倍,按下STD FOCUS,再进行调Z的步骤:
1)方法一:将试样边沿移至屏幕中心,按下IMAGE WOBB X,试样呈抖动状态,再通过调节
,使屏幕中心试样不在抖动为止;
2)、方法二:找到试样薄区,逆时针旋转BRIGHTNESS,使电子束汇聚为一点,再通过调节
,使各衍射斑点汇聚于同一点;
4、将放大倍数调至100K倍(调节放大倍数时,需要同时旋转BRIGHTNESS和MAG/CAM L),并将无试样区域移至屏幕中心,逆时针旋转BRIGHTNESS至电子束呈合适大小内、外圆形;
5、按下BRIGHT TILT按钮, 并通过调节SHIFT X和SHIFT Y将电子束移至屏幕中心,再通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y将电子束的内圆恰好移至外圆的中心(若电压对中过程中,平移与偏转相互影响,则联动比有问题,需要调最新的合轴文件);
6、再按下COND STIG按钮,通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y将电子束的内圆内的图形调成“奔驰”车标形状;
7、逆时针旋转BRIGHTNESS,使电子束的内圆和外圆重合,再在HIGH VOLTAGE CONTROL 界面中点击“ON”,按下F4,通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y使内外圆同心缩放;
8、检查电压对中和聚光镜消象散;
9、顺时针旋转BRIGHTNESS,使电子束充满整个屏幕,套取一号聚光镜光阑,将电子束调至屏幕中心(机械对中);
10、再次合轴,将放大倍数调节至400K倍,再次检查电压对中和聚光镜消象散;
11、将放大倍数调至100K倍,并将薄区边沿移至屏幕中心,通过调节OBJ FOCUS旋钮,将试样边沿调至为微欠焦(略显白色边沿),再将放大倍数调至400K倍,并将边沿区移至屏幕中心,按下F1,然后打开CCD,并调出傅里叶变换,按下OBJ STIG,通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y和OBJ FOCUS旋钮(使傅里叶变换为一圆环),得到清晰的高分辨像;
12,关闭CCD,再按下F1,将放大倍数调至100K倍,找到感兴趣薄区,并将电子束汇聚于一点,按下SA DIFF 按钮,并将相机常数调至60CM,手动将菊池线的交点移至电子束中心;
至此,已完成电镜合轴、消象散、踩带轴的步骤,接下来便可进行选区电子衍射、明场像、暗场像和高分辨像的操作。
一、选区电子衍射步骤:
1、合轴完成后,在TEM、MAG1模式下,将感兴趣区移至屏幕中心;
2、通过感兴趣大、小来套取合适的选取光阑;
3、按下SA DIFF按钮转为衍射模式,获得相应的电子衍射花样,并通过调节MAG/CAM L获得合适的相机常数(20-30CM)---不同相机常数的意义;
4、通过顺时针旋转BRIGHTNESS和调节DIF FOCUS获得足够暗、圆锐的衍射斑点。
在进行拍摄明、暗场之前,两个必须的步骤:
1)、保证物镜光阑和衍射斑点均在物镜的后焦面上,具体调节:通过调节DIF FOCUS旋钮,使物镜光阑投影为圆形;通过旋转BRIGHTNESS调节衍射斑点的亮度;
2)、明、暗场电子束对中,在MAG1模式下,转换BRIGHT TILT 和DARK TILT 来检查对中性。
二、明场像
1、获得感兴趣区的电子衍射花样后,按下BRIGHT TILT,通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y旋钮,将透射斑点移至屏幕中心;
2、选择合适的物镜光阑(由什么决定?最小尺度为多少?),套取透射斑点;
3、退回选区光阑,按下MAG1,并通过调节MAG/CAM L,获得合适放大倍数的明场像。
三、暗场像
1、获得感兴趣区的电子衍射花样后,按下DARK TILT,通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y旋钮,将将感兴趣的衍射斑点移至屏幕中心;
2、选择合适大小的物镜光阑(由什么决定?最小尺度为多少?),只套取感兴趣的衍射斑点;
3、退回选区光阑,按下MAG1,并通过调节MAG/CAM L,获得合适放大倍数的明场像。
四、高分辨像
1、获得感兴趣区的电子衍射花样后,按下PLA,通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y旋钮,将透射斑点移至屏幕中心;
2、选择合适大小的物镜光阑(由什么决定?最小尺度为多少?),同时套取透射和衍射斑点(最少要套住一个衍射斑点);
3、退回选区光阑,按下MAG1,并通过调节MAG/CAM L,获得合适放大倍数图像(400K倍以上),按下OBJ STIG,通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y和OBJ FOCUS旋钮,获得清晰的高分辨晶格像。
拍摄图片步骤:
选定好需要拍摄的区域,单击“stop view”,更改相关参数,选择待保存图像,单击“123”图标进行保存。
需要注意:低倍图片,先选择好,再打开CCD摄像。