一种降低GaN衬底与外延层界面处Si浓度的方法[发明专利]

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201911117597.7
(22)申请日 2019.11.15
(71)申请人 深圳第三代半导体研究院
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大
学城学苑大道1088号台州楼
(72)发明人 刘新科　贲建伟　
(74)专利代理机构 北京中知法苑知识产权代理
有限公司 11226
代理人 阎冬
(51)Int.Cl.
H01L 21/02(2006.01)
(54)发明名称
一种降低GaN衬底与外延层界面处Si浓度的
方法
(57)摘要
本发明提供一种降低GaN衬底与外延层界面
处Si浓度的方法，包括S1.选取GaN同质衬底，对
GaN衬底进行预处理以露出原子台阶形貌；S2.在
外延系统中外延生长GaN基材料；S3.在不低于
500℃下，持续通入保护气体对所述GaN基材料进
行热处理以增大界面处原子扩散驱动力，利用该
方法可有效降低GaN衬底与外延层界面处Si杂质
浓度，降低基于此方法所制备器件的漏电流，有
利于提升所制备器件性能。

权利要求书1页 说明书3页 附图2页CN 111180311 A 2020.05.19
C N 111180311
A
1.一种降低GaN衬底与外延层界面处Si浓度的方法，其特征在于：包括
S1.选取GaN同质衬底，对GaN衬底进行预处理以露出原子台阶形貌；
S2.在外延系统中外延生长GaN基材料；
S3.在不低于500℃，持续通入保护气体对所述GaN基材料进行热处理以增大界面处原子扩散驱动力，降低Si浓度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述S1中预处理方式为在温度>900℃，NH 3与H 2体积比1:1-10:1，NH 3与H 2的混合气体于0.1L/min -10L/min的流速下吹扫所述同质衬底8min -15min。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述S2中外延系统为MOCVD、MBE或HVPE。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述S2中外延生长条件包括在压力<400mBar 的外延系统内，温度>500℃下，NH 3作为N源，H 2或N 2作为载气，所述载气于0.1L/min -10L/min 的流速为进行吹扫。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述S3中热处理条件为500℃～1300℃下，以H 2或者N 2作为载气，持续通入NH 3作为所述保护气体，所述载气与NH 3的比例为1:1-10:1，所述载气于0.1L/min -10L/min的流速下进行吹扫。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述S3中热处理条件为选择一GaN基片覆盖所述GaN基材料表面，在500℃～1500℃下持续通入惰性气体为所述保护气体，所述保护气体于0.1L/min -10L/min流速下进行吹扫。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述GaN基材料包括GaN，AlGaN，AlN，InGaN或InN。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述GaN基盖片包括GaN，AlGaN，AlN，InGaN或InN。

权　利　要　求　书1/1页CN 111180311 A
一种降低GaN衬底与外延层界面处Si浓度的方法
技术领域
[0001]本发明属于半导体器件工艺领域，具体为一种降低GaN衬底与外延层界面处Si浓度的方法。

背景技术
[0002]作为宽禁带半导体材料，GaN基半导体材料具有直接带隙、宽禁带、高击穿场强等优点及自发极化、压电极化特性，是制备光电子器件以及高压、高频电力电子器件的理想材料。

目前获得GaN基材料主要分为两种，一种是在蓝宝石(Al2O3)、碳化硅(SiC)以及硅(Si)等异质衬底上外延生长GaN材料以及器件结构，然而由于GaN基材料(包括GaN，AlGaN，AlN，InGaN，InN)与异质衬底之间存在较大的晶格失配以及热失配，使外延材料中存在大量位错，影响所制备器件的性能；另一种是在GaN同质衬底上外延生长GaN基材料，利用该方法可获得高结晶质量的GaN基材料，并可以进一步提高所制备器件性能。

在早期研究中，受限于GaN同质衬底难以获得且价格昂贵因素影响，研究人员多是在异质衬底上外延生长GaN基材料。

随着技术的进步，目前使用GaN同质衬底成本已经大大降低，而在异质衬底上外延生长GaN基材料的结晶质量也已经难以继续提升。

因此，在GaN同质衬底上外延生长GaN基材料并制备相关器件是大势所趋。

Si是GaN基材料主要的n型掺杂源之一，在制备GaN同质衬底过程中涉及到研磨抛光等复杂工艺，会使GaN同质衬底表面存在高浓度Si原子，在外延结束后，高浓度的Si原子依然存在于GaN同质衬底与外延层界面处，导致界面处载流子浓度极大提高，降低材料电阻率，引起器件衬底严重的漏电现象，对所制备器件性能造成不良影响。

发明内容
[0003]为解决上述问题，本发明提供一种降低GaN衬底与外延层界面处Si浓度的方法，包括
[0004]S1.选取GaN同质衬底，对GaN衬底进行预处理以露出原子台阶形貌并修复表面机械损伤；
[0005]S2.在外延系统中外延生长GaN基材料；
[0006]S3.在不低于500℃，持续通入保护气体对所述GaN基材料依次进行热处理以降低GaN同质衬底与GaN基外延材料界面处的Si浓度。

[0007]优选的，所述S1中预处理方式为：在温度>900℃，NH3与H2混合氛围中，其中H2作为还原性气体用于刻蚀GaN同质衬底表面的机械损伤，氨气作为保护性气体可防止衬底表面分解过于严重，H2与NH3体积比为1:1-10:1，混合气体流速为0.1L/min-10L/min吹扫所述同质衬底8min-15min，使GaN同质衬底露出台阶形貌。

[0008]优选的，所述外延系统为金属有机化学气相沉积(MOCVD)、分子束外延(MBE)或氢化物气相外延(HVPE)。

[0009]优选的，所述S2中外延生长条件包括：在压力<400mBar的反应室内，温度>500℃下，NH3作为N源，H2或N2作为载气，载气流速为0.1L/min-10L/min进行吹扫。

[0010]优选的，所述S3中热处理条件为500℃～1300℃下，以H2或者N2作为载气并持续通入NH3为所述保护气体，载气与NH3的体积比为1:1-10:1，载气流速为0.1L/min-10L/min进行吹扫。

[0011]优选的，所述S3中热处理条件还可以为选择一GaN基片覆盖所述GaN基材料，在500℃～1500℃下持续通入惰性气体为所述保护气体，保护气体流速为0.1L/min-10L/min进行吹扫。

[0012]优选的，所述GaN基材料包括GaN，AlGaN，AlN，InGaN或InN。

[0013]优选的，所述GaN基盖片包括GaN，AlGaN，AlN，InGaN或InN。

[0014]利用高温热处理降低GaN同质衬底与外延层之间Si杂质浓度的原理如下：对于Si 原子掺杂的GaN材料体系中而言，体系的总吉布斯自由能可表示为：
[0015]G＝X Si G Si+X GaN G GaN+ΔG mix(1)
[0016]其中X表示物质的含量，即本体系中所含有相对应化学物质的物质的量mol，对于固定的体系而言，浓度越高含量越大)，G表示吉布斯自由能。

而根据吉布斯自由能与焓变H、熵变S之间的关系，有：
[0017]ΔG mix＝ΔH mix-TΔS mix(2)
[0018]其中T表示开氏温度。

对于处于热平衡状态的理想固溶体体系，其焓变为0，即ΔH mix＝0。

根据统计热力学的混合熵公式，可得：
[0019]ΔS mix＝R(X Si lnX Si+X GaN lnX GaN)(3)
[0020]将式(2)与式(3)带入到式(1)中，可得混合后体系的吉布斯自由能为：
[0021]G＝(G Si+RTlnX Si)X Si+(G GaN+RTlnX GaN)X GaN(4)
[0022]则Si原子的化学势为：
[0023]u Si＝G Si+RTlnX Si(5)
[0024]由式(5)可知，Si原子的化学势随着浓度的增大而增大。

而扩散的驱动力是化学势梯度，即单位距离内化学势的差值。

由原子扩散驱动力公式：
[0025]
[0026]可知原子化学势梯度越大，则越扩散的驱动力越大。

而由式(5)可以推导得出Si原子的化学势梯度随温度的升高而增大，其扩散驱动力随温度升高而增大。

因此，我们利用高温热处理方法提高环境温度，增大Si原子扩散驱动力，从而降低GaN同质衬底与外延层界面处的Si原子浓度。

[0027]为降低在GaN同质衬底与外延层界面处的Si原子浓度，提高GaN同质衬底与外延层之间的电阻率，降低所制备器件衬底漏电流并进一步提高同质外延GaN基器件工作性能，本发明提出一种利用高温热处理方法降低GaN同质衬底与外延层界面Si原子浓度的方法。

利用Si原子在界面处以及外延层中的化学势梯度(浓度梯度)，通过高温热处理方法为Si原子扩散提供驱动力，促使界面处高浓度的Si原子向低浓度区扩散，从而降低界面处Si原子浓度，会导致界面处自由电子载流子浓度下降，提高GaN同质衬底与外延层之间的电阻率，最终可降低所制备器件衬底漏电流，提高器件性能，所述器件包括但不限于制备高性能GaN基PN结器件，MOSFET器件以及增强型HEMT等器件。

附图说明
[0028]图1为本发明实施例在GaN同质衬底上外延生长GaN基外延层结构示意图
[0029]图2为本发明实施例降低GaN同质衬底与外延层界面处Si原子浓度方法示意图[0030]图3为本发明实施例热处理前后Si原子归一化浓度分布对比示意图
具体实施方式
[0031]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。

[0032]实施例本实施例提供一种降低GaN同质衬底与InGaN外延层界面处Si浓度的方法，如图2所示，具体包括如下步骤：
[0033]步骤1：将GaN同质衬底放置在MOCVD反应腔中，在高温(>900℃)下，NH3与H2体积比为1:5，NH3与H2混合气体流速为5L/min，吹扫衬底10分钟；由于GaN同质衬底经过抛光工艺，表面为抛光形貌而非原子台阶形貌，同时表面还存在机械损伤，不利于后续GaN基材料外延生长，因此在进行材料生长前需要对衬底进行预处理以露出台阶形貌；
[0034]步骤2：在GaN同质衬底衬底上外延生长GaN基材料，反应条件为温度大于500℃，外延生反应室压力<400mBar，NH3作为N源，TMGa作为Ga源，TMIn作为In源，H2或N2作为载气，载气与NH3体积比为8:1下，载气流速为8L/min进行吹扫。

[0035]步骤3：在步骤2基础上，对所获得的样品进行高温热处理。

热处理可以为原位热处理，原位热处理温度需大于500℃，否则Si浓度降低效果不明显，需小于1300℃且一直通入NH3作为保护性气体，以防衬底以及外延层分解；热处理还可以为异位热处理，异位热处理选择一GaN基盖片覆盖GaN材料表面以防止在热处理过程中GaN材料发生分解。

同时，在热处理过程中通入惰性气体作为保护性气体，热处理温度大于500℃且小于1500℃，以防止衬底以及外延层材料发生氧化等化学反应。

[0036]如图1所示，为生长的外延结构，在GaN衬底与InGaN外延层界面处的Si浓度分布如图3所示，为热处理前后Si原子归一化浓度分布对比示意图，由图可知两次热处理后界面处高浓度的Si原子向GaN衬底和InGaN外延层低浓度区扩散，促使界面处Si浓度明显降低，提高了GaN同质衬底与外延层之间的电阻率，降低所制备器件衬底漏电流，并进一步提高同质外延GaN基器件工作性能。

[0037]以上所述仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式的限制。

虽然本发明已以较佳实例揭露如上，然而并非用以限定本发明。

任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述所述的方法及技术内容做出些许的更改或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术发案的内容，依据本发明的技术实质对以上实例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，仍属于本发明技术方案的范围。

图1
图2
图3。