光刻工艺培训2013

三、ITO玻璃的分类
根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：
类型
说明
TN
未抛光型 直接在玻璃的浮法面进行镀膜
简单抛光型 将玻璃的浮法面进行简单的抛
HTN
/TN精选玻璃 光后,在抛光面进行镀膜
将玻璃的浮法面进行精细的抛
STN
超抛光型 光后,在抛光面进行镀膜
ITO玻璃使用常见问题
常见ITO玻璃异常对LCD产品的影响:
透过率：
在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃的透过率不 小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。
透过率定义： 透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分率 Tt=T2/T1X100%。
ITO玻璃的评价参数
方块电阻:如图
d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂 直电流方向的长度，ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的 定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率 为定值ρ/ d，这就是方块电阻的定义，即R□= ρ/ d
LCD基础知识
正性LCD呈现白底黑字，在反射和透反射型LCD中显示最佳；
负性LCD呈现黑底白字，一般用于透射型LCD，加上背光源，字 体清晰，易于阅读。
正显模式（白底黑字）
负显模式（黑底白字）
光刻的定义
光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合的精密表面加工技术。用照相复印 的方法将掩模版上的图案转移到ITO玻璃表面的光刻胶上，以实现后续的 有选择刻蚀最终形成与掩膜版上图形完全一致的ITO图形
在TN型液晶显示器中充有正性向列型液昌。液晶分子的定向就 是使长棒型的液晶分子平行于玻璃表面沿一个固定方向排列，分 子长轴的方向沿着定向处理的方向。上下玻璃表面的定向方向是 相互垂直的，这样，在垂直于玻璃片表面的方向，盒内液晶分子 的取向逐渐扭曲，从上玻璃片到下玻璃片扭曲了90°，这就是 扭曲向列型液晶显示器名称的由来。
2.光刻胶
感光度、分辨率、抗蚀性、粘附能力、稳定性、 粘度和表面张力
3.曝光版
表面状态（脏、划伤、折痕）、图形完整一致性
ITO玻璃的基本结构
ITO玻璃的基本结构: ITO
sio2
基板
ITO玻璃的基本结构
基板:
常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm 基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子 根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业 中较常用的为钠钙型玻璃.
。
光刻的目的：光刻的目的就是在ITO玻璃上面刻蚀出与掩膜版完全对应的几 何图形。
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光刻
1.是一种图形转移过程。
掩膜板上形成图形 光刻把图形转移到光刻胶上， 刻蚀在ITO玻璃上形成电路图形。
2 两次图形转移：
图形转移到光刻胶层 光刻胶层到ITO玻璃。
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主要材料
1.ITO玻璃
透光率、方块电阻、热稳定性、化学稳定性、表 面状态、平整度
液晶盒中上下玻璃片之间的间隔，即通常所说的盒厚，一般为几 个微米（人的准确性直径为几十微米）。上下玻璃片内侧，对应 显示图形部分，镀有透明的氧化甸-氧化锡（简称ITO）导电薄膜， 即显示电极。电极的作用主要是使外部电信号通过其加到液晶上 去。
液晶盒中玻璃片内侧的整个显示区覆盖着一层定向层。定向层的 作用是使液晶分子按特定的方向排列，这个定向层通常是一薄层 高分子有机物，并经摩擦处理；
ITO玻璃的评价参数
热稳定性:
在空气中经30分钟300±5℃（触摸屏用ITO玻璃是在200±5℃）高 温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%
表面状态:
表面状态会影响涂胶状态，造成涂胶针孔，脱膜，为了获得较好的表面状 态。用于COG产品的低阻值玻璃厂家一般采用垫塑料圈的包装方式。
二、ITO玻璃的基本结构
L2
I
R=ρ×L1/(d×L2)
d L1
ITO玻璃的评价参数
平整度:
平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最 低点的差值为h。
h
玻璃微
L
观表面
ITO玻璃基板平整度参数包括： 1、玻璃表面粗糙度； 2、基板表面波纹度； 3、基板翘曲度； 4、基板垂直度； 5、ITO膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。
ITO玻璃的评价参数
化学稳定性:
ITO镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。 a) 耐碱性 镀层在温度为60±2℃, 浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分 钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。 b) 耐酸性 在25±2℃, 6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟, ITO膜的方电阻与浸泡 前的方电阻相比不得超过110%。 c) 耐溶剂性能 将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯) 中浸泡5分钟后， ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。
优点
缺点
钠钙型玻璃
成本低
含有钠、钾等离子,易产 生渗透,影响产品性能
硼硅型玻璃
玻璃硬度高,透 过率好
成本较高
钠钙型玻璃基本成份:
成份
Al2O3 CaO Fe2O3
MgO
Na2O+ K2O
SO2
SiO2
含量 0.5-1.9 7-12 0-0.2 1.0-4.5 13-15 0-0.3 70-73
ITO玻璃的评价参数
光刻工艺原理
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（
LCD基础知识
下图是一个反射式TN型液晶显示器的结构图 前部偏光片—玻璃—底板电极—周边密封垫—传导线路—分段电极—玻
璃—终端引线—后部偏光片
LCD基础知识
从图中可以看出,液晶显示器是一个由上下两片导电玻璃制成的 液晶盒，盒内充有液晶，四周用密封材料-胶框（一般为环氧树 脂）密封，盒的两个外侧贴有偏光片。
Si02层：
（1）Si02层的作用: 主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响 ITO层的导电能力.
（2）SiO2层的膜厚: 标准膜厚一般为20-30nm
二、ITO玻璃的基本结构
ITO(Indium Tin Oxid)层:
为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般 Sn（即Tin)的含量约为10%。 随着ITO层厚度的增加,ITO层的方块电阻逐渐减小.
ITO玻璃异常 基板中的钠离子发生渗透 基板的波纹度较差 面电阻不均 玻璃表面较脏 ITO测射不均 翘曲度差 表面伤痕、异物、气泡 磨边倒角粗糙