LED芯片制程 ppt课件
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electrodes
Packaging Characterization
光学知识
Power Power per unit area Power per unit solid angle
Radiometry Watt (W) W/m2 W/sr
Photometry lumen (lm) lm/m2 = lux (lx)
p-GaN
N-GaN 缓冲层
蓝宝石
MQW
金属离子
LED芯片制程
有机物
LED芯片制程
刻蚀
Cl2+Bcl3+Ar
LED芯片制程
3#液
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
KI+I2
LED芯片制程
丙酮+酒精
LED芯片制程 O2
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LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
A packaged LED
Different parts of an LED
epoxy dBaidu Nhomakorabeame
bond wires
semiconductor chip
“silver cup” reflector
Process flow: Design Growth
Processing
Photometry is just like radiometry except that everything is weighted by
the spectral response of the eye
lm/sr = candela (cd)
立体角:
Solid angle: sr = 2 (1 - cos(θ/2))
LED芯片制程
LED 发光管是怎样练成的
Sapphire 蓝宝石
2-inch
衬底材料 生长或购
买衬底
芯片切割 芯片加工
LED结构 MOCVD生长
器件封装
LED芯片制程
氮化物LED发光管的器件结构及发光机理
electrons
N 欧姆 接触
P 欧姆接触
电子空穴 复合发光
蓝宝石或碳化硅
LED芯片制程
N2
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
气体，功率
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
丙酮
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
LED芯片制程
▪ 划片,裂片工作流程图
划片前晶片背面
划片后背面
划片后,侧视图 裂片后,侧视图
扩膜后,正视图