静电防护.PP

七、靜電相關參數
•輸送帶:每月量測一次使用接地電阻測試 計測試接地是否確實 •靜電環:每日量測一次以靜電環測試器測 試靜電環之功能是否正常，安全阻抗1M Ω/SQ •靜電手環適用於輸送帶、組裝線之固定 工作人員使用，內含有1MΩ安全阻抗， 有黏扣、鬆緊調整等樣式。
七、靜電相關參數
•靜電手套: •雙面應有導電線，間距應在0.5CM以內，表面 阻抗10^9～10^11Ω/SQ。 •抗靜電無塵工作衣:夾克、褲子式level 1:10^9＜R＜10^11Ω/SQ 長袍工作服 level 2:10^5＜R＜10^7Ω/SQ •襪子:表面阻抗10^3～10^6Ω/SQ可配ESD基本上有三種形式, 就工業上發現,ESD基本上有三種形式,它們會引發起 基本上有三種形式 九 九 ESD敏感的裝置的裝置的降低或損壞. ESD敏感的裝置的裝置的降低或損壞. 敏感的裝置的裝置的降低或損壞 1.人體形式: 1.人體形式: 人體形式 2.微電子器件帶電形式: 2.微電子器件帶電形式: 微電子器件帶電形式 3.場感應形式: 3.場感應形式: 場感應形式 人體形式即指當人體活動時, 人體形式即指當人體活動時,身體和衣服之間的摩擦 電荷.若人們手持ESD敏感的裝置而不先洩放電荷到地, ESD敏感的裝置而不先洩放電荷到地 電荷.若人們手持ESD敏感的裝置而不先洩放電荷到地, 摩擦電荷將會移向ESD敏感的裝置而造成損壞: ESD敏感的裝置而造成損壞 摩擦電荷將會移向ESD敏感的裝置而造成損壞:微電子 器件的主要破壞都是由此形式所造成. 器件的主要破壞都是由此形式所造成.
微電子器件帶電形式即指這些ESD敏感的裝置, 微電子器件帶電形式即指這些ESD敏感的裝置,尤其對塑 ESD敏感的裝置 膠料件,當在自動化過程中,會產生摩擦電荷, 膠料件,當在自動化過程中,會產生摩擦電荷,而這些摩 擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地洩放到高度導電的 牢固接地表面,因此造成損壞. 牢固接地表面,因此造成損壞.
七、靜電相關參數
•靜電鞋:以清水及中性清洗劑清洗鞋底， 每日量測一次 •主要功能: •是藉由低導值的鞋底接觸導電地磚，能 瞬間排洩人體之靜電。及腳底穿導電工 作鞋行走時不產生靜電而破壞半導體。
七、靜電相關參數
•規格: •為保護人體行走地面上觸電之安全，故要避免 有過低之絕緣阻抗，以防止擊電意外。故美國 MIL SPEC及ESD協會規定人接觸物體之導電值， 為10×4 MEG OHM/SQ~10×6 MEG OHM/SQ因腳均 穿著纖維襪，故電阻較高。所以檢測導電鞋之 規格在10×5 MEG OHM/SQ(0.9 MEG OHM)~10×7 MEG OHM/SQ(35 MEG OHM)
七、靜電相關參數
•防靜電盛具: 敏感性材料及半成品須裝 在有防靜電之盛具。如防靜電籃、防靜 •電台車、靜電塑膠袋、靜電氣泡袋、靜 電鋁箔袋等…表面阻抗係 … •數在10^4~10^6Ω/SQ內。 •抗靜電金屬遮蔽袋(Shielding Bag)最高 級之抗靜電塑膠袋，靜它衰減時間＜ 0.01Sec。
四. ESD的產生 ESD的產生
工業生產中，靜電常伴隨各種作業過程（ 工業生產中，靜電常伴隨各種作業過程（如 管路輸送、容器中傾出或流入容器中、攪動、 管路輸送、容器中傾出或流入容器中、攪動、 混合、噴出、乾燥、粉碎、篩選、滾輪傳送、 混合、噴出、乾燥、粉碎、篩選、滾輪傳送、 剝離、人員走動） 物質間相互接觸時, 剝離、人員走動）中，物質間相互接觸時,因 雙方固有電阻值的不平等會產生電位差, 雙方固有電阻值的不平等會產生電位差,因而 造成電荷的移動,主要是籍著放電效應進行‧ 造成電荷的移動,主要是籍著放電效應進行‧ •靜電放電的產生： 靜電放電的產生： 靜電放電的產生
二、靜電釋意
•靜電:是因物體摩擦或快速分離時，使電子運 動產生電荷而發生靜電，或絕緣物生產時經摩 擦，擠壓，加溫等改變形狀產生電荷—正、負 靜電。當高靜電壓向較低壓或相反電荷或接地 時迅速流動而產生「放電效應」(ESDELECTROSTATIC DISCHAGE)瞬間放電時產生電 流常能破壞，燒損、打穿等破壞半導體，或產 品表面吸附塵埃污染，電子控制器破壞，品質 降低，成本增加。
七、靜電相關參數
•檢測注意事項: •測試時應左右腳分別測試 •HIGH FAIL表示人體到鞋底間阻抗值過大，不 易排除靜電和易產生磨擦靜電應清洗或更換。 •LOW FAIL表示電阻抗過低，如果踏到漏電處易 觸電。必須清洗鞋內體汗之鹽份，必需乾燥， 就靜電防護規格可接受 •測試設備只測量從手接觸開關點到鞋底部間之 阻抗值， •與人體重量無關。
七、靜電相關參數
•抗靜電塑膠袋(Anti-static PE Bag)表 面阻抗:10^10～10^12Ω/SQ，可選擇添 加色母製作。 •導電網狀袋(Conductive Grid Bag)表面 印有導電網紋不脫落，表面 •阻抗係數:10^4～10^6Ω/SQ。
七、靜電相關參數
•抗靜電氣泡袋(Anti-static Babble Bag) 具有緩衝之最佳塑膠保護材，氣泡直 徑:10MM高度:2～3MM，表面阻抗係 數:10^10～10^12Ω/SQ。 •抗靜電EPE(舒服多)墊(Anti-static EPE Sheet可作單片及貼合組 •裝，表面阻抗:10^10～10^12Ω/SQ。
六. 製造過程之靜電防護
10.再同一生產線,以輸送帶方式作業時, 10.再同一生產線,以輸送帶方式作業時,輸 再同一生產線 裝置均須確實接地... 送帶及其各 裝置均須確實接地... 11.相對濕度乃是靜電發生之要因 相對濕度乃是靜電發生之要因. 11.相對濕度乃是靜電發生之要因.作業之 相對溼度因控制於50%~60%之間. 50%~60%之間 相對溼度因控制於50%~60%之間. 12.相對溼度的管理 可視為是一種對IC 相對溼度的管理, IC裝 12.相對溼度的管理,可視為是一種對IC裝 置儀器的品管方法之一, 置儀器的品管方法之一,但只能視為是全 盤靜電防制的補助方法之一. 盤靜電防制的補助方法之一. 13.做靜電測定時 須附記當時溼度及溫度. 做靜電測定時, 13.做靜電測定時,須附記當時溼度及溫度.
七、靜電相關參數
• 靜電地磚: • 靜電衰減時間:<0.03sec • 靜電殘餘量 :<100Vo1ts • 表面阻抗係數:2.5*10^9~9.9*10^6Ω/SQ • 尺寸與厚度 :308M/M*308M/M*3.0mm • 300M/M*600M/M*3.0mm • 900M/M*900M/M*3.0mm • 610M/M*610M/M*3.0mm(access floor)
三.什麼是靜電放電
•靜電物理特性的認知： 靜電物理特性的認知： 靜電物理特性的認知 一般人由於對靜電物理特性認知不足， 一般人由於對靜電物理特性認知不足，而造 成錯誤的判斷與見解，認為木頭是絕緣體， 成錯誤的判斷與見解，認為木頭是絕緣體，在 靜電的領域中木頭是導體，同樣的道理， 靜電的領域中木頭是導體，同樣的道理，人體 也是導體，由於靜電的高電壓低電流特性， 也是導體，由於靜電的高電壓低電流特性，靜 電與一般電機系統比較如下表， 電與一般電機系統比較如下表，可對靜電物理 特性有所掌握與理解‧ 特性有所掌握與理解‧
靜電 電壓範圍 電流範圍 電源特性 接地電阻
100V 高, 100V到 100kV 100kV
電機工程 500V 低, 1V到500V 較高,1mA到 較高,1mA到 ,1mA 10A 10A 電壓源 <100Ω 100Ω
很低,1pA到 很低,1pA到 ,1pA 1mA 6 電流源 <10 Ω
•相對濕度與靜電關係
產生方法
靜電壓 10-20%相對溼度 65-95%相對溼度 相對溼度 相對溼度
走過地毯 走過塑膠地板 在椅子上工作 拿起塑膠文件夾 工作椅墊摩擦
From DOD-HDBK-263
35,000 12,000 6,000 7,000 18,000
1,500 600 100 2,600 1,000
六. 製造過程之靜電防護
七、靜電相關參數
•檢測注意事項，每月檢測一次 •阻抗: •兩點間:25,000~1,000,000 ohm。地板到 地之阻抗:超過25,000 ohm。 •N.F.P.A-PP兩點測試距離為3呎，重量於 5磅使用。500V/DC作為測試。
七、靜電相關參數
•靜電產生: 穿戴靜電鞋時產生低於100V 電壓。 •洩電: 5000V到0V，在0.03秒內， FTM101B METHOD 4046 •RH20%
場感應形式即指有強電場圍繞, 場感應形式即指有強電場圍繞,這可能來之於塑性材料 會發生電子極化跨過氧化層. 或人的衣 服,會發生電子極化跨過氧化層.若電位差超 過氧化層的介電常數,則會產生電弧以破壞氧化層, 過氧化層的介電常數,則會產生電弧以破壞氧化層,其結 果為短路. 果為短路.
表：靜電與一般電機系統特性比較表
靜電手環 靜電手套
靜電桌布
靜電盒
六. 製造過程之靜電防護
5.手焊作業時,其焊槍必須充分接地. 5.手焊作業時,其焊槍必須充分接地. 手焊作業時 6.QC實施線上檢驗稽查時, QC實施線上檢驗稽查時 6.QC實施線上檢驗稽查時,所有的作業員必須確 .(包括靜電腕帶及靜電鞋 包括靜電腕帶及靜電鞋) 實接 地.(包括靜電腕帶及靜電鞋) 7.必須直接接觸IC之作業員 必須直接接觸IC之作業員, 7.必須直接接觸IC之作業員,一定要使用靜電腕 帶. 8.各製程間之半成品保存或運送 各製程間之半成品保存或運送, 8.各製程間之半成品保存或運送,都必須有正確 的靜電防治方法. 的靜電防治方法. 9.工作台上及其四周 除必要工具外, 工作台上及其四周, 9.工作台上及其四周,除必要工具外,絕對不可放 置其他私人東西. 置其他私人東西.
靜電防護
靜電防護
一、前言
•日常生活中常遇到靜電造成的困擾（如：尼 日常生活中常遇到靜電造成的困擾（ 日常生活中常遇到靜電造成的困擾 龍衣服吸附身體、梳子吸附頭髮、 龍衣服吸附身體、梳子吸附頭髮、螢光幕吸 附灰塵、手摸門把感到電擊等…） 附灰塵、手摸門把感到電擊等 ）‧靜電危 害的產生，可分為兩個方面來探討， 害的產生，可分為兩個方面來探討，第一是 靜電放電而引起的火災‧ 靜電放電而引起的火災‧第二是靜電累積與 放電造成生產品質的不良‧ 放電造成生產品質的不良‧ •雖然靜電危害在不同的工業有著不同的危害 雖然靜電危害在不同的工業有著不同的危害 形式，但基本的原理與法則是固定的‧ 形式，但基本的原理與法則是固定的‧