电子束加工特点

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电子束微细加工技术的发展及其应用

电子束微细加工技术的发展及其应用电子束微细加工技术随着科学技术的发展而逐渐成熟，其在加工工业领域有着广泛的应用。

本文将重点探讨电子束微细加工技术的发展历程，技术特点以及在各个领域的应用。

一、电子束微细加工技术的发展历程电子束微细加工技术可以追溯到二十世纪中期，当时美国贝尔实验室的研究人员首次将电子束用于微细加工。

当时，电子束微细加工技术还处于探索阶段，局限于单层薄膜的微细加工。

随着科学技术的发展，电子束微细加工技术经历了从单层薄膜加工到多层薄膜、集成电路、光学器件以及生物医学等领域的拓展过程。

二、电子束微细加工技术的技术特点1.高精度电子束微细加工技术的加工精度可以达到亚微米级别。

由于电子束的微小直径，因此加工精度高。

同时，电子束微细加工技术无需接触到工件表面，因此可以避免因为接触而导致的破坏。

2.高速度电子束微细加工技术的加工速度比传统机械加工技术快得多。

电子束可以在微小的空间内加工，从而提高加工效率。

3.可控性强电子束微细加工技术可以通过调整电子束的加速电压和电子束的聚焦来实现不同的加工效果。

同时，电子束微细加工技术还具有可调的深度控制功能。

三、电子束微细加工技术在各个领域的应用1.集成电路在集成电路制造领域，电子束微细加工技术可以实现极小尺寸的电路设计。

利用电子束微细加工技术可以制造出亚微米级别的电路，这对于集成电路的制造具有重要的作用。

2.生物医学电子束微细加工技术在生物医学领域的应用主要集中在生物芯片制造方面。

利用电子束微细加工技术可以制造出超薄的微处理芯片，这些芯片可以被用于感应、检测和诊断。

3.光学器件利用电子束微细加工技术可以制造出高精度的光学器件，如光纤、光阻、光学芯片等等，这些光学器件可以被应用于通讯、光电子学、测量、材料加工等领域。

4.微纳机械电子束微细加工技术在微纳机械领域具有广泛的应用。

可以利用电子束微细加工技术制造出微米级别的光学器件、电子器件和机械器件等。

在微纳机械领域，电子束微细加工技术在制造微机械设备时具有独特的优势。

电子束加工的原理特点应用

电子束加工的原理特点应用1. 原理介绍电子束加工是一种以电子束为工具，利用其高速度和高能量，对材料进行加工和改变形状的技术。

其原理基于电子束与材料相互作用时的各种效应，包括电子-材料相互碰撞、电子散射和电子热效应等。

通过控制电子束的能量、聚束和扫描方式，可以实现对材料的溶解、沉积和表面改性等加工操作。

2. 特点分析2.1 高精度加工电子束加工具有非常高的定位精度和加工精度。

由于电子束可以聚焦到非常小的区域，因此可以实现微米级别的加工精度。

同时，电子束加工过程不会产生机械接触，避免了传统机械加工过程中的磨损和变形等问题，保证了加工精度的稳定性。

2.2 无热影响区域电子束加工实现了非接触式加工，材料不受热影响区域的限制。

传统热加工方法往往会对材料造成热变形、热裂纹和残余应力等问题，而电子束加工则可以在不产生热影响的情况下进行加工操作，有效防止了材料的热损伤。

2.3 高能量密度加工电子束加工具有极高的能量密度。

电子束在与材料相互作用时，会传递给材料的能量密度非常大，可以迅速将材料加热到高温甚至熔化状态。

这种高能量密度的加工方式适用于一些特殊材料，例如高熔点金属或者难加工的高强度合金等。

2.4 灵活性和可控性高电子束加工具有非常高的灵活性和可控性。

可以通过调节电子束的能量、聚束方式和扫描路径等参数，实现对材料加工过程的精确控制。

这种灵活性和可控性使得电子束加工可以用于不同材料的加工和多种形状的制造。

3. 应用领域3.1 微电子学电子束加工在微电子学领域的应用非常广泛。

由于其高精度和高能量密度的优势，电子束可以用于微芯片的制造、电路板的加工以及微电子器件的制备等。

同时，由于电子束加工不受材料性质的影响，可以适用于各种不同材料的加工。

3.2 航空航天电子束加工在航空航天领域的应用也非常重要。

航空航天领域对材料的高温抗性和高强度要求非常高，而电子束加工恰好可以实现对这些材料的精确加工和形状调整。

同时，由于其非接触式加工的特点，电子束可以用于对高温材料的修复和维护。

第七章电子束和离子束加工

电子束可焊接的材料范围很广，除了适合于普通的碳钢、合金钢、不锈钢外，更有利于焊接高熔点金属（如钽、钼、钨、钛等及其合金）和活泼金属（如锆、钛、铌等），还可焊接异种金属材料、半导体材料以及陶瓷和石英材料等，例如铜和不锈钢的焊接，钢和硬质合金的焊接等。由于电子束焊接对焊件的热影响小、变形小，可以在工件精加工后进行焊接。又由于它能够实现不同种类金属的焊接，有可能将复杂的工件分成几个零件。这些零件可以单独地使用最合适的材料，采用合适的方法来加工制造，最后利用电子束焊接成一个完整的零部件，从而可以获得理想的使用性能和显著的经济效益。例如，可变后掠翼飞机的中翼盒长达6.7m，壁厚12.7～57mm，钛合金小零件可以用电子束焊接制成，共70道焊缝，仅此一项工艺就减轻飞机重量270kg。大型涡轮风扇发动机的钛合金机匣，壁厚1.8～69.8mm，外径2.4m，是发动机中最大、加工最复杂、成本最高的部件。采用电子束焊接后，节约了材料和加工工时，成本降低40%。阿波罗登月仓的铍合金框架和制动引擎中的64个零部件也都采用了电子束焊接。Fra bibliotek3、热处理
电子束热处理是把电子束作为热源，并适当控制电子束的功率密度，使金属表面加热而不熔化，达到热处理的目的。电子束热处理的加热速度和冷却速度都很高，在相变过程中，奥氏体化时间很短，只有几分之一秒乃至千分之一秒，奥氏体晶粒来不及长大，从而能获得一种超细晶粒组织，可使工件获得用常规热处理不能达到的硬度。
4、电子束曝光
电子束曝光是先利用低功率密度的电子束照射称为电致抗蚀剂的高分子材料，由入射电子与高分子相碰撞，使分子的链被切断或重新聚合而引起分子量的变化，这一步骤也称为电子束光刻。通常将它作为集成电路、微电子器件以及微型机械元器件的刻蚀前置工序。如果按规定图形进行电子束曝光，就会在电致抗蚀剂中留下潜像。然后将它浸入适当的溶剂中，则由于分子量不同而溶解度不一样，就会使潜像显影出来。将光刻与离子束刻蚀或蒸镀工艺结合，就能在金属掩模或材料表面上制作出图形来。

第6章电子束和离子束加工

特种加工技术
二、电子束加工装臵
电子枪
电子发射阴极、控制栅极和加速阳极等；
真空系统控制系统
电磁透镜、偏转线圈、工作台系统
电源系统辅助装臵
特种加工技术
电子枪
用途：

钨丝

发射高速电子流电子束的预聚焦电子束的强度控制
小功率
大功率
组成

电子发射阴极（纯钨或纯钽）控制栅极加速阳极

非热型（化学效应）

利用电子束的化学效应进行刻蚀

刻蚀
特种加工技术
功率密度对加工模式的影响
a) 低密度 b) 中低密度 c) 高密度
表面改性
电子束焊接
电子束打孔、切槽
特种加工技术
电子束加工的应用范围
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
特种加工技术
（1）高速打孔
特点

能打各种孔（最小φ3μm ）

生产效率高
可加工各种材料
实际应用
打400孔；3mm厚时，φ1mm的锥形孔，每秒可打20孔。）
可加工斜孔。可以加工各种直的型孔和型面，也可以加工弯孔和曲面。
特种加工技术
电子束加工曲面
电子束在磁场中运动，由于受到电磁力，其轨迹会发生偏转。如果在磁场中对工件加工，则可切割出曲面。
特种加工技术
电子束加工弯槽
电子束在磁场中运动，由于受到电磁力，其轨迹会发生偏转。如果在磁场中对工件中部进行切割时，则可加工出弯槽。
特种加工技术
电子束加工分类
通过控制电子束能量密度的大小和能量注入时间，就可以达到不同的加工目的。电子束打孔、切割等加工：高电子束能能量密度，使材料融化和气化，就可以进行；电子束焊接：使材料局部融化就可以进行；电子束热处理：只使材料局部加热就可以进行；电子束光刻加工：利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行。

第六章电子束和离子束加工

二、离子束加工装置
(一) 考夫曼型离子源
用阴极发射电子撞击氩气使其电离成等离子
(二) 双等离子体型离子源
用直流电弧放电将氩、氪、氙等惰性气体等离子体化
图6-9 考夫曼型离子源 1-真空抽气口 2-灯丝 3-惰性气体注入口 4-电磁线圈 5-离子束流 6-工件 7-阴极 8引出电极 9-阳极 10-电离室
B、C、Al、Ar、Cr、F e、Ni、Zn、Ga、Mo、 In、Eu、Ce、Ta、Ir
耐磨损
B、C、Ne、N、S、Ar、 20～100 Co、Cu、Kr、Mo、Ag、 In、Sn、Pb Ar、S、Kr、Mo、Ag、 20～100 In、Sn、Pb
＞1
改变摩擦因数
＞1
本章完
离子束加工的特点
1) 由于离子束可以通过电子光学系统进行聚焦扫描，离子束轰击材料是逐层去除原子，离子束流密度及离子能量可以精确控制，所以离子刻蚀可以达到纳米 (0.001µm)级的加工精度。 2) 由于离子束加工是在高真空中进行，所以污染少，特别适用于对易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料的加工。 3) 离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的。 4) 离子束加工设备费用贵，成本高，加工效率低，因此应用范围受到一定限制。
可实现对材料的“毫微米级”或“原子级”加工。
离子束加工的分类
1) 离子刻蚀是用能量为0.5～5keV的氩离子倾斜轰击工件，将工件表面的原子逐个剥离。 2) 离子溅射沉积也是采用能量为0.5～5keV的氩离子，倾斜轰击某种材料制成的靶，离子将靶材原子击出，垂直沉积在靶材附近的工件上，使工件表面镀上一层薄膜。 3) 离子镀也称离子溅射辅助沉积，是用0.5～5keV的氩离子，不同的是在镀膜时，离子束同时轰击靶材和工件表面。 4) 离子注入是采用5～500keV较高能量的离子束，直接垂直轰击被加工材料，由于离子能量相当大，离子就钻进被加工材料的表面层

特种加工技术---第六章：电子束和离子束加工

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2 离子束加工在高真空环境下进行，所以污染少，特别适用于对易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体进行加工。
3 离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，是一种微观作用，宏观压力很小，所以加工应力、热变形极小，加工质量高，适合于加工各种材料和低刚度薄壁零件。
4 与电子束加工类似，离子束加工设备费用贵、成本高，应用范围受到一定的限制。
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三电子束加工装置一般说来，一套典型的电子束加工装置主要包括以下几个主要组成部分
➢ 电子枪 ➢ 真空系统 ➢ 控制系统 ➢ 电源
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1 电子枪作用：发射电子束组成：发射阴极，控制栅极、加速阳极
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2 真空系统真空系统的主要作用是保证电子束加工时维持1.33×10-21.33×10-4Pa的真空度，因为只有在真空中，电子才能高速运动。此外，加工时产生的金属蒸汽会影响电子的发射和运动，因此也需要不断地把加工中产生的金属蒸汽不断抽走。
第六章电子束和离子束加工
电子束加工-----Electron Beam Machining
离子束加工-----Ion Beam Machining
电子束加工主要用于打孔、焊接、切割、刻蚀、热处理和光刻加工等方面。离子束加工主要用于离子刻蚀、离子镀膜加工以及离子注入加工等方面。
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第一节电子束加工
3 控制系统和电源
电子束加工设备控制系统主要包括：束流聚焦控制、束流位置控制和束流强度控制。
束流的位置控制是为了改变电子束的方向，常用电磁偏转来控制
电子束焦点的位置。
电子束加工设备对电源电压的稳压性要求较高，因为电压波动
会影响电子束聚焦的稳定性。 h

现代加工技术第7章电子束离子束加工

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7.1.电子束加工
3 电子束加工的应用
II 加工型孔或特殊外表
切割复杂型面，切口宽度6~3 μm ，边缘粗糙度可控制在±0.5μm ；
不仅可以加工直孔也可以加工弯孔和立体曲面；
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7.1.电子束加工
3 电子束加工的应用
III 刻蚀
在微电子器件生产中，为了制造多层固体组件，利用电子束对陶瓷或半导体材料可出许多微细沟槽和孔；制版；
ii 蚀刻加工时，对离子入射能量、束流大小、离子入射到工件上的角度以及工作室气压等分别控制；
iii 氩气离子蚀刻效率取决于离子能量和入射角度；
入射能量增大蚀刻效率增加；
入射角度增加蚀刻效率增加，但角度过大使有效束流减小，40º~60º效率最高；
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7.2.离子束加工
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7.1.电子束加工
3 电子束加工的应用
IV 焊接
当高能量密度的电子束轰击焊件外表时，使焊件接头处的金属熔融，在电子束不断轰击下，形成一个被熔融金属环绕的毛细管状的蒸气管，如果焊件按一定速度沿接缝与电子束作相对运动，那么接缝上的蒸气管由于电子束的离开而重新凝固，形成焊缝；焊接速度快，焊缝窄、强度好，热影响区小，变形小；可以焊接难熔金属和化学活性高的金属；可以焊接不同材料；
Pag.离子束加工
2 离子束加工装置
I 离子源
i 考夫曼型离子源；
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7.2.离子束加工
2 离子束加工装置
I 离子源
ii 双等离子体型离子源；

电子束加工和等离子体加工

第五节等离子体加工 Plasma Arc Machining/PAM
等离子体：气体在高温下离解成正离子及自由电子，整体仍旧保持电中性，这种高温电离气体称为等离子体。
等离子体加工：利用电弧放电使气体电离成过热的等离子态气流，靠局部熔化及汽化去除材料的工艺方法称为等离子体加工。
一、基本原理等离子体具有极高的能量密度，是由以下三种效应造成的： 1)机械压缩效应等离子体切割嘴通道直径及长度 2)热收缩效应气流流量与压力；冷却水作用 3)磁收缩效应由电弧电流形成磁场综合结果：高电流密度，高温度，高速度（高动能）→ 热能
冷却水割枪主体保护罩电源喷嘴距离等离子体电弧保护气体屏钨电极工质气体
切缝宽度 (约为喷嘴直径的两倍)
等离子体加工原理图
二、设备
二、设备
二、设备
三、应用等离子弧喷涂；等离子弧热处理；等离子弧切割；等离子弧焊接。
（五）热处理；
（六）曝光。
三、电子束加工的应用
Video
三、电子束加工的应用右图所示为电子束加工弯曲的型面。其原理为：电子束在磁场中受力，在工件内部弯曲，工件同时移动，即可加工曲面Ⅰ；随后
改变磁场极性，即可加工曲面Ⅱ；在工件实体部位内加工，即可得
到弯槽Ⅲ；当工件固定不动，先后改变磁场极性，二次加工，即可得到一个入口、两个出口的弯孔Ⅳ。拉制电子束速度和磁场强度，即可控制曲率半径。
三、电子束）焊缝深而窄，深宽比可达70:1 3）焊件热影响区小 4）一般不用焊条，焊缝强度一般高于母材
电子束焊接
SEM image of a work sample on a magnesium oxide surface using FIB. The diameter of the hole measures approximate. 4 µm.

简答名词解释

简答1、简述激光束加工和电子束加工方法的主要特点。

答：电子束加工机理是将电能转化成电子的动能，通过高速电子对工件表面的轰击是电子动能转化成金属表面的热能将材料瞬时溶融，气化、以达到去除材料的目的。

加工条件是真空、工件材料为导电金属体，与加工有关的材料性能是材料的热学常数。

激光束加工机理是将电能转化成光能，再将激光束射向工件表面由金属吸收转化成金属表面的热能将材料瞬时溶融、气化、达到去除材料的目的。

加工条件是：工件材料为金属、非金属都可以，与加工有关的材料性能是材料的热学常数及材料表面对激光的吸收率。

2,简述电火花加工的基本原理？电火花蚀除的主要原因是什么？火花放电过程大致可分为哪四个连续的阶段？答：电火花加工是基于正负电极间脉冲放电时的电腐蚀现象对材料进行加工的，又称为放电加工、电蚀加工、电脉冲加工等，是一种利用电、热能量进行加工的方法。

及时排除电极间的电蚀产物，以确保电极间介电性能的稳定。

否则，电蚀产物将充塞在电极间形成短路，无法正常加工。

火花放电过程大致可分为：极间介质的击穿与放电；介质热分解、电极材料熔化、气化热膨胀蚀除产物的抛出；极材料的抛出；间隙介质消电离。

3、采用电火花加工的型腔模具是？采用电火花加工型腔模具时，在电极设计中，需考虑设计排气孔和冲油孔，为什么？答：锻模，压铸模，胶木模，塑料模这是因为型腔模具加工属盲孔加工，电蚀产物排除比较困难，电火花加工时产生的大量气体要排出，故需设置气孔，同时设置冲油孔可采用工作液强迫循环方法来改善盲孔加工条件。

4、简述涂镀加工的工艺过程？答：表面预加工—>除油、除锈—>电净处理—>活化处理—>镀底层—>镀尺寸镀层和夹心镀层—>镀工作层—>镀后清洗5、简述电铸加工的工艺过程？答：原模表面处理—>电铸至规定厚度—>衬背处理—>脱模—>清洗干燥—>成品。

6、试述离子束加工的原理和特点。

电子行业电子束和离子束加工

电子行业电子束和离子束加工简介在电子行业中，电子束和离子束加工是两种常用的微细加工技术。

它们利用高能电子束和离子束对材料进行加工，具有高精度、高效率和非接触等特点，在电子器件制造、表面改性和纳米加工等领域有广泛应用。

电子束加工基本原理电子束加工利用高速运动的电子束对材料表面进行加工。

通过控制电子束的能量和聚焦方式，可以实现在纳米到微米级别的精确加工。

其基本原理如下：•加速电子：采用电子枪将电子加速到较高能量，通常在几十千伏至几百千伏之间。

•焦点控制：利用一系列电场和磁场聚焦系统，将电子束聚焦到较小的直径，达到高分辨率的效果。

•扫描加工：通过控制电子束的位置和扫描速度，实现对材料表面的精确加工。

应用领域电子束加工在电子行业中有广泛的应用，包括但不限于以下领域：1.纳米微型器件加工：电子束加工可用于制造微型电子器件，如纳米线、纳米晶体管和MEMS器件等。

2.光刻：电子束激光刻蚀技术是集成电路制造中常用的工艺之一。

3.表面改性：通过控制电子束的能量和扫描方式，可以实现对材料表面的纹理、硬度和导电性等物理性质的改变。

4.纳米加工：电子束可以直接对纳米颗粒进行加工，制备纳米材料和纳米结构。

离子束加工基本原理离子束加工利用高能离子束对材料进行加工。

与电子束加工相比，离子束加工具有更高的穿透能力和更大的功率密度，可以实现更深入和更精确的加工效果。

其基本原理如下：•加速离子：采用离子源将离子加速到高能量，通常在几百电子伏至几千电子伏之间。

•焦点控制：通过控制电场和磁场分别作用的方式，实现对离子束的聚焦控制。

•碰撞损伤：高速离子束与材料表面相碰撞，产生碰撞损伤和表面变化。

应用领域离子束加工在电子行业中也有广泛的应用，主要应用于以下领域：1.纳米加工：离子束加工可用于纳米线、纳米颗粒和纳米薄膜的制备。

2.材料改性：通过离子束的碰撞和改变材料表面的结构，可以实现材料的硬化、改变导电性和抗腐蚀等性能。

3.表面涂层：离子束沉积技术可以实现对材料表面的镀膜、涂层和纳米颗粒的制备。

浅析电子束加工工艺特点及其应用

0引言随着科学技术的高速发展,大多数的元器件都要进行超高精度的加工,其数量级可达到纳米级,而电子束加工则在其中起了举足轻重的作用。

电子束加工属于特种加工方法的一种,在工业上的应用已有差不多半个世纪的历史,现已被许多部门完全接受。

最近几年,电子束加工技术日益成熟,应用也是更加广泛。

打孔、焊接、切割、刻蚀、热处理等各个领域都有电子束加工发挥的空间。

其中电子束加工在焊接方面应用最为广泛,也最具竞争力。

1电子束加工的的定义及原理1.1电子束加工的定义电子束加工是利用能量密度非常高的高速电子流,在一定真空度的加工舱中使不同的金属、非金属材料熔化,蒸发和汽化而去除的高能束加工。

1.2电子束加工的原理电子束加工是在真空的环境下,利用加热的阴极发射电子流,使带负电荷的电子流高速飞向阳极,中途通过加速极加速,并经电磁透镜聚焦,使得能量密度高度集中,能够把能量聚集到直径为0.1至10μm的斑点里面,从而获得106至109W/cm2能量密度,在非常短的时间里,将其中的能量转变为热能,使被冲击的材料温度达到数千摄氏度,从而引起被冲击材料的熔化和气化,冲击过程中产生的废弃物质将被真空系统抽出。

简而言之,电子束加工是一种以高能量密度的电子流作为热源,对各种工件材料进行区别于传统机械加工的特殊加工工艺。

2电子束加工的工艺特点因为电子束加工特殊的工作原理,所以使其具有独特的工艺特点。

电子束加工具有许多其他加工方式所不具备的优点,同时它也有一定的缺陷。

2.1电子束加工的优点2.1.1电子束直径很小电子束可以非常微细地聚焦,电子束直径甚至能聚焦到0.01μm。

电子束长度可以达到直径的数十倍以上,因此完全可以进行深孔加工和微细加工。

2.1.2电子束能量密度高电子束集束在直径为几个微米的斑点上时,能量可达到109W/ cm2,足以熔化和气化任何材料。

2.1.3生产效率高因为电子束能量密度很高,并且能量利用率可达90%,所以虽然加工材料、孔的大小有所不同,但总的来说,加工5mm左右厚的工件也就数十秒,非常之短。

电子束加工技术的研究与应用

电子束加工技术的研究与应用电子束加工技术（Electron Beam Machining）是一种高能量密度的金属加工方法，利用电子束的高速运动和高能量集中，在工件表面瞬间加热并融化材料。

与传统金属加工方法（如机械加工、电火花加工、激光加工）相比，电子束加工具有加工速度快、精度高、能耗低等优点，在航空航天、汽车、电子、医疗等领域均有广泛应用。

本文将着重探讨电子束加工技术的研究进展和应用现状。

一、电子束加工技术的原理和特点电子束加工技术是利用加速器将电子加速到光速附近，并通过特殊的几何形状的电子透镜束缩成一束高速电子束。

当电子束照射到金属表面时，其能量被转化为热能，使金属表面瞬间升温至熔化温度并融化。

同时，电子束在金属中的运动引起金属内部原子的弹性碰撞和不弹性碰撞，从而产生热扩散和塑性变形，最终实现对工件的加工。

电子束加工技术具有以下几个特点：1. 高能量密度：电子束加工的能量密度高达10^9 W/cm2以上，远高于传统加工方法，可以实现对薄膜、微细结构等工艺难度较大的部件的加工。

2. 高精度加工：电子束加工具有高精度、高分辨率和高表面质量的优势，对于形状规则复杂的零件及超精细加工有很强的适应性。

3. 无切削力加工：电子束加工是一种非机械切削类加工方法，不存在机械摩擦或挤压等现象，因此对被加工物的变形、振动、屈曲、拉伸等无任何影响。

4. 处理难加工材料：电子束加工可以处理钨、钼、铌、铬、镍等难加工材料，对黑色金属、色金属、难切削材料以及各种合金均能轻松完成加工。

二、电子束加工技术的研究进展电子束加工技术诞生于20世纪50年代，经过数十年的发展研究，目前已经取得了一系列重要的研究成果。

1.关键技术研究电子束加工技术需要高能量密度、高稳定性的电子束，这需要对电子加速器、透镜束等关键技术进行深入研究。

目前，电子束加工技术主要应用的加速器有线性加速器、驻波加速器和微波加速器等，而电子透镜束的研究则鉴于于电子束聚焦能力的提高和加工精度的进一步提高。

电子束加工论文

本科课程论文题目电子束加工的特点及其应用学院工程技术学院专业机械设计制造及其自动化年级2009学号222009322210154姓名肖先华指导教师邱兵成绩______________________2011年12月10日目录摘要： (3)1 概述： (3)1.1加工原理： (3)1.2电子束加工分类 (4)1.2.1电子束热加工 (4)1.2.2电子束化学加工 (4)2 电子束加工的主要应用 (5)2.1电子束焊接 (5)2.2电子束蚀刻和电子束钻孔 (5)2.3电子束熔炼 (6)2.4电子束“毛化”技术 (6)3 电子束加工的特点 (7)3.1电子束加工的主要优点 (7)4 电子束加工的现状及发展前景 (8)参考文献 (9)电子束加工的特点及其应用作者：肖先华指导教师：邱兵摘要：电子束加工简称EBM，是以高能电子束流作为热源，对工件或材料实施特殊的加工，是一种完全不同于传统机械加工的新工艺。

它们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。

随着科学技术的发展，电子束加工技术必将有一片广阔的应用前景。

关键词：电子束原理应用发展前景1概述：1.1加工原理电子束加工是由德国的科学家K.H.施泰格瓦尔特于1948年发明的。

其加工原理是在真空条件下,利用聚焦后能量密度极高的电子束,以极高的速度冲击到工件表面极小的面积上,在很短的时间(几分之一微秒)内,其能量的大部分转变为热能,使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温,从而引起材料的局部熔化和气化,被真空系统抽走的加工技术。

其加工原理如图1所示。

图1 电子束加工原理由于电子束和气体分子碰撞时会产生能量损失和散射，因此，加工一般在真空中进行。

电子束加工机由产生电子束的电子枪、控制电子束的聚束线圈、使电子束扫描的偏转线圈、电源系统和放置工件的真空室，以及观察装置等部分组成。

先进的电子束加工机采用计算机数控装置，对加工条件和加工操作进行控制，以实现高精度的自动化加工。

电子束加工原理

电子知识加工原理(2)电子束(6)1.电子束加工原理电子束加工（electron beam machining，EBM）是在真空条件下，利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦后能量密度为106～109w/cm2的极细束流高速冲击到工件表面上极小的部位，并在几分之一微秒时间内，其能量大部分转换为热能，使工件被冲击部位的材料达到几千摄氏度，致使材料局部熔化或蒸发，来去除材料。

1-发射阴极2-控制栅极3-加速阳极4-聚焦系统5-电子束斑点6-工件7-工作台2.电子束加工的特点高功率密度属非接触式加工，工件不受机械力作用，很少产生宏观应力变形，同时也不存在工具损耗问题。

电子束强度、位置、聚焦可精确控制，电子束通过磁场和电场可在工件上以任何速度行进，便于自动化控制。

环境污染少适合加工纯度要求很高的半导体材料及易氧化的金属材料。

3.电子束加工的应用1）电子束打孔不锈钢、耐热钢、宝石、陶瓷、玻璃等各种材料上的小孔、深孔。

最小加工直径可达0.003mm，最大深径比可达10。

像机翼吸附屏的孔、喷气发动机套上的冷却孔，此类孔数量巨大（高达数百万），且孔径微小，密度连续分布而孔径也有变化，非常适合电子束打孔，塑料和人造革上打许多微孔，令其象真皮一样具有透气性。

一些合成纤维为增加透气性和弹性，其喷丝头型孔往往制成异形孔截面，可利用脉冲电子束对图形扫描制出。

还可凭借偏转磁场的变化使电子束在工件内偏转方向加工出弯曲的孔，2）电子束切割可对各种材料进行切割，切口宽度仅有3～6μm。

利用电子束再配合工件的相对运动，可加工所需要的曲面3）光刻当使用低能量密度的电子束照射高分子材料时，将使材料分子链被切断或重新组合，引起分子量的变化即产生潜象，再将其浸入溶剂中将潜象显影出来。

把这种方法与其它处理工艺结合使用，可实现在金属掩膜或材料表面上刻槽。

IBIS模型是一种基于V/I曲线对I/O BUFFER快速准确建模方法，是反映芯片驱动和接收电气特性一种国际标准，它提供一种标准文件格式来记录如驱动源输出阻抗、上升/下降时间及输入负载等参数，非常适合做振荡和串扰等高频效应计算与仿真。