电子特种气体基础知识
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特种设备安全教育和基础知识培训(115页)
按工作介质不同可分为：以水为介质的蒸汽锅炉、热 水锅炉，以导热油为介质的有机热载体锅炉；
按结构形式可分为：立式锅炉、卧式锅炉；锅壳锅炉、 水管锅炉、组合锅炉，快装、组装和散装锅炉等。
按制造许可级别分为A、B、C、D四级（《锅炉压力容 器制造监督管理办法》总局22号令）：
A级锅炉 ――参数不限 B级锅炉――额定蒸汽压力P≤2.5MPa的蒸汽锅炉；额
安全附件、阀门仪表和附属设备：主要包括安全阀、压力 表、水位表、温度计、自动控制联琐保护装置；各类阀门、 测控仪表、给水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与 出渣设备等。
通常，也把锅炉分为本体（锅筒、水冷壁管、集箱、过热 器、再热器和省煤器、炉膛、炉墙、钢架等）和辅机（给 水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与出渣设备等） 两大部分。
锅炉产生蒸汽或热水需要以下三个过程： ◦ 燃料的燃烧过程：燃料在炉膛内燃烧放出热量的过程。 ◦ 传热过程：燃料燃烧后产生的热量，通过受热面传递给 锅内的水或蒸汽的过程。 ◦ 水的加热、汽化、分离和蒸汽的过热过程：锅内的水吸 收热量转换成具有一定温度和压力的热水或蒸汽以及蒸 汽进一步转变成过热蒸汽的过程。
定义：是指盛装气体或者液体，承载一定压力的
密闭设备。其范围规定为最高工作压力大于或者 等于0.1ＭＰａ（表压）的气体、液化气体和最高
工作温度高于或者等于标准沸点的液体、容积大 于或者等于30L且内直径大于或者等于150mm的
固定式容器和移动式容器；盛装公称工作压力大 于或者等于0.2ＭＰａ（表压），且压力与容积的 乘积大于或者等于1.0ＭＰａ.Ｌ的气体、液化气 体和标准沸点等于或者低于６０℃液体的气瓶； 氧舱等。
压力表 显示压力就是锅炉的工作状态，提示操 作人员采取措施。压力表应每半年校验一次。
按结构形式可分为：立式锅炉、卧式锅炉；锅壳锅炉、 水管锅炉、组合锅炉，快装、组装和散装锅炉等。
按制造许可级别分为A、B、C、D四级（《锅炉压力容 器制造监督管理办法》总局22号令）：
A级锅炉 ――参数不限 B级锅炉――额定蒸汽压力P≤2.5MPa的蒸汽锅炉；额
安全附件、阀门仪表和附属设备：主要包括安全阀、压力 表、水位表、温度计、自动控制联琐保护装置；各类阀门、 测控仪表、给水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与 出渣设备等。
通常，也把锅炉分为本体（锅筒、水冷壁管、集箱、过热 器、再热器和省煤器、炉膛、炉墙、钢架等）和辅机（给 水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与出渣设备等） 两大部分。
锅炉产生蒸汽或热水需要以下三个过程： ◦ 燃料的燃烧过程：燃料在炉膛内燃烧放出热量的过程。 ◦ 传热过程：燃料燃烧后产生的热量，通过受热面传递给 锅内的水或蒸汽的过程。 ◦ 水的加热、汽化、分离和蒸汽的过热过程：锅内的水吸 收热量转换成具有一定温度和压力的热水或蒸汽以及蒸 汽进一步转变成过热蒸汽的过程。
定义：是指盛装气体或者液体，承载一定压力的
密闭设备。其范围规定为最高工作压力大于或者 等于0.1ＭＰａ（表压）的气体、液化气体和最高
工作温度高于或者等于标准沸点的液体、容积大 于或者等于30L且内直径大于或者等于150mm的
固定式容器和移动式容器；盛装公称工作压力大 于或者等于0.2ＭＰａ（表压），且压力与容积的 乘积大于或者等于1.0ＭＰａ.Ｌ的气体、液化气 体和标准沸点等于或者低于６０℃液体的气瓶； 氧舱等。
压力表 显示压力就是锅炉的工作状态，提示操 作人员采取措施。压力表应每半年校验一次。
特种设备安全基础知识
特殊设备安全基础知识一、特殊设备（一）特殊设备的种类和分类，特殊设备安全性工作原理及特点，特殊设备的安全强度概念及承压设备用材料、焊接安全特点，承压设备承载介质安全特点；特殊设备种类和分类：有锅炉、压力容器(含气瓶)、压力管道、电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施等共七类。
其中锅炉、压力容器(含气瓶)、压力管道属于承压类，电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施属于机电类。
特殊设备安全性工作原理及特点：锅炉安全工作特性：(1)爆炸危险。
(2)容易损坏。
(3)使用的普遍性。
(4)连续运行。
压力容器的安全工作特性：和锅炉有相似之处，例如，由于高温和高压，存在爆炸风险和脆弱性。
此外，还可能由于介质易燃、有毒或腐蚀性，当发生泄漏时，可引发火灾、大面积中毒等严重事故。
电梯的安全工作特性：电梯可能存在的危险通常是：人员被挤压、剪切、撞击和发生坠落；人员被电击、轿厢超过极限行程并发生碰撞；轿厢超速或因断绳造成坠落；由于材料失效、强度丧失而造成结构破坏等。
起重机械的安全工作特性：起重机械包括轻型和小型起重设备、起重机、升降机三类，其工作特点可概括为以下7点：(1)起重机械通常具有庞大的结构和相对复杂的机构，能完成一个起升运动、一个或几个水平运动。
(2)有很多种重物需要吊起，载荷是变化的。
(3)大多数起重机械，需要在大范围内操作，活动空间较大。
(4)有些起重机械，需要直接载运人员在导轨、平台或钢丝绳上的提升运动(如电梯、升降平台等)，其可靠性直接影响人身安全。
(5)暴露的、活动的零部件较多，经常与起重作业人员直接接触(如吊钩、钢丝绳等)，潜在许多偶发的危险因素。
(6)复杂的工作环境。
(7)在手术中经常需要许多人合作，共同进行一个操作。
上述许多风险因素的存在，决定了起重伤害事故较多。
大型娱乐设施和客运索道：由于载人且运动范围较大，任何由电气或机械故障引起的运动状态变化都可能导致人员伤亡。
承压设备用材：钢材，按化学成分可分为碳钢和合金钢，按金相组织分可分成珠光体钢、贝氏体钢、奥氏体钢、铁素体钢。
机电类特种设备基础知识
04
节能环保发展趋势
01
节能技术：提高能源利用效率，降低能耗
02
环保技术：减少污染物排放，降低环境污染
03
绿色制造：采用环保材料，减少生产过程中的污染
04
智能控制：实现设备的智能控制，提高能源利用效率
05
循环经济：实现资源的循环利用，减少资源浪费
06
清洁能源：推广使用清洁能源，减少化石能源的消耗
安全可靠性发展趋势
智能化发展趋势
智能化控制：通过传感器、控制器等设备实现设备的自动控制和调节
01
预测性维护：利用大数据和人智能技术对设备进行预测性维护，降低设备的故障率和维修成本
03
远程监控与诊断：通过网络技术实现设备的远程监控和诊断，提高设备的运行效率和安全性
02
自动化与无人化：通过机器人技术和自动化技术实现设备的自动化和无人化操作，提高生产效率和安全性
04
特种设备的分类
锅炉：用于生产蒸汽或热水的设备，包括蒸汽锅炉、热水锅炉等。
压力容器：用于储存、运输、使用气体或液体的设备，包括储气罐、储油罐等。
压力管道：用于输送气体或液体的设备，包括输气管道、输油管道等。
起重机械：用于起重、搬运、装卸的设备，包括起重机、电动葫芦等。
客运索道：用于运送乘客的设备，包括缆车、索道等。
03
定期对设备进行维护保养，确保设备安全可靠
05
安装过程中，应严格按照安装说明书进行，确保安装质量
02
使用过程中，应按照操作规程进行操作，确保安全使用
04
发现设备异常情况，应立即停止使用，并通知专业人员进行检查和维修
06
维护保养安全
定期检查：定期对特种设备进行检查，确保设备安全运行
节能环保发展趋势
01
节能技术：提高能源利用效率，降低能耗
02
环保技术：减少污染物排放，降低环境污染
03
绿色制造：采用环保材料，减少生产过程中的污染
04
智能控制：实现设备的智能控制，提高能源利用效率
05
循环经济：实现资源的循环利用，减少资源浪费
06
清洁能源：推广使用清洁能源，减少化石能源的消耗
安全可靠性发展趋势
智能化发展趋势
智能化控制：通过传感器、控制器等设备实现设备的自动控制和调节
01
预测性维护：利用大数据和人智能技术对设备进行预测性维护，降低设备的故障率和维修成本
03
远程监控与诊断：通过网络技术实现设备的远程监控和诊断，提高设备的运行效率和安全性
02
自动化与无人化：通过机器人技术和自动化技术实现设备的自动化和无人化操作，提高生产效率和安全性
04
特种设备的分类
锅炉：用于生产蒸汽或热水的设备，包括蒸汽锅炉、热水锅炉等。
压力容器：用于储存、运输、使用气体或液体的设备，包括储气罐、储油罐等。
压力管道：用于输送气体或液体的设备，包括输气管道、输油管道等。
起重机械：用于起重、搬运、装卸的设备，包括起重机、电动葫芦等。
客运索道：用于运送乘客的设备，包括缆车、索道等。
03
定期对设备进行维护保养，确保设备安全可靠
05
安装过程中，应严格按照安装说明书进行，确保安装质量
02
使用过程中，应按照操作规程进行操作，确保安全使用
04
发现设备异常情况，应立即停止使用，并通知专业人员进行检查和维修
06
维护保养安全
定期检查：定期对特种设备进行检查，确保设备安全运行
气体设备的基础知识
25
34
1.65 2.8
3
3.4
32
42.7 1.65 2.8
3
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40
48.6 1.65 2.8
3
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60.5 1.65 2.8 3.5 3.9
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小流量），低压气动KITZ VLD8C（中小流量），低压手动KITZ VLD4MS（小流量），低压气动KITZ VLD4C（小流量）。 ➢ VCR Fitting：对于gland，Mini Elbow ，Mini Tee一般采用TK生产的SS316 EP级。Hamlet生产的 VIM+VAR EP级。VCR Gasket现在全部采用NI材质的EP级。 ➢ 调压阀：在GC中一般选择AP1410TS，VMB中选择AZ1010S。
阀门结露 流量开关
Page No. 5
BSGS
可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置
这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到 控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生
感温探测器
火焰侦测器 感烟探测器
Page No. 6
BSGS
可选项简述 5、管线伴热
Page No. 21
Swagelok，let-lok，卡套
• 卡套接口是Swagelok公司发明的一种连接方式，因此又称为Swagelok连接方 式，我们也说let-lok连接方式
(汇总)电子特气基础知识.ppt
9600 11
1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3ห้องสมุดไป่ตู้
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
➢废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
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LD50
mg/kg
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
控制方法：
➢ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ➢ 对氟气应用系统进行金属钝化 ➢ 远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓压力 ✓毒性 ✓腐蚀性 ✓自燃性 ✓燃烧性 ✓氧化性 ✓窒息性 ✓深冷性
3ห้องสมุดไป่ตู้
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
➢废物处理
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓腐蚀性气体
对人体组织器官的破坏：
➢皮肤 ➢眼睛 ➢呼吸道 ➢组织器官
腐蚀性气体中毒的途径：
➢呼吸 ➢皮肤接触 ➢消化系统
分类：
➢酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ➢碱性 : NH3
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA
PPM
高压试验-第二章 电气绝缘基础知识
电弧放电
放电电流密度大，温度高，具有亮而细长放电 弧道，弧道电阻小，似短路 放电回路阻抗大，放电时断时续
500千伏线路进行短路试验
火花放电
20
外电路阻抗大，压降大，间隙多次被击穿
电气绝缘基础知识
第一节 气体介质的绝缘特性
八、气体放电的不同形式
极不均匀电场环境中
电晕放电
空气间隙电场极不均匀，在电极附近强电场处 出现的局部空气游离发光现象，电流小，整个 空气间隙并未击穿，仍能耐受电压作用 电晕放电后压力增大，产生刷状放电
26
电气绝缘基础知识
第二节 液体介质的绝缘特性 电气设备对液体介质的要求 电气性能好：如绝缘强度高、电阻率 高、介质损耗及介电常数小（电容器则要 求介电常数高）； 散热及流动性能好：即粘度低、导热 好、物理及化学性质稳定、不易燃、无毒 等。
27
电气绝缘基础知识
第二节 液体介质的绝缘特性
一、液体绝缘介质的种类
矿物油
29
电气绝缘基础知识
第二节 液体介质的绝缘特性
一、液体绝缘介质的种类
有些纯净的植物油也具有良好的电气绝缘性能。 例如蓖麻油，由于其绝缘性能好，介电系数 ε 较 高，因此也可用作电力电容器的浸渍剂，此外， 如广泛使用的绝缘漆，也是由植物液体加工制成， 在变压器等电气设备中普遍使用。 由人工合成的液体绝缘材料。由于矿物绝缘油是 多种碳氢化合物的混合物，难以除净降低绝缘性 能的成分，且制取工艺复杂，易燃烧，耐热性低， 因而人们研究、开发了多种性能优良的合成油。 如有机硅油和十二烷基苯等。
流注理论：
前部电场加强Leabharlann 碰撞游离 反击发 复合电子崩
中部电场减弱 尾部电场加强
两侧
崩尾 产生光子
气体充装安全技术第一至第三
低压液化气体 临界温度大于70℃的气体。如氨、 液化石油气、氯等。（丙烷为92.67 ℃）
溶解气体 在压力下溶解于瓶内溶剂中的气体。如 溶解于瓶内丙酮中的乙炔。（我国只有一种）
吸附气体 吸附于气瓶内吸附剂中的气体。这是一种 以固态形式替代压缩状态或深泠液化状态形式贮 运的气体，目前只有氢气一种。
瓶装气体 以压缩、液化、溶解、吸附形式装瓶贮运 的气体。
一、燃烧性与爆炸性 ㈠燃烧、爆炸的基本概念 1、燃烧、爆炸的共同点
燃烧和爆炸本质上都是可燃物质的氧化反应。
可燃物质、助燃物、点火源三个基本条件互相 作用，燃烧才能发生。火源是指一定温度和热量 的能源。三个基本条件又称燃烧三要素。
2、燃烧与爆炸的异同点
⑴燃烧与爆炸的区别在于氧化速度的不同。
⑵决定氧化速度的因素是在点火前可燃物质与助燃 剂的混合程度。
㈡临界压力
气体在临界温度下，使其液化所需最小压力， 称为临界压力。通常用符号“PC”来表示。 ㈢临界密度
气体在临界温度和临界压力下的密度，称为 临界密度。通常有符号“ρc”来表示。因为不同 气体的临界温度和临界压力各不相同，所以它们
近似的地反映实际气体的性质。
㈣理想气体
严格遵从玻-马定律、查理定律和盖·吕萨克定律 的气体，称为理想气体。
1000Pa=103Pa=1KPa 1000000Pa=106Pa=1MPa（兆帕）=1N/mm2
㈢常见的几种压力单位及其换算
目前，常见的压力单位有：
⑴标准大气压。标准大气压又称物理大气压，单位 符号为“atm”。物理学上把纬度45°的海平面上 大气压1.033kgf/m2或760毫米汞柱（mmHg）称为1 个标准大气压。它与Pa的关系是： 1atm=0.101325MPa
溶解气体 在压力下溶解于瓶内溶剂中的气体。如 溶解于瓶内丙酮中的乙炔。（我国只有一种）
吸附气体 吸附于气瓶内吸附剂中的气体。这是一种 以固态形式替代压缩状态或深泠液化状态形式贮 运的气体，目前只有氢气一种。
瓶装气体 以压缩、液化、溶解、吸附形式装瓶贮运 的气体。
一、燃烧性与爆炸性 ㈠燃烧、爆炸的基本概念 1、燃烧、爆炸的共同点
燃烧和爆炸本质上都是可燃物质的氧化反应。
可燃物质、助燃物、点火源三个基本条件互相 作用，燃烧才能发生。火源是指一定温度和热量 的能源。三个基本条件又称燃烧三要素。
2、燃烧与爆炸的异同点
⑴燃烧与爆炸的区别在于氧化速度的不同。
⑵决定氧化速度的因素是在点火前可燃物质与助燃 剂的混合程度。
㈡临界压力
气体在临界温度下，使其液化所需最小压力， 称为临界压力。通常用符号“PC”来表示。 ㈢临界密度
气体在临界温度和临界压力下的密度，称为 临界密度。通常有符号“ρc”来表示。因为不同 气体的临界温度和临界压力各不相同，所以它们
近似的地反映实际气体的性质。
㈣理想气体
严格遵从玻-马定律、查理定律和盖·吕萨克定律 的气体，称为理想气体。
1000Pa=103Pa=1KPa 1000000Pa=106Pa=1MPa（兆帕）=1N/mm2
㈢常见的几种压力单位及其换算
目前，常见的压力单位有：
⑴标准大气压。标准大气压又称物理大气压，单位 符号为“atm”。物理学上把纬度45°的海平面上 大气压1.033kgf/m2或760毫米汞柱（mmHg）称为1 个标准大气压。它与Pa的关系是： 1atm=0.101325MPa
机电类特种设备基础知识
定期检验与检查
特种设备应按照国家规定进行定 期检验，确保其安全性能符合标 准。同时，使用单位应定期对设 备进行检查，发现问题及时处理 。
操作人员培训
操作特种设备的人员必须经过专 业培训，掌握设备的结构、性能 、操作规程等知识，并取得相应 的操作资格证书。
事故原因分析与预防措施
01
机械故障与预防措施
压力容器维护保养
压力容器的安全使用与维护保养
01
定期对容器进行检查、清洗、的外观、附件、紧固
件等。
03
对发现的问题及时采取措施进行维修或更换。
压力管道的安全使用与维护保养
压力管道使用前的准备 检查管道是否符合设计要求，管道的支架、支撑和固定是否牢固可靠。 检查管道是否有损伤、变形、泄漏等现象。
环境因素与预防措施
环境因素也可能导致特种设备事故的发生。为预防环境因 素，使用单位应加强对设备的维护保养，确保设备的适应 性和稳定性。同时，建立完善的环境监测系统，及时发现 和处理环境问题。
事故案例分析
案例一
某钢铁企业一台高压蒸汽管道发生爆炸 事故，造成多人伤亡和重大财产损失。 经调查发现，该设备存在严重安全隐患 ，未及时进行检查和维护保养是导致事 故发生的主要原因之一。
工作原理
场（厂）内机动车辆主要通过发动机提供动力，通过传动系统将动力传递到车轮，从而实现车辆的行驶和转向。
04
机电类特种设备的安全使用与 维护保养
压力容器的安全使用与维护保养
01
压力容器使用前的准备
02
认真检查容器是否符合使用条件，如容器是否清洁 、容器和附件是否完好等。
03
按照容器上标明的压力等级和介质使用，不得超压 、超温使用。
在生产过程中，特种设备能够承担各种重型、精密、危险 性作业，提高生产效率和质量，对于企业来说是不可或缺 的生产工具。
特种设备安全管理人员理论知识(基础知识)
特种设备安全管理人员理论知识一、 基础知识da1 基础知识 （10分）da1.1 各类特种设备定义（1）锅炉的定义及结构锅炉，是指利用各种燃料、电或者其他能源，将所盛装的液体加热到一定的参数，并通过对外输出介质的形式提供热能的设备，其范围规定为：a)设计正常水位容积大于或者等于30L，且额定蒸汽压力大于或者等于0.1MPa（表压）的承压蒸汽锅炉；b)出口水压大于或者等于0.1MPa（表压），且额定功率大于或者等于0.1MW的承压热水锅炉；c)额定功率大于或者等于0.1MW的有机热载体锅炉。
∩ 设计正常水位容积 额定蒸汽压力/出口水压力额定功率承压蒸汽锅炉 ≥30L ≥0.1MPa（g）承压热水锅炉 ≥0.1MPa（g） ≥0.1MW有机热载体锅炉 ≥0.1MW锅炉的结构形式：水管锅炉、锅壳式锅炉（火管锅炉√，火管式锅炉×）锅炉的结构形式：立式锅炉、卧式锅炉锅壳式锅炉的基本结构单元：锅壳（锅筒）、炉胆、火管（烟管）等。
水管锅炉的基本结构单元：汽包（锅筒）、集箱、受热面管、钢架等。
单锅筒锅炉的基本组成部分：锅筒、集箱、水冷壁、过热器、再热器、省煤器、空气预热器、锅炉范围内的管道、钢架、燃烧系统、各类附件。
热负荷对蒸汽锅炉而言叫蒸发量（t/h），对热水锅炉和有机热载体锅炉而言叫热功率（MW）。
工作压力指锅炉、锅炉受压元件出口处的运行压力。
热效率指锅炉所产生的热量与燃料所储存的热量的比值。
（2）压力容器（含气瓶）的定义及结构组成压力容器，是指盛装气体或者液体，承载一定压力的密闭设备，其范围规定为：a)最高工作压力大于或者等于0.1MPa（表压）的气体、液化气体和最高工作温度高于或者等于标准沸点的液体、容积大于或者等于30L且内直径（非圆形截面指截面内边界最大几何尺寸）大于或者等于150mm的固定式容器和移动式容器；b)盛装公称工作压力大于或者等于0.2MPa（表压），且压力与容积的乘积大于或者等于1.0MPa•L的气体、液化气体和标准沸点等于或者低于60℃液体的气瓶；c)氧舱。
电子特气基础知识
电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识 1. 电子特种气体分类：
✓ 可燃气体 • SiH4;CH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
✓ 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
✓ 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4;NH3; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
➢ 可能情况下用惰性气体稀释 ➢ 控制库存 ➢ 采取流量控制并采用充分的通风 ➢ 系统设计防止回流
8
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 燃烧气体：
DOT（美国运输部） 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或
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LD50
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
4. 化学危害：
毒性气体：
中毒形式： •急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体立即造成伤害． 如： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV (Threshold Limit Value) 人体可长时间承受的化学物质在空气中的浓度 STEL( Short Term Exposure Limit ):人体短时间内所能接触化学物的最大浓度
第一章：电子特种气体基础知识 1. 电子特种气体分类：
✓ 可燃气体 • SiH4;CH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
✓ 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
✓ 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4;NH3; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
➢ 可能情况下用惰性气体稀释 ➢ 控制库存 ➢ 采取流量控制并采用充分的通风 ➢ 系统设计防止回流
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
✓ 燃烧气体：
DOT（美国运输部） 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
中毒方式
➢呼吸 ➢皮肤吸收 ➢消化系统
控制中毒的方法
➢控制库存 ➢充分通风
➢正常通风（开放式，自然通风） ➢Emergency（风机或排风扇强制通风） ➢监测系统 ➢环境监测器 ➢医疗检测 ➢个人防护用具
4. 化学危害：
毒性气体：
中毒形式： •急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体立即造成伤害． 如： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV (Threshold Limit Value) 人体可长时间承受的化学物质在空气中的浓度 STEL( Short Term Exposure Limit ):人体短时间内所能接触化学物的最大浓度
特种设备安全基础知识培训
分为承压蒸汽锅炉（1100），承压热水锅炉（1200）和 有机热载体锅炉（1300）三类，其中承压蒸汽锅炉又分 为电站锅炉（1110）、工业锅炉（1200）和生活锅炉 （1130）三个品种。有机热载体锅炉又分为有机热载体 气相炉（1310）和有机热载体液相炉（1320）两个品种。
1.3.1.5 锅炉的主要安全附件
器、再热器和省煤器、炉膛、炉墙、钢架等）和辅机（给 水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与出渣设备等） 两大部分。
1.3.1.2 锅炉的工作过程
• 锅炉产生蒸汽或热水需要以下三个过程：
– 燃料的燃烧过程：燃料在炉膛内燃烧放出热量的过程。 – 传热过程：燃料燃烧后产生的热量，通过受热面传递
给锅内的水或蒸汽的过程。 – 水的加热、汽化、分离和蒸汽的过热过程：锅内的水
• 上述事故引起了国务院高层的重视，下发了若干文件，提
出“必须在锅炉压力容器的设计、制造、安装、检验、操 作、维修、改造等环节上，建立健全规章制度并严格执行” 的要求。1982年，国务院颁布了《锅炉压力容器安全监察 暂行条例》，扩大监察机构编制，建立了“监察行政机构” 加“检验事业单位”双轨制的安全监察体制，在加强安全 监察行政机构的同时建立一支专门从事检验工作的技术队 伍。在暂行条例颁布后，当时的劳动部又逐步将压力管道、 电梯、起重机械等设备通过颁布部门规章等陆续纳入到了 安全监察的范围，初步确定了我国特种设备安全监察体制， 特种设备安全监察开始走向正规。1998年政府机构改革， 将锅炉、压力容器、压力管道、电梯、起重机械等设备的 安全监察职能由原劳动部划转原国家质量技术监督局， 2001年原国家质量技术监督局与原国家进出口商品检验局 合并成立国家质量监督检验检疫总局，2004年2月锅炉压 力容器安全监察局更名为特种设备安全监察局。2003年6 月1日《特种设备安全监察条例》正式实施，我国特种设 备安全监察工作从此迈入了一个新的历史阶段。
1.3.1.5 锅炉的主要安全附件
器、再热器和省煤器、炉膛、炉墙、钢架等）和辅机（给 水设备、送风机、引风机、除尘器、输煤与出渣设备等） 两大部分。
1.3.1.2 锅炉的工作过程
• 锅炉产生蒸汽或热水需要以下三个过程：
– 燃料的燃烧过程：燃料在炉膛内燃烧放出热量的过程。 – 传热过程：燃料燃烧后产生的热量，通过受热面传递
给锅内的水或蒸汽的过程。 – 水的加热、汽化、分离和蒸汽的过热过程：锅内的水
• 上述事故引起了国务院高层的重视，下发了若干文件，提
出“必须在锅炉压力容器的设计、制造、安装、检验、操 作、维修、改造等环节上，建立健全规章制度并严格执行” 的要求。1982年，国务院颁布了《锅炉压力容器安全监察 暂行条例》，扩大监察机构编制，建立了“监察行政机构” 加“检验事业单位”双轨制的安全监察体制，在加强安全 监察行政机构的同时建立一支专门从事检验工作的技术队 伍。在暂行条例颁布后，当时的劳动部又逐步将压力管道、 电梯、起重机械等设备通过颁布部门规章等陆续纳入到了 安全监察的范围，初步确定了我国特种设备安全监察体制， 特种设备安全监察开始走向正规。1998年政府机构改革， 将锅炉、压力容器、压力管道、电梯、起重机械等设备的 安全监察职能由原劳动部划转原国家质量技术监督局， 2001年原国家质量技术监督局与原国家进出口商品检验局 合并成立国家质量监督检验检疫总局，2004年2月锅炉压 力容器安全监察局更名为特种设备安全监察局。2003年6 月1日《特种设备安全监察条例》正式实施，我国特种设 备安全监察工作从此迈入了一个新的历史阶段。
电子特气基础知识
按物理状态分类
电子特气可分为气态、液态和固态。 气态电子特气主要是指常温常压下呈 气态的气体，如氧气、氮气等；液态 电子特气主要是指低温液化或加压液 化后存储的气体，如液氧、液氮等； 固态电子特气主要是指加温后呈气态 的气体，如二氧化碳等。不同物理状 态的电子特气具有不同的储存和使用 要求。
02 电子特气的应用领域
电子特气的储存和运输存在一定的安全隐患，高纯度电子特气对储存和运输的条件要求较高， 需要严格控制温度、湿度、压力等条件。解决方案：加强储存和运输环节的安全管理，制定 严格的操作规程和安全管理制度，确保电子特气的安全储存和运输。
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酸碱性质
02 部分电子特气呈酸性或碱性，如氯化氢和氨气等。
氧化还原性质
03
一些电子特气具有氧化性或还原性，如氧气和氯气等
。
电子特气的稳定性与纯度
稳定性
电子特气在储存和使用过程中应保持 稳定，避免与空气中的氧气、水蒸气 等物质发生反应。
纯度要求
电子特气需要高纯度，以避免杂质对 电子器件性能的影响。纯度通常以9N、 99.9999999%等表示。
05 电子特气的安全与环保
电子特气的安全特性
低毒性
01
电子特气中的大部分气体都是低毒或无毒的，对操作人员的健
康影响较小。
稳定性
02
电子特气在常温常压下不易与其他物质发生化学反应，具有较
好的稳定性。
惰性
03
部分电子特气如氩气、氦气等具有很强的惰性，不易与其他物
质发生化学反应。
电子特气的储存与运输安全
电子特气基础知识
目录
• 电子特气的定义与分类 • 电子特气的应用领域 • 电子特气的物理化学性质 • 电子特气的生产工艺与技术 • 电子特气的安全与环保 • 电子特气的发展趋势与挑战
特殊气体设备的基础知识
日制不锈钢管(JIS G3459)
称呼 外径(mm)
壁厚(mm)
日制（A） OD
5S 10S 20S 40S
6
10.5
1
1.2 1.5 1.7
8
13.8
1.2 1.65
2
2.2
10
17.3
1.2 1.65
2
2.3
15
21.7 1.65 2.1 2.5 2.8
20
27.2 1.65 2.1 2.5 2.9
可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置 这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到控制器，关断使用设 备，避免更多的危害产生
感温探测器
感烟探测器
火焰侦测器
BSGS
可选项简述
5、管线伴热 有些气体气源压力很低，需要通过加热管 道来增加流量
• 卡套式管接头是一种靠机械紧箍力进行实现密封连接的管接头。 • 它由以下几个部分组成: • 1.主体（Body） • 2.封盖（Nut） • 3.后卡环（Back ferrule） • 4.前卡环（Front ferrule）
NPT、管螺纹
• NPT 是 National (American) Pipe Thread 的缩写，属于 美国标准的 60 度锥管 螺纹，是一种密封性 螺纹
气体性质 可燃 助燃 毒性 腐蚀
·
·
GR
• GR：气瓶架 GR的分类比较多，一般分有 ： 1、用于BSGS/GC的 吹扫的 和保压 常用气体高纯氮气 VCR连接，高压端工艺管径 1/4"，低压段工艺管径1/4" 相同双瓶工艺气体高低压配置 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤
电子特气基础知识_2022年学习材料
电子特气基础知识电子特气基础知识
第一章：电子特种气体基础知识-■1.电子特种气体分类：-可燃气体-SiH4;CH4;PHa;B2He;As a;GeH4;H2;CH2F2;SiH2Cl2;SiHCl3.......-√氧化性气体-O2;NF3;N O;Cl2;CIF3;NO.....-√腐蚀性气体-HCl;HBr;BCl3;BF3;SiCl4;NH3: F6;Cl2;SiHCl3;SiH2Cl2.....-√惰性气体-N2;He;Ar;Kr;Xe;CF4;C F6;C3F8;CHF3......-2.电子特种气体的危害-般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛 或运输，每种气体-都有一种或两种以上的危害性.
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-可燃气体的燃烧范围-Gas-SiH4-NH32-C2H2-CH4-ห้องสมุดไป่ตู้H3-B2H6-GeH4-Flammable Range-1.496%-15-27 -4-75%-2.5-82%-5-15%1.6~98%-0.8-98%-N/A-10
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-氧化性气体：-●定义：-能够加速燃烧或使可燃物 燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性-●例如：-Oxygen 02-Fluorine F2-Chlorin CL2->Nitrous OxideUnstableNOX-Nitrogen Oxide NO-Chlo ine Trifluoride CLF3->Nitrogen Trifluoride NF3-●控制方法： >尽量洁净无油，油脂，或有机物->对氟气应用系统进行金属钝化->远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧 11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-特种气体毒性比较表-TLV-TWA-STELEL-IDLH-LC50-LD50-Gas-PPM-PPM/4 hour-mg/kg-CF4-N/A-NH -20-35-300-350-SiH4-9600-PH3-0.3-11-GeH4-0.2-1380-125 -B2H6-0.1-15-29-AsH3-0.05-BCH33-7
第一章：电子特种气体基础知识-■1.电子特种气体分类：-可燃气体-SiH4;CH4;PHa;B2He;As a;GeH4;H2;CH2F2;SiH2Cl2;SiHCl3.......-√氧化性气体-O2;NF3;N O;Cl2;CIF3;NO.....-√腐蚀性气体-HCl;HBr;BCl3;BF3;SiCl4;NH3: F6;Cl2;SiHCl3;SiH2Cl2.....-√惰性气体-N2;He;Ar;Kr;Xe;CF4;C F6;C3F8;CHF3......-2.电子特种气体的危害-般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛 或运输，每种气体-都有一种或两种以上的危害性.
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-可燃气体的燃烧范围-Gas-SiH4-NH32-C2H2-CH4-ห้องสมุดไป่ตู้H3-B2H6-GeH4-Flammable Range-1.496%-15-27 -4-75%-2.5-82%-5-15%1.6~98%-0.8-98%-N/A-10
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-氧化性气体：-●定义：-能够加速燃烧或使可燃物 燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性-●例如：-Oxygen 02-Fluorine F2-Chlorin CL2->Nitrous OxideUnstableNOX-Nitrogen Oxide NO-Chlo ine Trifluoride CLF3->Nitrogen Trifluoride NF3-●控制方法： >尽量洁净无油，油脂，或有机物->对氟气应用系统进行金属钝化->远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧 11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge-特种气体毒性比较表-TLV-TWA-STELEL-IDLH-LC50-LD50-Gas-PPM-PPM/4 hour-mg/kg-CF4-N/A-NH -20-35-300-350-SiH4-9600-PH3-0.3-11-GeH4-0.2-1380-125 -B2H6-0.1-15-29-AsH3-0.05-BCH33-7
特种设备安全培训讲义丨48页
二、特种设备安全管理
②、特种设备出现故障或者发生异常情况，未对其进行全面检查、消除事故隐患，继续使用的； ③、特种设备存在严重事故隐患，无改造、修理价值，或者达到安全技术规范规定的其他报废条件，未 依法履行报废义务，并办理使用登记证书注销手续的。 3、人员管理 I、第八十六条：违反本法规定，特种设备生产、经营、使用单位有下列情形之一的，责令限期改正；逾 期未改正的，责令停止使用有关特种设备或者停产停业整顿，处一万元以上五万元以下罚款： ①、未配备具有相应资格的特种设备安全管理人员、检测人员和作业人员的； ②、使用未取得相应资格的人员从事特种设备安全管理、检测和作业的； ③、未对特种设备安全管理人员、检测人员和作业人员进行安全教育和技能培训的。 II、第九十二条：违反本法规定，特种设备安全管理人员、检测人员和作业人员不履行岗位职责，违反 操作规程和有关安全规章制度，造成事故的，吊销相关人员的资格。
（二）安装、改造、修理（由厂家或有资质的单位进行） 1、告知：施工前将拟进行的特种设备安装、改造、修理情况书面告知直辖市或设区的市
质监局。 2、检验：安装、改造完毕后报质监局特检所检测。 3、移交：验收合格后30日内将相关技术资料和文件由安装改造单位移交至使用单位。
二、特种设备安全管理
（三）租赁 1、三种不能租的设备
2、登记 （1）设备在使用前或投入使用30日内向市质监局办理使用登记，质监局自受理之日起30日 内作出决定，不予许可的，进行书面告知 （2）取得使用登记证书的，登记标志须设置于设备的显著位置 3、建档 建立安全技术档案（一机一档），其内容如下： （1）设备的设计文件、产品质量合格证明、安装及使用维护保养说明、监督检验证明； （2）设备的定期检验和定期自行检验记录； （3）设备日常使用状况记录； （4）设备及附属仪表的维护保养记录； （5）设备的运行故障和事故记录；
半导体气体特性及系统介绍
半导体气体特性及系统介绍1.密度：半导体气体的密度通常介于气体和固体之间。
由于半导体气体的分子较大，分子间的距离比较小，因此密度较高。
2.稳定性：半导体气体通常是在常温和常压下稳定存在的，不易挥发或分解。
这使得其在实验室和工业生产中易于操作。
3.电子结构：半导体气体的电子结构决定了它的导电性能。
半导体气体具有禁带宽度，当外加电场或光照作用于半导体气体时，电子可以被激发到导带中，从而导电。
这种特性使半导体气体成为电子器件和光电器件的重要组成部分。
4.光学性质：半导体气体对光的吸收和发射具有特殊的性质。
半导体气体可以对特定波长的光进行选择性吸收和发射，这种特性使其在激光器和光通信器件等领域有广泛应用。
5.化学性质：半导体气体在化学反应中具有较高的活性和选择性。
半导体气体通常可以通过与其他物质反应生成化合物，用于制备新材料或催化剂。
1.气体源：提供半导体气体的容器或气体发生器。
半导体气体可以通过化学反应或其他方法制备得到。
2.气体净化系统：用于除去半导体气体中的杂质和污染物。
由于半导体气体在制备过程中有严格的纯度要求，因此气体净化系统是必不可少的。
3.气体输送系统：将净化后的半导体气体输送到使用点。
气体输送系统通常包括气体管道、阀门、流量控制器等设备，以确保气体的稳定输送。
4.气体处理系统：对半导体气体进行处理，如降温、升温、压缩等操作。
这些处理操作可以使半导体气体达到所需的工艺条件。
5.气体检测系统：用于监测半导体气体的纯度和流量。
气体检测系统通常包括气体纯度分析仪、气体流量计等设备，以确保半导体气体达到要求。
半导体气体系统在半导体制造、光电器件制造、化学合成等领域有广泛的应用。
它们不仅能够提供所需的半导体气体，还可以控制气体纯度和流量，确保所需工艺的顺利进行。
由于半导体气体的特殊性质，半导体气体系统在高科技产业中起着重要的作用。
气体充装基础知识(气瓶)
澳洲礁层天然气公司海上天然气钻井平台
⒊可燃冰
• 可 燃 冰 又 称 天 然 气 水 合 物 （ Natural Gas Hydrate ， 简 称 Gas Hydrate ），或笼形包合物（ Clathrate ），它是在一定条件（合适的 温度、压力、气体饱和度、水的盐度、 pH 值等）下由水和天然气组成的 类冰的、非化学计量的、笼形结晶化合物，其遇火即可燃烧。它可用 M·nH2O来表示，M代表水合物中的气体分子，n为水合指数（也就是水 分子数）。组成天然气的成分如 CH4、C2H6、C3H8、C4H10等同系物以 及CO2、N2、H2S 等可形成单种或多种天然气水合物。形成天然气水合 物的主要气体为甲烷，对甲烷分子含量超过 99 ％的天然气水合物通常称 为甲烷水合物（ Methane Hydrate ）。
⒌天然气的用途
• 天然气经过开采、收集、分
离、净化、加压或液化后供给
城镇作为燃气气源，目前天然
气的利用已经进入各国经济的
许多领域，主要用于化工生产、
发电、居民燃气、商业供气、
市区供热以及汽车燃料等。天 然气资源丰富，在环保上具有
天然气发电机组以家用管道天然气为燃 料，燃料成本只有汽油发电机组的三分
第三节 工业气体的发展
• 由于工业气体的主要应用产业如钢铁、半导体、化工等均 为目前我国发展迅速的支柱性产业，世界上新增的气体需 求量中一半来自于中国，中国被视为世界上工业气体行业 最活跃的市场之一，并预计中国对于工业气体的需求量将 持续以两位数增长。其中需用氧、氮、氢的制造业是其主 要的增长点，主要消耗领域如石化、金属、玻璃、制造和 电子工业。在我国，这还是一个新兴产业，正处于爆发前 期。目前我国超过80%的用气企业自己供气。专业化、社 会化、集约化是我国工业气体行业的必然发展方向，由专 业的气体供应商提供第三方供气服务，将是我国工业气体 行业的发展趋势。虽然目前中国的市场规模仅为376亿元 人民币，但增长率高达20%，预计到2010年中国工业气体 市场规模将达到605亿元人民币。
氦气基础知识
沸点(101.325kPa)： -268.94℃
液体密度(4.20K，100.312kPa)： 125.2kg/m3
气体密度(0℃，101.325kPa)： -0.1785 kg/m3
相对密度(气体，0℃，101.325kPa)：0.138
比容(21.1℃，101.325kPa)：6.0304 m3/kg
氦气 He
1.别名·英文名
Helium．
2.用途
用于超低温研究、气相分析、焊接、探漏、化学气相淀积、晶体生长、等离子干刻、特种混合
气等，用作标准气、平衡气、医疗气、气球电子管潜水服等的充气。
3.制法
①从天然气中分离。
②从空气中分离。
⑧从某些放射性矿物中提取。
4.理272.1℃
气液容积比(15℃，100kPa)： 748 L/L
临界温度： -268.0℃
临界压力： 229 kPa
临界密度： 69.3 kg/m3
压缩系数：
温度 ℃
压缩系数 100kPa
1000kPa
1 0000kPa
15
1.0005
1.0049
1.0487
50
1.0004
1.0043
1.0429
熔化热(1.2K，2555kPa)：0.0836kJ/kg 气化热(-268.926℃，101.325kPa)：20.42 kJ/kg 比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=5238.3 J/(kg·K) Cv=3213.7J/(kg·K) 比热比(气体，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.63 蒸气压(0.5K)： 0.0000022kPa (2.0K)： 3.17kPa (5.0K)： 197.1 kPa 粘度(0℃，101.325kPa)：0.01864 mPa·S (液体，3.0K)：0.0033 mPa·S 表面张力(4.2K)：0.096 mN/m
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4. 化学危害：
D毒性气体：
z中毒形式：
•急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体 立即造成伤害．如： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV: TLV-TWA: STEL: LC50: LD50:
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会 慢慢显现出来．
z 氢气- 特别注意
¾ 低激发能源 ¾ 宽的燃烧范围 ¾ 通常情况下视为自燃气体 ¾ 快的扩散速度
z 控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ¾ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ¾ 气体泄漏探测系统 ¾ 通风良好
9
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
¾ 当氧含量少于１２％时，会导致快速失去知觉甚至死亡. ¾ 在正常大气压力下, 氧气浓度不应低于 19.5% ¾ 例如:
• Nitrogen • Argon • lium • Sulfur Hexafluoride, etc.
¾ 气体浓度在其燃烧范围内; ¾ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ¾ 激发能源
z 燃烧极限：
¾ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
¾ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） z 例如：
¾ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
z 定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
z 例如:
¾ Oxygen ¾ Fluorine ¾ Chlorine ¾ Nitrous Oxide( Unstable) ¾ Nitrogen Oxide ¾ Chlorine Trifluoride ¾ Nitrogen Trifluoride
3
LC50
PPM/4 hour
N/A
9600 11 1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
5
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
z中毒方式
¾呼吸 ¾皮肤吸收 ¾消化系统
z控制中毒的方法
¾控制库存 ¾充分通风
¾正常通风（开放式，自然通风） ¾Emergency（风机或排风扇强制通风） ¾监测系统 ¾环境监测器 ¾医疗检测 ¾个人防护用具
z 控制方法：
¾ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ¾ 对氟气应用系统进行金属钝化 ¾ 远离有机物质，，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
11
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 窒息性气体：
z 普通窒息性气体 (惰性气体) 定义: 毒性很低或根本无毒，但能取代空气，导致氧气缺乏的气体，也称做 惰性气体或不燃气体
z 控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
¾ 可能情况下用惰性气体稀释 ¾ 控制库存 ¾ 采取流量控制并采用充分的通风 ¾ 系统设计防止回流
8
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 燃烧气体：
z DOT 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
9压力 9毒性 9腐蚀性 9自燃性 9燃烧性 9氧化性 9窒息性 9深冷性
3
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
D压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可 承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释 放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
9 自燃气体：
z 定义:
同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃 点通常低于环境温度．
z 例如:
¾ Disilane:低于54°C (130°F) ¾ Silane:极低 ¾ Phosphine:100°C (212°F) ¾ Diborane： 40 to 50°C (104-122°F) ¾ Germane:极低
9 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
2
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
10
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 氧化性气体：
4
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA STEL
PEL
IDLH
PPM
PPM
PPM
PPM
CF4
N/A
N/A
N/A
N/A
NH3
20
35
300
SiH4
5
PH3
0.3
1
0.3
50
GeH4
0.2
0.2
B2H6
0.1
0.1
15
AsH3
0.05
0.05
¾废物处理
6
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9腐蚀性气体
z对人体组织器官的破坏：
¾皮肤 ¾眼睛 ¾呼吸道 ¾组织器官
z腐蚀性气体中毒的途径：
¾呼吸 ¾皮肤接触 ¾消化系统
z分类：
¾酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ¾碱性 : NH3
7
Chapter 1:ESG Basic Knowledge
电子特种气体 基础知识
第一章：电子特种气体基础知识
1. 电子特种气体分类：
9 可燃气体 • SiH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
9 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
9 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……
D毒性气体：
z中毒形式：
•急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体 立即造成伤害．如： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV: TLV-TWA: STEL: LC50: LD50:
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会 慢慢显现出来．
z 氢气- 特别注意
¾ 低激发能源 ¾ 宽的燃烧范围 ¾ 通常情况下视为自燃气体 ¾ 快的扩散速度
z 控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ¾ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ¾ 气体泄漏探测系统 ¾ 通风良好
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
¾ 当氧含量少于１２％时，会导致快速失去知觉甚至死亡. ¾ 在正常大气压力下, 氧气浓度不应低于 19.5% ¾ 例如:
• Nitrogen • Argon • lium • Sulfur Hexafluoride, etc.
¾ 气体浓度在其燃烧范围内; ¾ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ¾ 激发能源
z 燃烧极限：
¾ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
¾ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） z 例如：
¾ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
z 定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
z 例如:
¾ Oxygen ¾ Fluorine ¾ Chlorine ¾ Nitrous Oxide( Unstable) ¾ Nitrogen Oxide ¾ Chlorine Trifluoride ¾ Nitrogen Trifluoride
3
LC50
PPM/4 hour
N/A
9600 11 1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
z中毒方式
¾呼吸 ¾皮肤吸收 ¾消化系统
z控制中毒的方法
¾控制库存 ¾充分通风
¾正常通风（开放式，自然通风） ¾Emergency（风机或排风扇强制通风） ¾监测系统 ¾环境监测器 ¾医疗检测 ¾个人防护用具
z 控制方法：
¾ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ¾ 对氟气应用系统进行金属钝化 ¾ 远离有机物质，，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 窒息性气体：
z 普通窒息性气体 (惰性气体) 定义: 毒性很低或根本无毒，但能取代空气，导致氧气缺乏的气体，也称做 惰性气体或不燃气体
z 控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
¾ 可能情况下用惰性气体稀释 ¾ 控制库存 ¾ 采取流量控制并采用充分的通风 ¾ 系统设计防止回流
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 燃烧气体：
z DOT 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
9压力 9毒性 9腐蚀性 9自燃性 9燃烧性 9氧化性 9窒息性 9深冷性
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
D压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可 承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释 放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
9 自燃气体：
z 定义:
同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃 点通常低于环境温度．
z 例如:
¾ Disilane:低于54°C (130°F) ¾ Silane:极低 ¾ Phosphine:100°C (212°F) ¾ Diborane： 40 to 50°C (104-122°F) ¾ Germane:极低
9 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 氧化性气体：
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA STEL
PEL
IDLH
PPM
PPM
PPM
PPM
CF4
N/A
N/A
N/A
N/A
NH3
20
35
300
SiH4
5
PH3
0.3
1
0.3
50
GeH4
0.2
0.2
B2H6
0.1
0.1
15
AsH3
0.05
0.05
¾废物处理
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9腐蚀性气体
z对人体组织器官的破坏：
¾皮肤 ¾眼睛 ¾呼吸道 ¾组织器官
z腐蚀性气体中毒的途径：
¾呼吸 ¾皮肤接触 ¾消化系统
z分类：
¾酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ¾碱性 : NH3
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
电子特种气体 基础知识
第一章：电子特种气体基础知识
1. 电子特种气体分类：
9 可燃气体 • SiH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
9 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
9 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……