横河激光气体分析仪资料(中文)
横河重磅新品：AQ6377系列
横河重磅新品：光谱分析仪AQ6377系列
2020年9月9日~11日，第22届中国国际光电博览会（CIOE 2020）在深圳国际会展中心开幕.疫情还未完全消散，组委会克服重重困难使得这次行业盛会顺利举办，横河也倾尽全力赴展，各方反响极好！
横河于2020年1月发布的世界上第一台基于衍射光栅的中红外近红外光谱分析仪AQ6377，在此次CIOE展会上首次面向全球隆重亮相。
面世以来，AQ6377已经得到国内许多研究机构和大学实验室的高度评价——它填补了世界上中红外和近红外光谱测量的空白，可以高效地测试激光器的波长、边模抑制比和信噪比等指标。
横河电机TDLS200激光分析仪用于电解厂微量水(湿度)测量
横河电机TDLS200激光分析仪用于电解厂微量水(湿度)
测量
应用行业:化工产品: TDLS
应用简介
电解食盐水溶液装置的主要产物之一是氯气，如果经干燥塔后氯气中仍有水分残留，就会对下游的压缩机产生腐蚀、影响产品质量。
所以在氯气进入压缩机前后都要对其含水量进行测量，以防止压缩机腐蚀及产品质量下降。
传统的微量水分析仪使用五氧化二磷(P2O5)传感器测量工艺气体的含水量。
由于测量时传感器与气体接触，会产生传感器损耗、响应速度变慢、维护运行成本增高等问题。
现在，TDLS200 激光分析仪可以成功的解决这些问题。
预期效益
通过非接触式光学测量实现可靠测量、减少传感器损耗
可用于腐蚀性气体的测量，减少仪器损耗、降低维护和运行成本
对于H2O 浓度的变化响应快速、测量稳定
工艺概述
电解食盐水溶液装置中，氯气首先在湿氯塔除湿，然后进入干燥塔通过硫酸溶液进行干燥。
干燥的氯气被送到氯气干燥塔再次除湿，最终经过压缩机压缩变成液态，便可以作为产品运送。
解决方案详情
不同于使用五氧化二磷传感器的分析仪，TDLS 能够对样品中水含量的变化做出快速响应。
现场数据
TDLS200 与使用P2O5 传感器的湿度分析仪的响应能力比较。
横河质量流量计说明书中英对照表
可读设备可读设定可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可读可选择可执行可读可读可读可读/写/写/写/写/写/写可读/写可读/写可选择可选择可读/写可读/写可读/写可选择可读/写可读/写可读/写可选择可读/写可读/写可读/写可选择可选择可选择可选择可选择可读/写可选择第 5 页，共 43 页可选择可选择可选择可选择可选择可选择可选择可选择可选择可选择可读/写可选择可选择可读/写可读/写可读/写可读/写可读/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写/写可读/写可读/写可读/写可读/写可选择可读/写可选择可选择可选择可读/写/写/写/写/写/写可读/写可读/写可读可读/写可读/写可读/写可读/写可读/写可读可读可读可读可读可读可读查看设备信息prviewdeviceinfotemp fixed value none mass flo vol flo dens temp conc measnet flonone mass flo vol flo dens temp conc measnet flopulse status outno function none mass total forw mass total rewvoltotal forwvoltotal rew mass flowvol flo dens tempconc measnet forw net rev net flow no function bi-directio naltotal switch mass flo alm1 mass flo alm2 mass flo alm1+2 vol flovol flo alm 2 vol flo alm 1+2 densalm1 densalm2 densalm1+2 tempalm1 tempalm2 tempalm1+2 CONCalm1 concalm2 concalm1+2 net alm1 net alm2 netalm1+2 slug alarm empty alarm corrosio n alarmpulse status outno function none mass total forw mass total rewtotal forwvoltotal rew mass flowvol flo dens temp conc measnet forw net rev net flowfunction bi-directio naltotal switch mass flo alm1 mass flo alm2 mass flo alm1+2 vol flo alm 1 vol flo alm 2 vol flo alm 1+2 densalm1 densalm2 densalm1+2 tempalm1 tempalm2 tempalm1+2 CONCalm1 concalm2 concalm1+2 net alm1 net alm2 netalm1+2 slug alarm empty alarm corrosio n alarmonactive off active no funtctio n autozero total test0%signal lockon act off actmeas value hold drive gain damping。
横河WT3000功率分析仪简易操作说明(V01)
目录1．测试回路连接 (2)2．数值模式 (4)2.1．电流/电压量程和模式的选择 (4)2.2．测试回路模式WIRING、公式的设置 (4)2.3．测试项目ITEM的设置 (5)2.4．U/I的谐波界面显示 (5)2.4.1谐波的项目设置 (6)2.4.2谐波的PLL源和谐波次数的设置 (6)波形设置 (6)3．波形模式 (7)3.1测试项目设置 (7)3.2采样频率设置 (8)3．数值模式和波形模式 (8)4. 转速、扭矩信号的设置 (8)5.屏幕保存（JPEG格式） (9)6.WT Viewer软件监控 (9)6.1软件安装准备 (9)6.2软件设置步骤 (9)1．测试回路连接步骤1：单元1的电压通道（上端）与驱动器直流母线（+/-）连接（并联回路）注1：+/-极性步骤2：单元1电流通道（下端）与驱动器直流母线（+/-）连接（串联回路）注1：+/-极性步骤3：单元2/3电压通道（上端）与被测电机动力线的连接（并联回路）步骤4：单元2/3电流通道（下端）与被测电机动力线的连接（串联回路）注1: 电流方向：传感器上箭头指向被测电机动力端。
2．数值模式图示：Numeric 数值模式2.1．电流/电压量程和模式的选择2.2．测试回路模式WIRING 、公式的设置234522.3．测试项目ITEM 的设置2.4．U/I 的谐波界面显示32 1 3：single i tem 谐波显示界面 4：Dual i tem 谐波显示界面2.4.1谐波的项目设置2.4.2谐波的PLL 源和谐波次数的设置波形设置1：谐波显示界面21：谐波显示界面23．波形模式3.1测试项目设置1233.2采样频率设置3．数值模式和波形模式4. 转速、扭矩信号的设置15.屏幕保存（JPEG 格式）USB 盘插入→按键IMAGE SAVE注：屏幕左上角显示磁盘图标，显示保存中，不可拔除USB 盘6.WT Viewer 软件监控6.1软件安装准备默认安装“GPIB_driver ”GPIB 硬件驱动 和“WTViewer ”监控软件6.2软件设置步骤步骤1. WT3000设备开启 步骤2. WT Viewer 软件开启步骤3. 选择off-line 通讯模式并确认OK （见下图3）图表 2传输单元：GPIB 数据 图表 1：WT Viewer 软件 图表 3步骤4. 选择功率计型号WT3000并确认OK. （见下图4）步骤5.选择测试模式normal Mode 并确认OK. （见下图5） 、图表 5步骤6. 进入off-line 模式下的软件界面（见下图6）步骤7. 设置测试项目数和项目字体大小图表 4图表 6 1 32步骤8. 功率计WT3000上设置相关ITEM 项目（U/I/P 等）步骤9. 连接WT3000背部GPIB 的数据通讯线到PC 的USB 口步骤9. 软件下拉式菜单Communications/communications mode选择on-line步骤10. 选择GPIB 界面步骤11. GPIB 地址：勾选1步骤12. 再次选择on-line模式下的Normal mode步骤13.进入Online模式下的软件界面（WT3000本体进入Remote mode）步骤14. 设置CSV文件存放步骤15. 取消fast mode和auto naming的勾选步骤16. 点击界面中的项目变更设置步骤17. 点击软件中的积算start和stop步骤18. 点击软件中的数据下载start和stop注1：START ：软件开始自动采样数据注2：STOP ：软件技术采样数据步骤19. CSV格式数据保存。
横河DCS中文介绍
加强可视性有可能带来更高的可预测性。可预测性作为先进流程控制的中心 主题，已经促成了模型预测控制等先进控制技术的诞生。今天，已经拥有现 场总线的工厂正在预测性资产管理方面取得进步。对于自动化的用户和供应 商而言，下一个挑战就是工厂如何让您对挑战和解决方案先知先觉，从而提 高工厂的综合绩效。
慎思密行
流程I/O模块
横河的FIO(现场网络I/O)是一系列低成本的、可靠的I/O模块，开发这些模块是为了提高包装密 度。模块的适用范围十分宽广，使您可以对系统进行各种配置，以满足过程信号的要求，并提供 不同水平的隔离。
模块的宽广范围 隔离类型 : 非隔离、隔离(所有通道共同隔离)及隔离(每个通道单独隔离)。 现场连接 : 压线端子(Weidmuller)、专用端子板、MIL电缆。 现场阻抗 ：G3级防腐性气体和宽广的工作温度范围。 危险区域分类 : 提供标准的N型和非易然性保护。可提供带大量内置本质安全删的I/O模块。
紧凑性设计 可以将I/O节点单元放置在远程位置及方便和分类区域，从而节约了安装费用，降低了设备机房 的大小和成本。紧凑部件会节约控制系统的整个“面积”。
开放式结构和高可靠性
横河通过在适当的地方使用商用流行技术，致力于为我们的用户降低成本。由于新的Vnet/IP使 用以太网，所以可以使用经过第三方验证的电缆、中继器和其它网络通讯设备。当然，由于横 河著名的可靠性、专用协议和冗余配置，通讯反应得到保证(确定性而非可靠性)，因此绝不会 损及工厂的可靠性。
现场控制器 FCS允许通过附加节点单元增加I/O 模块的数量，从而在无需附加控制 器的情况下增加控制器功能。
Vnet/IP
双冗余结构和可靠性
处理器、电源和包括通讯总线的I/O模块都支持冗余配置。当FCS以双冗余排列 配置时，通过实时验证保证计算结果的可靠性。实时验证降低了发生破坏结果 的瞬间错误的可能性，并且通过使用“Pair & Space(成对热备)”的CPU排列来 实现这一功能。在该排列中，每个处理器模块带有2个CPU。对计算进行并行 计时并比较结果。该水平的冗余使CENTUM CS 3000 R3系统不仅保证了优异 的可用性水平，而且保证了现代工厂中要求的最高可靠性。
横河川仪介绍2011.3.23
Sensor Temp,
Static Pres,
Diff Pres.
f1 + f2 = 同静压成正比
(频率)
+/-0.2% of span @1 MPa
.
R
.
(电阻)
R
=
同温度成正比
YOKOGAWA SICHUAN
方便诊断的复合传感器
变送器的健康监视器
标准变量
静压 表压 膜盒温度 放大器温度
变送器安装维护中容易出问题的地方
• 根据我们现场服务经验，90%以上变送器问题 均由如下最简单的原因造成的 • 电气接口，与仪表盖的处理 • 管道吹管 • 冬天低温停机排水 • 单向过压影响零点或损坏变送器 • 毛细管受力损坏 • 高温气体未冷凝或充罐隔离液
YOKOGAWA SICHUAN
六、节能降耗中多参数变送器的典型应用
CPU
D/A
4 - 20mA
转换误差减小
分辨率提高
数字式 传感器
输出信号大 分辨率高
CPU
数字信号
YOKOGAWA SICHUAN
DPharp 多传感器的变送器
• Operating Circuit Of A Resonating Bridge f1 f2
f1 - f2 = 同差压成正比
YOKOGAWA SICHUAN
变送器安装维护中容易出问题的地方
• 节能降耗中蒸汽的成本考核和贸易计量 仪表选择 • 涡街：仪表损坏无法不停机更换 • 孔板：磨损 • 喷嘴： • 4、仪表选择：多参数EJX910
YOKOGAWA SICHUAN
七、横河川仪提供的相关产品
YOKOGAWA SICHUAN
激光气体分析仪
激光气体分析仪激光气体分析仪是一种先进的分析仪器，通过利用激光技术对气体样品进行检测和分析。
它能够快速、准确地测量气体成分，广泛应用于环境监测、工业生产、医疗卫生等领域。
本文将详细介绍激光气体分析仪的原理、应用及展望。
激光气体分析仪的工作原理基于激光与气体分子之间的相互作用。
当激光束通过气体样品时，激光与气体分子相互作用，产生一系列光学效应。
根据这些效应，激光气体分析仪可以测量气体的浓度、温度、压力、流速等参数。
其中，最常见的应用是测量气体的浓度。
激光气体分析仪的工作过程可分为两大步骤：激光采样和激光分析。
在激光采样过程中，激光束经过光路系统的引导，进入气体样品室。
样品室内部设置有气体进出口，将待测气体引入样品室。
激光束与气体分子相互作用后，经过一系列光学元件的调节，进入探测器进行信号采集。
激光分析过程是激光气体分析仪的核心部分，通过对采集到的光学信号进行处理，可以得到气体的浓度信息。
激光在气体分子中的吸收和散射等过程会造成光线的强度变化，这些变化可以通过探测器进行测量。
通过比对样品气体和标准气体的吸收特性，可以计算出待测气体的浓度。
激光气体分析仪具有高灵敏度、快速响应和高精度等优点，逐渐取代传统的气体分析方法成为主流。
在环境监测方面，激光气体分析仪可以实时监测大气污染物浓度，为环境保护提供科学依据。
在工业生产中，激光气体分析仪可以监测有害气体的浓度，保障生产者和工人的安全。
在医疗卫生方面，激光气体分析仪可以检测呼吸气中的气体成分，帮助医生进行诊断和治疗。
尽管激光气体分析仪在各个领域取得了巨大的成功，但仍然存在一些挑战和问题需要解决。
首先，激光气体分析仪的成本较高，限制了其在一些应用场景的推广和应用。
其次，激光气体分析仪的仪器体积较大，无法满足一些特殊环境下的要求。
此外，激光气体分析仪对气体样品的处理和准备要求较高，这也增加了操作的难度。
未来的研究重点应该放在降低成本、减小体积、提高操作便捷性等方面。
4.横河电机的资料(中文)
-2-
能源管理系统介绍 Energy Management Solutions
Copyright © Yokogawa Electric Corporation ADS-SOL-14-372
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工厂面临的能源挑战
工厂管理层需要准确衡量能源使用状况，并寻找相应的措施保证能源管理方针的 实现
能源使用状况无法测量
Copyright © Yokogawa Electric Corporation ADS-SOL-14-372
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可扩展系统的优点
“从小做起, 逐步节能”的策略可以减少投资风险
可扩展解决方案 从可视化到最优化 从小的范围到全厂优化
VM-EMPO (多期間最適化)＋VM-ERTO（実時間最適化）
ADS-SOL-14-372
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能源管理的目的
能源管理 PDCA
ISO50001能源管理体系就是通过一个整体的能源管理解决 方案来实现持续的能源优化
ISO50001 能源管理系统模型
现场操作 PDCA
Energy Management System (EnMS) Quoted
Copyright © Yokogawa Electric Corporation from Figure 1 of ISO50001: 2011E
9-1
2-1
26-12
19-12
Copyright © Yokogawa Electric Corporation ADS-SOL-14-372
Day Ahorros Anuales
Source: ERTC Computing Conference, London,
- 20 -2004
美国 INTERSCAN 4000 系列单气体分析仪选型手册说明书
美国INTERSCAN公司4000系列单气体分析仪（进口）选型指南香港创新科仪有限公司广州：************香港：00852-25537101目录1. 技术参数 (2)2. 仪器附件 (4)3. 传感器原理 (5)4. 仪器描述 (6)提示：INTERSCAN公司的所有分析仪在出厂前都已经过校准，用户从工厂或者分销商购买后都无需重新校准，除非SPAN电位器被无意中改动或仪器被长期使用。
1.技术参数显示：数字显示Rd±1单位最小有效数字（如量程为精度： ±2%0-19.99ppm时，精度为±2%Rd±0.01ppm）重复性： ±0.5% F.S.最小检出：±1% F.S.F.S.线性度： ±1%零点漂移：±1% F.S.（24小时）跨度漂移：±1% F.S.（24小时）延迟时间：<1秒体积： 178mm×102mm×225mm重量： 2kg4000系列产品规格表气体型号量程精度响应时间4140-199.9m0-199.9ppm 0.1ppm45s一氧化碳CO4140-1999m0-1999ppm 1ppm4170-199.9m 0-199.9ppm 0.1ppm20s硫化氢H2S4170-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm4240-199.9m 0-199.9ppm 0.1ppm30s二氧化硫SO24240-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 臭氧O34480-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 20-30s 环氧乙烷EtO 4200-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 60-120s 溴Br24700-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 30s 溴化氢HBr 4800-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 30s 氯化氢HCl 4360-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 45s 氯Cl24340-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 30s 氰化氢HCN 4280-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 20s 二氧化氯ClO24330-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 20-25s 乙烯C2H44070-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 30-120s 二氧化氮NO24150-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 15s 一氧化氮NO 4540-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 20s*肼/联氨HZ 4180-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 60-120s 环氧丙烷PrO 4320-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 60-120s 氢气H24020-19.99m 0-19.99ppm 0.01ppm 60s 注：上述各种气体都有0-1999ppm、0-199.9ppm、0-19.99ppm、0-1999ppb（精度1ppb）这四个标准量程可选，并且有些气体另有其它量程可选，具体情况请致电咨询。
横河最新分析仪器介绍和降低成本方案
游离氯计/残余氯计
碱度计
AL400G 碱度计
RC400G 试药型残氯计
TB500G 高感度形浊度计
FC400G 无试药型ຫໍສະໝຸດ 氯计溶氧计DO402 溶氧计
SS计/MLSS计
SS400 MLSS计
液体密度计
DM8 振動式液体密度计
NH３计
AN1000 N自動測定装置
水質観測器
WM22/500/WM1000 自動水質監視装置
Emerson 3.45
Others $ 6.03M
Asia $ 9.88M Emerson: 35 % Ametek : 25% Yokogawa: 20% Others : 20 %
Others Yokogawa 1.97 1.97
Others, 26.5%
,
Emerson, 22.8%
Ametek, 15.7% ABB, 17.0%
在线pH计电极
在线导电率计电极
1 2 FU20 HA405
3 4 5
PH8EFP
1 2 3 4 5
SC4A-AD-09 SC4A-AD-15 SC4A-SA SC4A-SB SC210G
SC500 卫生型导电率计
浊度计
8562 濁度伝送器 TB400G/TB450G 表面散乱形浊度计 TB600G 激光式浊度计 TB650G 携帯形激光式 浊度计
横河電機株式会社 IA環境機器事業部
2004中国CIMA分析計説明資料
超高灵敏度热传导式检测器(HTCD)
基本理論解析、高精度設計
横河電機株式会社 IA環境機器事業部
2004中国CIMA分析計説明資料
超高灵敏度热传导式检测器(HTCD)
上海横河国际贸易 AQ7270 OTDR 说明书
再循环 Ni-MH
设备通过二次绝缘或强化绝缘
2002/96/EC 指令，该产品满足 WEEE (2002/96/EC) 指令要求。
对于各符号更详细的说明，请参考各自的相关文档或用户手册中带
标记处
IM 701310-02C
目录
标准附件 .......................................................... 3 部件名称与功能 ............................................... 8 准备使用
放大波形和移动显示区域 .................................... 28
打印 / 保存波形 ................................................... 29
输入字符
字符输入屏幕 .................................................................. 30
规格 .............................................. 33
部件名称与功能
部件名称与功能
护板
保护AQ7270受到外部撞击
软键
选择显示在屏幕右边，与各 按键对应的功能
ESC键
取消设置或关闭菜单
FILE键
显示文件菜单， 用于保存、读取或者打印波形
MENU键
电源线 UL/CSA 标准 A1068WD
电源线 VDE 标准 A1071WD
电源线 AS 标准 A1070WD
电源线 BS 标准 A1098WD
横河AQ6377光谱分析仪
横河AQ6377光谱分析仪
横河计测株式会社1月16日正式发布新型光谱分析仪AQ6377。
这是一款采用色散分光技术来测量1.9–5.5μm波长范围内激光光谱的台式分析仪，具有精度高、动态范围广和高分辨率等特点。
对于此类仪器，支持5μm波段的测量是业界首创（基于2019年12月横河的调查）。
所谓色散分光技术是一种让光穿过衍射光栅来将其分散并随后穿过狭缝，从而提取特定波长范围光的技术。
光谱分析仪用于分析半导体激光器和光纤激光器等光子器件的波长成分，以评价其波长特性。
AQ6377可用于增强光学器件在5μm波段的表现，并促进其在环境测量和其他领域的加速应用.。
横河GD402G气体密度计
±0.001
长期稳定性
±0.003/月
±0.0002/月
±0.003/月
密度是一个基本测量单位，其他表示法都来源于密度数据。
分子重量 MW 0－140 4 大约 5 秒 ±1%设定量程
±0.02 ±0.07/月
浓度 vol% 0－100
大约 5 秒 ±1
±0.5 ±0.5/月
项目
范围 最小范围 响应时间 90% 线性度 重现性 漂移
型号规格
1．气体密度变送器
型号
基本代码
选项 代码
描述
GD402G …………… …… 普通型，包括 6 个电缆密
封套
GD402T ……………
……
FM 认证防爆型，密封套 螺纹 1/2NPT。不包括电 缆密封套
GD402V ……………
……
CSA 认证防爆型，密封 套螺纹 1/2NPT。不包括 电缆密封套
英国热量单位 kBTU/ ft3 0-3.5 0.25 大约 5 秒
1%设定量程 ±0.001 ±0.0025/月
热值和 BTU 值是密度的可能表现 形式。GD402 不包含表中所列信 息，仅表示单一的数学方程式。
1．3 输出信号 输出 1：4－20mA DC
隔离输出；负载电阻：最大 600Ω （当在“BRAIN”通讯模式时，要求 250 －550Ω负载电阻） 输出 2：4－20mA DC 隔离输出；负载电阻：最大 600Ω 1．4 电源 额定电压范围：100～240V AC，24V DC 允许电压范围：85～264V AC，21.6～26.4V DC 额定频率：50～60Hz 允许频率范围：47～63Hz 1．5 功耗 大约 12W
项目
密度 kg/m3 密度 lbg/ft3 比重
横河光谱分析仪AQ6370D
横河光谱分析仪AQ6370D
首先，AQ6370D采用了高分辨率的光谱分析技术，可以提供高精度的
波长和功率测量。
它可以在短波至长波的范围内进行波长扫描，并且具有
高分辨率和高灵敏度，能够测量微弱的光信号。
这对于研发和制造光学器
件来说非常重要，因为它们通常需要对特定波长范围内的光进行分析和测试。
其次，AQ6370D还具有高速扫描的能力。
它可以以高达1,500 nm/s
的速率进行波长扫描，从而大大提高了测试的效率。
这对于快速检测和分
析大量样本非常有用，可以节省时间和成本。
此外，AQ6370D还具有多种测量模式和功能。
它可以进行单点测量、
迹线扫描、峰值等操作，可以满足不同实验需求。
它还具有自动化测量功能，可以进行连续的自动测量和数据处理，使得实验操作更加方便和高效。
另外，AQ6370D还具有全新的用户界面和操作系统。
它采用了高分辨
率的彩色液晶显示屏，可以直观地显示和操作测试结果。
它还支持多种通
讯接口和数据输出格式，可以与其他设备和软件进行连接和数据交换。
总的来说，横河光谱分析仪AQ6370D具有高精度、高速度、多功能和
用户友好的特点。
它是一种先进的光学测试设备，可以广泛应用于光通信、传感器和光学元件的研发和制造。
通过使用AQ6370D，研究人员和工程师
可以更加准确和高效地进行光学分析和测试，为产品开发和品质控制提供
有力的支持。
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・不受干涉气影响 ・温度压力修正简便
同类产品不具有以上特点
Copyright © Yokogawa Electric Corporation
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应用类型
Oxygen < 600°C, range 0-1% till 0-25% Oxygen < 1500°C Oxygen (<1500°C) & Temperature Carbonmonoxide (%) <500°C Carbonmonoxide (ppm) <500°C Carbonmonoxide (ppm) <1500°C Carbonmonoxide (ppm) <1500°C & CH4(%) Ammonia 0-3000 ppm Ammonia <0-500 ppm Hydrogen Sulphide 0-50% range Carbondioxide high range ( 0-1; 0-5%) Carbondioxide extended range 0-5/0-50%) Water (ppm, min range 0-30ppm) Chlorine background Water (ppm) non-HC background Water (ppm) Hydrocarbon background Moisture High Level (H2O) min range 0-5%”
◆构造复杂，有消耗品→需要维护 构造复杂，有消耗品 需要维护 ◆采样会造成工艺气体组成变化 →不是真实的工艺状态（有误差） 不是真实的工艺状态（ 不是真实的工艺状态 有误差）
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激光气体分析仪 TDLS２００ ２００ 半导体激光分光（ 半导体激光分光（TDLS）型新一代过程气体分析仪 ） 高速In-line分析工艺气体！！ 高速 分析工艺气体！！ 分析工艺气体
■免采样直接检测（In-situ） 免采样直接检测（ ）
・以秒计量的高速分析 ・构造简单维护简便 可直接检测高温（～ （～1500℃）、高压（～１MPa） 高压（～ ・可直接检测高温（～ ℃）、高压（～１ ） 与带采样装置相比， ・与带采样装置相比，几乎不需要工程设计
■检测原理：光谱面积法（世界首创） 检测原理：光谱面积法（世界首创）
Peak Height is changed nonlinearly by Composition Change
Second Harmonic Spectra (10% O2 in different background gases)
1
7 13 19 25 31 37 43 49 55 61 67 73 79 85 91 97 103109115121127133139145151
Absorbance
Spectra Peak Area Method
Change Temperature Pressure Composition Peak Area Non Linear Linear No Change 2f : FPI, Siemens, NEO, Fuji Non Linear Non Linear Non Linear
1 7 13 19 25 31 37 43 49 55 61 67 73 79 85 91 97 103 109 115 121 127 133 139 145 151
CO2 He N2
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Lineshape Broadening of Absorption Spectra
激光气体分析仪 TDLS200
横河电机（ 横河电机（株） IA单表海外营业 单表海外营业Gr 单表海外营业
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激光气体分析仪是过程分析仪家族的一员
激光气体分析仪： 激光气体分析仪：
直接（ 直接（In-situ)分析工艺气体 分析工艺气体 以往的过程分析仪： 以往的过程分析仪： 对工艺气体进行采样检测
2. Lineshape on Different Composition
3. Lineshape on Different Pressure
1.40E-02 1.20E-02 0.5 atm 1.00E-02 1 atm 8.00E-03 1.5 atm 6.00E-03 4.00E-03 2.00E-03 0.00E+00 763.34 763.36 763.38 763.4 763.42 763.44 763.46 763.48 763.5 Wave Length nm Absorbance
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激光气体分析仪 TDLS２００ ２００
在线高速分析各种工艺气体
机种LINE-UP 机种 水平的O 燃烧控制、 ・O2计 ％水平的 2浓度 燃烧控制、可燃气安全监控等 ％、０ ２５％、 量程 ０－１％、０－２５％、 水平的CO浓度 ・CO计 ppm水平的 浓度 计 水平的 燃烧控制等 ２００ｐｐｍ、 ｐｐｍ、０ １００００ｐｐｍ 量程 ０－２００ｐｐｍ、０－１００００ｐｐｍ 水平的H 浓度 中或VCM中的微量水检测等 ・H2O计 ppm水平的 2O浓度 Cl2中或 计 水平的 中的微量水检测等 ３０ｐｐｍ、 ｐｐｍ、０ ３００００ｐｐｍ 量程 ０－３０ｐｐｍ、０－３００００ｐｐｍ 水平的NH3浓度 脱硝装置出口泄漏 脱硝装置出口泄漏NH3检测等 ・NH3计 ppm水平的 水平的 ３０ｐｐｍ、 ｐｐｍ、０ ５０００ｐｐｍ 量程 ０－３０ｐｐｍ、０－５０００ｐｐｍ 同时可以检测其他In-line气体 ※同时可以检测其他 气体
红外线分析仪（ 红外线分析仪（NDIR） ） 磁氧式O2计 磁氧式 计 色谱等
Detector Unit
Launch Unit
Process Gas
Laser beam 工艺气体 先采样后检测
◆采样延迟：对于监视的控制反应以分钟计算 采样延迟：
◆反应迅速：对控制系统的反应以秒计 反应迅速： 算 ◆构造简洁，无可动元件，无损耗元件 构造简洁，无可动元件， →免维护 免维护 ◆检测时只有激光照射 →适用于高温，高压，强腐蚀，多粉尘 适用于高温， 适用于高温 高压，强腐蚀， 环境 Copyright © Yokogawa Electric Corporation
1 7 13 19 25 31 37 43 49 55 61 67 73 79 85 91 97 103109115121127133139145151
CO2
N2
He
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检测原理
NH3 NH3的吸收线（光谱）
利用单一波长的半导体激光直接照 射分析对象（ 射分析对象（O2、CO、H2O、NH3 、 、 等），通过检测光谱吸收率得出浓 度值。 度值。
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激光气体分析仪 Tபைடு நூலகம்LS２００ （特征） ２００ 特征）
Peak Area Method can be accurate on these three parameter changes.
Peak Area is not changed by Composition Change
Direct Absorption Spectra (10% O2 in different background gases)
・Line Strength and Lineshape Change by Gas temperature ・Lineshape Broadening by Gas Pressure ・Lineshape Broadening by Gas Composition
1. Lineshape on Different Temperature 10% Oxygen 10% Absorbtion Spectra ( 763nm)
1.40E-02 1.20E-02 296 K 1.00E-02 396 K 8.00E-03 496 K 6.00E-03 4.00E-03 2.00E-03 0.00E+00 763.34 763.36 763.38 763.4 763.42 763.44 763.46 763.48 763.5 Wave Length nm
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检测原理比较 技术优势 – 同类产品（2f法） 温度压力补偿困难 – 面积法（TruePeak） 面积法（ ） 温度压力补偿简便
面积法
2f法 法
Second Harmonic Spectra (10% Oxygen in different background gases)
CO2
N2
He
CO2
N2
He
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系统构成
基本系统（显示器＋操作部分） 基本系统（显示器＋操作部分） 远程操作单元
基本系统（无操作部分） 基本系统（无操作部分）
基本系统（无操作部分＋显示器） 基本系统（无操作部分＋显示器）
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