横河激光气体分析仪资料(中文)

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检测原理比较 技术优势 – 同类产品（2f法） 温度压力补偿困难 – 面积法（TruePeak） 面积法（ ） 温度压力补偿简便
面积法
2f法 法
Second Harmonic Spectra (10% Oxygen in different background gases)
1.40E-02 1.20E-02 296 K 1.00E-02 396 K 8.00E-03 496 K 6.00E-03 4.00E-03 2.00E-03 0.00E+00 763.34 763.36 763.38 763.4 763.42 763.44 763.46 763.48 763.5 Wave Length nm
◆构造复杂，有消耗品→需要维护 构造复杂，有消耗品 需要维护 ◆采样会造成工艺气体组成变化 →不是真实的工艺状态（有误差） 不是真实的工艺状态（ 不是真实的工艺状态 有误差）
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激光气体分析仪 TDLS２００ ２００ 半导体激光分光（ 半导体激光分光（TDLS）型新一代过程气体分析仪 ） 高速In-line分析工艺气体！！ 高速 分析工艺气体！！ 分析工艺气体
Peak Height is changed nonlinearly by Composition Change
Second Harmonic Spectra (10% O2 in different background gases)
1
7 13 19 25 31 37 43 49 55 61 67 73 79 85 91 97 103109115121127133139145151
1 7 13 19 25 31 37 43 49 55 61 67 73 79 85 91 97 103 109 115 121 127 133 139 145 151
CO2 He N2
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Lineshape Broadening of Absorption Spectra
1 7 13 19 25 31 37 43 49 55 61 67 73 79 85 91 97 103109115121127133139145151
CO2
N2
He
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Absorbance
Spectra Peak Area Method
Change Temperature Pressure Composition Peak Area Non Linear Linear No Change 2f : FPI, Siemens, NEO, Fuji Non Linear Non Linear Non Linear
红外线分析仪（ 红外线分析仪（NDIR） ） 磁氧式O2计 磁氧式 计 色谱等
Detector Unit
Launch Unit
Process Gas
Laser beam 工艺气体 先采样后检测
◆采样延迟：对于监视的控制反应以分钟计算 采样延迟：
◆反应迅速：对控制系统的反应以秒计 反应迅速： 算 ◆构造简洁，无可动元件，无损耗元件 构造简洁，无可动元件， →免维护 免维护 ◆检测时只有激光照射 →适用于高温，高压，强腐蚀，多粉尘 适用于高温， 适用于高温 高压，强腐蚀， 环境 Copyright © Yokogawa Electric Corporation
最稳定的在线In-line检测！！ 检测！！ 最稳定的在线 检测
・不受干涉气影响 ・温度压力修正简便
同类产品不具有以上特点
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应用类型
Oxygen < 600°C, range 0-1% till 0-25% Oxygen < 1500°C Oxygen (<1500°C) & Temperature Carbonmonoxide (%) <500°C Carbonmonoxide (ppm) <500°C Carbonmonoxide (ppm) <1500°C Carbonmonoxide (ppm) <1500°C & CH4(%) Ammonia 0-3000 ppm Ammonia <0-500 ppm Hydrogen Sulphide 0-50% range Carbondioxide high range ( 0-1; 0-5%) Carbondioxide extended range 0-5/0-50%) Water (ppm, min range 0-30ppm) Chlorine background Water (ppm) non-HC background Water (ppm) Hydrocarbon background Moisture High Level (H2O) min range 0-5%”
CO2
N2
He
CO2
N2
He
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系统构成
基本系统（显示器＋操作部分） 基本系统（显示器＋操作部分） 远程操作单元
基本系统（无操作部分） 基本系统（无操作部分）
基本系统（无操作部分＋显示器） 基本系统（无操作部分＋显示器）
激光气体分析仪 TDLS200
横河电机（ 横河电机（株） IA单表海外营பைடு நூலகம் 单表海外营业Gr 单表海外营业
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激光气体分析仪是过程分析仪家族的一员
激光气体分析仪： 激光气体分析仪：
直接（ 直接（In-situ)分析工艺气体 分析工艺气体 以往的过程分析仪： 以往的过程分析仪： 对工艺气体进行采样检测
检测原理
NH3 NH3的吸收线（光谱）
利用单一波长的半导体激光直接照 射分析对象（ 射分析对象（O2、CO、H2O、NH3 、 、 等），通过检测光谱吸收率得出浓 度值。 度值。
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激光气体分析仪 TDLS２００ （特征） ２００ 特征）
・Line Strength and Lineshape Change by Gas temperature ・Lineshape Broadening by Gas Pressure ・Lineshape Broadening by Gas Composition
1. Lineshape on Different Temperature 10% Oxygen 10% Absorbtion Spectra ( 763nm)
Peak Area Method can be accurate on these three parameter changes.
Peak Area is not changed by Composition Change
Direct Absorption Spectra (10% O2 in different background gases)
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激光气体分析仪 TDLS２００ ２００
在线高速分析各种工艺气体
机种LINE-UP 机种 水平的O 燃烧控制、 ・O2计 ％水平的 2浓度 燃烧控制、可燃气安全监控等 ％、０ ２５％、 量程 ０－１％、０－２５％、 水平的CO浓度 ・CO计 ppm水平的 浓度 计 水平的 燃烧控制等 ２００ｐｐｍ、 ｐｐｍ、０ １００００ｐｐｍ 量程 ０－２００ｐｐｍ、０－１００００ｐｐｍ 水平的H 浓度 中或VCM中的微量水检测等 ・H2O计 ppm水平的 2O浓度 Cl2中或 计 水平的 中的微量水检测等 ３０ｐｐｍ、 ｐｐｍ、０ ３００００ｐｐｍ 量程 ０－３０ｐｐｍ、０－３００００ｐｐｍ 水平的NH3浓度 脱硝装置出口泄漏 脱硝装置出口泄漏NH3检测等 ・NH3计 ppm水平的 水平的 ３０ｐｐｍ、 ｐｐｍ、０ ５０００ｐｐｍ 量程 ０－３０ｐｐｍ、０－５０００ｐｐｍ 同时可以检测其他In-line气体 ※同时可以检测其他 气体
2. Lineshape on Different Composition
3. Lineshape on Different Pressure
1.40E-02 1.20E-02 0.5 atm 1.00E-02 1 atm 8.00E-03 1.5 atm 6.00E-03 4.00E-03 2.00E-03 0.00E+00 763.34 763.36 763.38 763.4 763.42 763.44 763.46 763.48 763.5 Wave Length nm Absorbance
■免采样直接检测（In-situ） 免采样直接检测（ ）
・以秒计量的高速分析 ・构造简单维护简便 可直接检测高温（～ （～1500℃）、高压（～１MPa） 高压（～ ・可直接检测高温（～ ℃）、高压（～１ ） 与带采样装置相比， ・与带采样装置相比，几乎不需要工程设计
■检测原理：光谱面积法（世界首创） 检测原理：光谱面积法（世界首创）
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