微机电系统功能材料、微机械制造技术概述.
微机电系统制造工艺综述
微机电系统制造工艺综述微机电系统（Microelectromechanical Systems，MEMS）是一种集成了微小机械、电子、光学和磁性等元件的微型系统。
它的制造工艺是一个复杂且多样化的过程，涉及到多个步骤和技术。
本文将综述微机电系统的制造工艺。
一、工艺流程微机电系统的制造工艺流程通常包括以下几个主要步骤：基片准备、薄膜沉积、光刻、腐蚀、封装和测试。
1. 基片准备：基片是微机电系统的主要载体，常用的材料包括硅、玻璃和塑料等。
在基片制备过程中，需要进行清洗、平整化和涂覆等处理，以保证后续工艺步骤的顺利进行。
2. 薄膜沉积：薄膜沉积是微机电系统制造中的关键步骤之一。
常用的薄膜沉积方法有化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）和溅射等。
通过这些方法可以在基片上沉积出具有特定功能的薄膜层，如金属、氧化物和聚合物等。
3. 光刻：光刻是微机电系统制造中的关键技术之一。
它通过光敏胶的光化学反应将图案转移到基片上，形成所需的结构和形状。
常用的光刻技术包括接触式光刻和投影光刻。
4. 腐蚀：腐蚀是微机电系统制造中的重要步骤之一。
通过化学腐蚀或物理腐蚀的方式，可以去除不需要的材料，形成所需的结构和形状。
常用的腐蚀方法有湿腐蚀、干腐蚀和等离子体腐蚀等。
5. 封装：封装是将微机电系统芯片封装在外部保护壳中的过程。
封装可以提供保护、连接和传感等功能。
常用的封装方法包括焊接、粘接和翻转芯片封装等。
6. 测试：测试是微机电系统制造中的最后一步，用于验证芯片的性能和可靠性。
常用的测试方法包括电学测试、力学测试和光学测试等。
二、工艺技术微机电系统制造中常用的工艺技术包括：纳米制造技术、表面微结构技术、微流控技术和微传感技术等。
1. 纳米制造技术：纳米制造技术是微机电系统制造中的前沿技术之一。
它利用纳米尺度的工具和材料进行加工和制造，实现微米和纳米级别的结构和器件。
常用的纳米制造技术包括扫描探针显微镜（SPM）、电子束曝光和离子束刻蚀等。
微机电系统概论
美国：微型机电系统
MEMS:
Micro electro mechanical system
日本：微机械
Micro
machine system
欧洲：微系统
Micro
微尺寸效应的影响
1、微尺寸效应对于元器件间的作用力的影响
随着尺寸的减小，与尺寸3次方成比例的像惯性力、 体积力及电磁力等的作用将明显减弱；而与尺寸2次方 成比例的像粘性力、表面力、静电力及摩擦力等的作用 则明显增强，并成为影响微机械性能的主要因素。 在微机械设计中，多利用静电力驱动。 在微机械中，又由于表面积与体积之比相对增大，使 热传导的速度也相对增加。 研究微机械中的摩擦、磨损的特性与机理是该领域的 主要课题之一。
To
In
Technology & Engineering
(low cost) (new applications)
Batch
fabrications Small size Performance (improvement)
质谱仪（Mass spectrograph）
惯性测量系统
什么是微机电系统
光 声 压力 温度 化学 其它 能量 传 感 器 模 拟 信 号 处 理 器 数 字 信 号 处 理 器 模 拟 信 号 处 理 器 执 行 器 信息 其它 信息处理单元 运动
感测量 通讯/接口单元
控制量
光/电/磁
机械与机电系统；宏观机电系统与微机电系统 微机电系统： 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电 路为基本元器件组成的、可以活动和控制的、机 电合一的微机械装置。 特点： 1、学科交叉（力学、机械、电学、光学、电磁 学、生物、化学等学科）2、微型化、集成化和 智能化；3、低成本批量化；4、应用广泛（军民 两用）5、高新技术。
微机电系统MEMS简介
陀螺仪
总结词
用于测量或维持方向的传感器
详细描述
陀螺仪是一种基于角动量守恒原理的传感器，用于测量或维持方向。它通过测量物体旋转轴的方向变 化来工作，通常由高速旋转的陀螺仪转子组成。陀螺仪广泛应用于导航、姿态控制、游戏控制等领域 ，如智能手机、无人机和导弹制导系统等。
压力传感器
总结词
用于测量流体或气体压力的传感器
MEMS市场应用领域
消费电子
汽车电子
医疗健康
工业自动化
MEMS传感器在消费电子产品 中的应用广泛，如智能手机、 平板电脑、可穿戴设备等。这 些设备中的传感器用于运动检 测、加速度计、陀螺仪、气压 计等。
随着汽车智能化的发展， MEMS传感器在汽车领域的应 用也越来越广泛，如车辆稳定 性控制、安全气囊、发动机控 制等。
MEMS材料
单晶硅
单晶硅是MEMS制造中最常用的材料 之一，具有高强度、高刚度和良好的 化学稳定性。
多晶硅
多晶硅在MEMS制造中常用于制造柔 性结构，具有较好的塑性和韧性。
玻璃
玻璃在MEMS制造中常用于制造光学 器件，具有较高的透光性和稳定性。
聚合物
聚合物在MEMS制造中常用于制造生 物传感器和柔性器件，具有较好的生 物相容性和可塑性。
集成化
未来的MEMS系统将更加集 成化，能够将多个MEMS器 件集成在一个芯片上，实现 更高效、更低成本的应用。
03
CATALOGUE
MEMS传感器与器件
加速度传感器
总结词
用于测量 物体运动状态的传感器
详细描述
加速度传感器是一种常用的MEMS传感器，主要用于测量物体运动状态的加速度。它通常由质量块和弹性支撑结 构组成，通过测量质量块因加速度产生的惯性力来计算加速度值。加速度传感器广泛应用于汽车安全气囊系统、 手机和平板电脑的姿态控制、运动检测等领域。
微纳米机电系统的设计与制造技术
微纳米机电系统的设计与制造技术微纳米机电系统（Microelectromechanical Systems，MEMS）是指一种利用微纳米级别工艺制造的微型机电系统。
它由微型电路技术、微机电技术和微纳米制造技术等融合而成，具有体积小、重量轻、易于集成和制造成本低等优点。
MEMS技术已经广泛应用于电子信息、生物医学、能源环保、航空航天等领域，成为新一代的技术革命。
一、微纳米机电系统的设计原则微纳米机电系统的设计原则包括以下几点：1. 功能多样性：微纳米机电系统应该具有多种功能，可应用于不同的场景和需求。
2. 高性能：微纳米机电系统应该具有高性能特点，例如高灵敏度、高稳定性和高精度等。
3. 低功耗：微纳米机电系统应该具有低功耗特点，以延长产品的使用寿命和提高性能。
4. 集成度高：微纳米机电系统应该具有高集成度，可以实现多种功能的集成。
5. 可靠性好：微纳米机电系统应该具有良好的可靠性和稳定性，以保障产品的正常使用。
6. 制造成本低：微纳米机电系统应该具有低制造成本特点，以提高产品的市场竞争力。
二、微纳米机电系统的制造工艺微纳米机电系统的制造工艺包括以下几个方面：1. 制造材料：微纳米机电系统的制造需要用到高纯度的材料，如硅、氧化硅、氮化硅、聚合物等。
2. 制造技术：微纳米机电系统的制造涉及到微纳米加工技术、光刻技术、等离子体刻蚀技术、离子注入技术、化学气相沉积技术等。
3. 制造工艺流程：微纳米机电系统的制造工艺流程包括大面积晶圆清洗、材料生长、图形化处理、刻蚀、离子注入、衬底去除等步骤。
4. 检测和测试：微纳米机电系统的制造需要经过严格的检测和测试，包括结构形状、机械性能、电学性能等方面。
5. 包装和封装：微纳米机电系统的包装和封装需要采用特殊的方法，以确保产品的性能和可靠性。
三、微纳米机电系统的应用领域微纳米机电系统的应用领域非常广泛，包括以下几个方面：1. 生物医学：微纳米机电系统可以用于生物医学领域，如人体细胞和组织的刺激、诊断和治疗，体内药物释放和监测等。
微机电系统
微机电系统（MEMS）设计与应用读书报告学院：电子科学与应用物理学院专业：电子与通信工程班级：038班学号：**********姓名：***1.MEMS的概念MEMS是Micro-Electro-Mechanical-Systems的缩写。
即微机电系统，它是在微电子技术的基础上发展起来的，融合了硅微加工、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技术，并应用现代信息技术构成的微型系统。
它包括感知和控制外界信息(力、热、光、生、磁、化等)的传感器和执行器，以及进行信号处理和控制的电路。
它是指可以批量制作的集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通信电路和电源等一体的微型器件或系统，其特征尺寸范围为1nm~10mm。
美国：MEMS— Micro-Electro-Mechanical-System欧洲：Micro System日本：Micro Machine其它：Micro & Nano 技术1.1微细加工的概念（1）、广义角度MEMS包含了各种传统精密加工方法和与传统精密加工方法完全不同的新方法，如切削加工、磨料加工、电火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微波加工、等离子体加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束加工、光刻加工、电铸加工等。
（2）、狭义角度MEMS主要指半导体集成电路制造技术，因为微细加工和超微细加工是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的，它们是大规模集成电路和计算机技术的技术基础，是信息时代、微电子时代、光电子时代的关键技术之一。
其加工方法多偏重于指集成电路制造中的一些工艺，如化学气相沉积、热氧化、光刻、离子束溅射、真空蒸镀以及整体微细加工技术。
1.2微细加工的发展历程19世纪的照相制版技术，诞生了光制造技术。
1959年，诺贝尔物理奖获得者Richard P. Feynman提出微型机械的概念。
1962年，加利福尼亚和贝尔实验室开发出微型硅压力传感器。
微机电系统及微细加工技术
微机电系统及微细加工技术微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是一种将微米尺度的机械结构、电子元器件和微处理器集成在一起的技术。
它利用微细加工技术来制造微小的机械设备和传感器，以实现对物理量、化学量和生物量的检测、测量和控制。
微机电系统的核心是微细加工技术，它是一种将传统的集成电路制造技术与微机械加工技术相结合的新技术。
通过微细加工技术，可以在硅基材料上制造出微小的机械结构和电子元器件，从而实现微机电系统的功能。
微机电系统的制造过程包括多个步骤，其中最关键的是光刻、薄膜沉积和蚀刻。
光刻是将光敏树脂涂覆在硅基材料上，并利用光刻机将图形投射到光敏树脂上，然后利用化学蚀刻将暴露在光下的部分去除，形成所需的结构。
薄膜沉积是将金属或者绝缘材料沉积在硅基材料上，用于制作电极、传感器等部件。
蚀刻是通过化学反应将硅基材料腐蚀，从而形成微小的结构。
微机电系统具有多种应用领域。
在生物医学领域，微机电系统可以用于制造微型传感器，实现对生物体内生理参数的监测。
在环境监测领域，微机电系统可以用于制造微型气体传感器，实现对空气中有害气体的检测。
在信息技术领域，微机电系统可以用于制造微型显示器和微摄像头，实现信息显示和图像采集。
此外，微机电系统还可以应用于汽车行业、航空航天领域和工业控制领域等。
微机电系统在实际应用中面临着一些挑战。
首先，微机电系统的制造过程非常复杂，需要高度精确的设备和工艺控制，制造成本较高。
其次，微机电系统的性能和可靠性受到环境和温度的影响，需要进行合理的封装和温度补偿。
最后，微机电系统的集成度和功耗也是一个挑战，需要在保证性能的同时尽量减小尺寸和功耗。
微机电系统是一种基于微细加工技术的新型集成技术，具有广泛的应用前景。
随着微细加工技术的不断发展和改进，微机电系统将在多个领域发挥重要作用，为人们的生活和工作带来更多便利和创新。
北京邮电大学 微机电系统(MEMS)的系统介绍与论述
VLSI系统设计与CAD方法期末论文电子工程学院2012111203班黄奕龙学号：2012140619微机电系统(MEMS)的系统介绍与论述摘要：微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
本文主要的内容是对其的原理特点与应用等进行了介绍和论述。
关键字：MEMS；微机电系统；Abstract:MEMS(Microelectromechanical Systems) is a an industrial technology which is an integration of microelectronic technology and mechanical engineering,and it can massify micro-institutions, micro sensors, micro actuators and signal processing and control circuits,interface, communicationand power into one system.This paper is to introduce and discuss the principle,characteristics and applications of MEMS. Keyword:MEMS; Microelectromechanical Systems;简介微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。
比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。
微机电系统MEMS简介
OMOM智能胶囊消化道内窥镜系统
• 金山科技集团研制的胶囊内镜
“胶囊内镜”是集图像处理、信息通讯、光电工程、生 物医学等多学科技术为一体的典型的微机电系统 （MEMS）高科技产品，由智能胶囊、图像记录仪、手 持无线监视仪、影像分析处理软件等组成。
工作时间：8小时左右 视 角 度：140度 视 距：3cm 分 辨 力：0.1mm 体 积：13mm ×27.9mm 重 量：<6g 外 壳：无毒耐酸耐碱高分子材料
20世纪80年代：
“表面微加工”技术在加速度计、压力传感器和其 他微电子机械结构制作中得到了应用。
20世纪80年代后期：
MEMS在世界范围内受到了广泛重视，在美国、欧洲和 亚洲，投入的研究资金和研究人员都以令人惊讶的速 度在大幅增长。MEMS正在处于蓬勃发展的关键时期， 不断地有新型器件和新型技术给予报道，人们见证了 基于MEMS技术的喷墨打印头、压力传感器、流量计、 加速度计、陀螺仪、非冷却红外成像仪和光学投影仪 等设备的不断开发和产业化的进程。（如同IC）
美国提出的硅固态 卫星的概念图，这 个卫星除了蓄电池 外，全由硅片构成 ，直径仅15cm。
生物医疗和医学上的应用
微机械技术在生物医疗中的应用尤其令人惊叹。例如:将微型传感器用 口服或皮下注射法送入人体,就可对体内的五脏六腑进行直接有效的监测。 将特制的微型机器人送入人体 ,可刮去导致心脏病的油脂沉积物,除去体内的 胆固醇,可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机 器人放入眼球内,在细胞操作、细胞融合、精细外科、血管、肠道内自动送 药等方面应用甚广。 MEMS的微小可进入很小的器官和组织和能自动地进行细微精确的操作的特 点 ,可大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,降低手术风 险。同微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试,MEMS时,可进行基因 分析和遗传诊断 ,利用微加工技术制造各种微泵、微阀、微摄子、微沟槽、 微器皿和微流量计的器件适合于操作生物细胞和生物大分子。所以,微机械 在现代医疗技术中的应用潜力巨大,为人类最后征服各种绝症延长寿命带来 了希望。
2++微机电系统功能材料++3微机械制造技术
绝缘体：电阻率 108cm
常用材料的电阻率
硅材料特性
1、硅在集成电子线路和微电子器件生产中有着 广泛的应用，主要是利用硅的机械特性和电学 特性。
2、特殊的晶体结构使其具有各项异性，通过掺 杂获得的p型硅和n型硅具有不同的导电性能和 机械性能。
多晶硅敏感电阻压力传感器
多晶硅压阻膜压力传感器输出特性
硅－蓝宝石（SOS）
硅－蓝宝石材料是通过外延生长技术将硅 晶体生长在蓝宝石（ -Al2O3 ）衬底上形 成的。硅晶体可以认为是蓝宝石的延伸部 分，二者构成硅－蓝宝石SOS晶片。
硅－蓝宝石特点
1、蓝宝石材料为绝缘体；
2、蓝宝石材料的迟滞和蠕变小到可以忽略不计； 3、蓝宝石化学稳定性好，耐腐蚀，抗辐射性能 强； 4、蓝宝石机械强度高。 5、硅－蓝宝石材料又脆又硬，其硬度仅次于金刚
陶瓷材料是以化学合成物质为原材料，经过精 密的成型烧结而成。烧结前，严格控制合成物 质的组份比，便可以研制成适合多种用途的功 能陶瓷，如压电陶瓷（电致伸缩材料）、半导 体陶瓷、导体陶瓷、磁性陶瓷及多孔陶瓷等。
压电陶瓷是陶瓷经过电极化之后形成的，电极 化之后的压电陶瓷为各向异性的多晶体。
压电陶瓷的特点
第二部分 微机电系统功能材料
MEMS 常用材料
半导体材料：硅及其化合物等。
电致伸缩材料：压电陶瓷、氧化锌、石英等。
磁致伸缩材料：镍铁合金等。
形状记忆材料：镍钛合金等。
其它：特殊功能聚合物、复合材料及人工构造薄膜材料、
电流变液或磁流变液材料、纳米相材料等。
选用依据及实例：
具体设计时，应根据微型元器件的功能，选用能获取系统 性能的材料。
机械设计中的微机电系统与纳米技术
机械设计中的微机电系统与纳米技术随着科学技术的不断进步，机械设计领域也得到了前所未有的发展。
其中，微机电系统（MEMS）和纳米技术成为了许多创新设计的关键。
本文将探讨机械设计中的微机电系统与纳米技术的应用和前景。
一、微机电系统（MEMS）概述微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，简称MEMS）是一种结合微电子技术、微机械技术和信息处理技术的综合性新技术领域。
它的特点是器件结构和功能被集成在微米或毫米尺寸的硅基片上，具有体积小、重量轻、低功耗和低成本等优势。
MEMS技术广泛应用于传感器、执行器和微电子机械系统等领域。
例如，加速度计、陀螺仪、压力传感器等都是MEMS技术在机械设计中的重要应用。
通过MEMS技术，可以实现对物理量的高精度测量和控制，为机械设计带来了巨大的便利。
二、纳米技术在机械设计中的应用纳米技术是指对原子、分子和超分子尺度的物质进行控制和制造的技术。
它利用纳米尺度的特性，可以对影响机械设计性能的各个因素进行精确调控，从而实现更高的性能和更小的体积。
1. 纳米涂层技术纳米涂层技术是利用纳米级材料对表面进行涂层处理的一种技术。
通过在机械零件表面形成纳米级的保护层，可以提高零件的硬度、耐磨性和耐腐蚀性，延长使用寿命，并减小摩擦系数，提高机械传动效率。
2. 纳米材料应用纳米材料可以用于制造更小、更轻的机械零部件。
例如，纳米碳管可以用来制造超轻、超强的机械结构，提高整体性能。
此外，纳米材料还可以用于制造高效的热导材料，提高机械零件的散热能力。
3. 纳米加工技术纳米加工技术是一种利用纳米级精度进行加工的技术。
通过纳米级的刀具和加工工艺，可以实现对微小尺寸结构的制造与加工。
这种技术可以应用于微机电系统的制造、纳米机械元件的加工等领域，为机械设计带来了更高的精度和可靠性。
三、微机电系统与纳米技术的前景微机电系统与纳米技术的结合在机械设计领域具有广阔的前景。
通过微机电系统，可以实现对机械运动和物理量的高精度控制与检测；通过纳米技术，可以实现对机械零件的精确制造与加工。
微机电系统课程概述
1、何谓MEMS，Sensors，Actuators，Transducers.MEMS通常指的是特征尺度大于1μm、小于1mm，结合了电子和机械部件，并用IC 集成工艺加工的装置。
它是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域，并集约了当今科学技术的许多新兴成果。
Sensors是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
Actuators是自动化技术工具中接收控制信息并对受控对象施加控制作用的装置。
执行器也是控制系统正向通路中直接改变操纵变量的仪表，由执行机构和调节机构组成。
Transducers是将信源发出的信息按一定的目的进行变换。
微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）是一种先进的制造技术平台。
微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感器、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。
传感器（英文名称：transducer/sensor）是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
执行器是自动控制系统中的执行机构和控制阀组合体。
它在自动控制系统中的作用是接受来自调节器发出的信号，以其在工艺管路的位置和特性，调节工艺介质的流量，从而将被控数控制在生产过程所要求的范围内。
转换器（converter）是指将一种信号转换成另一种信号的装置。
信号是信息存在的形式或载体。
在自动化仪表设备和自动控制系统中，常将一种信号转换成另一种与标准量或参考量比较后的信号，以便将两类仪表联接起来，因此，转换器常常是两个仪表（或装置）间的中间环节。
详细介绍：一、（micro-electromechanicalsystem—MEMS）微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感器、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。
MEMS技术及应用综述
MEMS封装材料
陶瓷封装材料
全金属封装电 感式传感器 塑料封装液位传感器
MEMS的封装方法
陶瓷封装 金属封装 塑料封装 气密性封装——必须由金属、陶瓷、玻璃材料形 成。 引线键合——可采用热压键合和热超声键合两种 方法。 倒装芯片技术——一种将晶片直接与基板相互连 接的封装技术。
倒装芯片结构示意图
合金、热膨胀型驱动器、超导驱动器
MEMS加工技术
微机械加工：湿法腐蚀、 受激准分子激光技术： 通过灼烧或蒸发对聚合 体等材料微加工
干法腐蚀、变速率腐蚀、
薄膜淀积
LIGA技术
剥离工艺：丝网印刷 表面微机械加工：采用结
技术，实现图形化的
贵金属薄膜层
体微机械加工技术：
用来加工多种可动 微机械结构
构层（多晶硅）和牺牲层 （氧化硅）两种薄膜材料 来加工微结构的加工工艺
信息、汽车、医学、宇航和国防等领域。
信息机械领域
如磁头、打字机、扫描器、超精细彩色喷墨打印头、微麦
克风，超大容量存储器等。
生物化学领域
利用微细加工，在厘 米见方的硅片上集成样品
预处理器、微反应器、微
分离管道、微检测器等微 型生物化学功能器件、电 子器件和微流量器件的微 型生物化学分析系统 ， 应用在智能机器人的触觉 系统上，人类的基因测序
孙蓓佳
读书笔记的要点
1
MEMS的概论
2 3 4 5
MEMS的封装技术 MEMS的技术基础 MEMS的应用研究 总结及发展趋势
MEMS的概述
MEMS(Micro Electromechanical System ，即微
电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及 信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源 于一体的微型机电系统。
微机电系统
（2）光刻电铸 LIGA 技术是将深度X 射线光刻、微电铸成 技术是将深度X 型和塑料铸模等技术相结合的一种综合性加 工技术，它是进行非硅材料三维立体微细加 工的首选工艺。LIGA 工的首选工艺。LIGA 技术制作各种微图形的 过程主要由两步关键工艺组成，即首先利用 同步辐射X 同步辐射X 射线光刻技术光刻出所要求的图 形，然后利用电铸方法制作出与光刻胶图形 相反的金属模具，再利用微塑铸制备微结 构。
பைடு நூலகம் 2.微细加工工艺
（1）半导体加工技术 半导体加工技术即半 导体的表面和立体的微细加工是在硅为主要 材料的基片上，进行沉积与腐蚀的工艺过程。 半导体加工技术使MEMS的制作具有低成本、 半导体加工技术使MEMS的制作具有低成本、 大批量生产的潜力。
1）光刻加工技术。光刻加工是用照片复印的 方法将光刻掩模上的图形印制在涂有光致抗 蚀剂（光刻胶）的薄膜或基材表面，然后进 行选择性腐蚀，刻蚀出规律图形。 2）体微型机械加工技术。体微型机械加工就 是一种对硅衬底的某些部位用腐蚀技术有选 择地除去一部分形成微型机械结构的工艺， 常用的主要有湿法腐蚀和干法腐蚀。 3）表面微型机械加工技术。表面微型机械加 工技术是在硅表面根据需要生长多层薄膜， 采用选择腐蚀技术，去除部分不需要的膜层， 在硅表面上形成是需要的形状，甚至是可动 部件
MEMS发展的目标在于，通过微型化、集成 MEMS发展的目标在于，通过微型化、集成 化来探索新原理、新功能的元件和系统，开 辟一个新技术领域和产业。MEMS可以完成 辟一个新技术领域和产业。MEMS可以完成 大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌 入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠 性水平提高到一个新的水平。21世纪MEMS 性水平提高到一个新的水平。21世纪MEMS 将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信 息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国 防和科学发展产生重大影响。
mems主要工艺
mems主要工艺MEMS（微机电系统）主要工艺是一种将微型机械结构与电子元件集成在一起的技术。
它通过制造微米级的机械结构和集成电路，实现了传感器、执行器和微型系统的功能。
MEMS主要工艺包括以下几个方面。
首先是材料选择和加工。
MEMS主要使用的材料有硅、玻璃、陶瓷、金属等。
这些材料具有良好的机械性能和化学稳定性，适合微型加工。
MEMS的加工技术主要包括光刻、薄膜沉积、湿法腐蚀、离子注入等。
这些技术能够实现微米级的结构制造。
其次是微加工技术。
MEMS的制造过程主要是通过微加工技术来实现的。
微加工技术包括光刻、薄膜沉积、湿法腐蚀、离子注入等。
光刻是将光敏材料暴露在紫外线下，通过光影效应形成图案，然后进行腐蚀或沉积等处理。
薄膜沉积是将薄膜材料沉积在基底上，形成所需的结构。
湿法腐蚀是通过溶液对材料进行腐蚀，形成微结构。
离子注入是将离子注入材料中，改变材料的性能。
其次是封装技术。
MEMS器件制造完成后，需要进行封装，以保护器件并提供连接接口。
封装技术主要包括封装材料的选择和封装工艺的设计。
常用的封装材料有环氧树脂、硅胶等。
封装工艺包括封装结构设计、封装材料的选择、封装工艺的优化等。
最后是测试和可靠性验证。
制造完成的MEMS器件需要进行测试和可靠性验证，以确保其正常工作和长期稳定性。
测试主要包括功能测试、性能测试和可靠性测试。
功能测试是检测器件是否能够实现设计的功能。
性能测试是评估器件的性能指标。
可靠性测试是评估器件在长期使用过程中的稳定性和可靠性。
MEMS主要工艺包括材料选择和加工、微加工技术、封装技术以及测试和可靠性验证。
这些工艺的应用使得MEMS能够实现微型化、集成化和高性能化的特点，广泛应用于传感器、执行器和微型系统等领域。
通过不断改进工艺技术，可以进一步提高MEMS器件的性能和可靠性，推动MEMS技术的发展。
微机电系统分析报告
微机电系统分析报告微机电系统（Micro-electro-mechanical systems, MEMS）是一种以微米尺度的微观机械设备、电路和系统为基础的技术体系。
该系统结合了电子、机械和材料科学，具有体积小、重量轻、功耗低和集成度高等特点，广泛应用于无线通信、医疗诊断、汽车控制、环境检测等领域。
本报告将从微机电系统的概念和分类、工作原理和应用等方面进行分析。
一、概念和分类微机电系统是一种利用微纳技术和集成电路技术制造微米级尺度的机械设备的系统。
它通常由微感知器件、微执行器件和微电子器件等组成，通过微机电传感器、微机电执行器实现对信号的检测和控制。
根据应用领域的不同，微机电系统可以分为加速度传感器、气压传感器、陀螺仪、压力传感器、光学器件等多个类别。
二、工作原理微机电系统通过微机电传感器将物理量转化为电信号，再经过微处理器的处理实现信号的放大和转换。
以加速度传感器为例，它采用压阻式或电容式传感方式，将物体的加速度通过微电子器件转化为电信号，再通过微处理器进行分析和处理。
三、应用领域微机电系统在无线通信、医疗诊断、汽车控制、环境检测等领域均有广泛应用。
在无线通信领域，微机电系统可以实现手机的运动感应和摄像头的自动对焦等功能；在医疗诊断领域，微机电系统可以用于心脏病监测和药物释放等应用；在汽车控制领域，微机电系统可以实现车辆稳定控制和平衡感应等功能；在环境检测领域，微机电系统可以用于气体浓度传感和水质检测等应用。
四、优势和挑战微机电系统具有体积小、重量轻、功耗低和集成度高等优势，可以实现高精度和多功能集成。
然而，微机电系统的制造和集成技术较为复杂，对设备和材料的要求较高，生产成本也相对较高。
五、发展趋势随着尺寸更小、功能更强的微机电系统的不断开发，微机电系统将逐渐应用到更多领域。
未来，微机电系统有望在智能家居、医疗治疗、军事安防等领域实现更广泛的应用。
综上所述，微机电系统是一种以微米级尺度的微观机械设备、电路和系统为基础的技术体系。
微机电系统综述
微机电系统综述摘要：微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域，集中了当今科学技术发展的许多尖端成果，在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔[1]。
本文介绍了微机电系统起源及研究发展的背景，综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、制作工艺、封装与测试等关键技术，介绍了微机电系统在微传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用，大量先进的MEMS器件有望在未来几十年中从实验室推向实用化和产业化。
关键词：MEMS；微机械加工；封装；测试；应用Abstract;Micro-electromechanical system(MEMS)，developed on the basis of microelectronics，is a scientific research frontier of multidiscipline and assimilates the most advanced achievements in current research and development．MEMS extends into various fields with wide application prospects，such as automotive electronics, aeronautics and astronautics，information communication, biomedicine，auto-control and defense industry，and so on．This paper introduces the basic theory research of MEMS development and its background.Summarizes the key technologies of MEMS such as device design，fabricating material, machining processes ,micro-packaging and testing．Further more，the typical applications and latest development in fields including micro-sensor，micro-actuator，micro-robot，micro air vehicle，micro-power energy system，micro biological chip are discussed．A plenty of advanced MEMS devices would be put into practicality and industrialization from laboratory in recent decades．Keywords:micro-electromechanical system; micro -machining; package; testing; usage1 引言微机电系统简称为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System），是利用微米/纳米技术，以微细加工为基础，将微传感器、微执行器和电子电路、微能源等组合在一起的微机电器件、装置或系统。
《微机电系统》课件
02
《微机电系统设计与制造》
03
《微机电系统应用》
THANKS
详细描述
新型的微型陀螺仪采用先进的微 制造工艺和新型材料，具有更高 的灵敏度和稳定性。未来，随着 技术的进步和应用需求的增长， 微型陀螺仪的发展前景将更加广 阔。
微型加速度计
总结词
详细描述
总结词
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微型加速度计是一种用于测 量物体运动状态的传感器， 也是微机电系统的重要应用 之一。
微型加速度计被广泛应用于 汽车安全气囊系统、手机游 戏控制、医疗器械等领域。 由于其具有体积小、重量轻 、响应速度快等优点，微型 加速度计在许多领域都得到 了广泛应用。
详细描述
微机械结构采用微型化的加工技术制作而成，具有体积小、重量轻、精度高等特点。常见的微机械结构有连杆、 齿轮、轴承等，它们在微执行器、微传感器等元件中发挥着重要作用。
微控制器
总结词
微控制器是微机电系统中的控制中心，用于实现系统的智能化和自动化。
详细描述
微控制器是一种集成度较高的集成电路芯片，具有数据处理、控制输出等功能。在微机电系统中，微 控制器负责接收传感器信号、处理数据和控制执行器动作，从而实现系统的自动化和智能化。
测试方法
对封装好的微机电系统进行性能测试，以确保其满足 设计要求。
可靠性评估
对微机电系统的寿命和可靠性进行评估，以确定其在 实际应用中的表现。
04
微机电系统的应用实例
微流体控制系统
总结词
微流体控制系统是微机电系统的一个重要应用， 它利用微小的流体控制元件和控制电路对流体进 行精确控制。
总结词
微流体控制系统的优点在于其高精度、低能耗、 低成本和易于集成等特性，使得它在许多领域具 有巨大的应用潜力。