激光干涉仪工作原理

激光干涉仪工作原理

激光干涉仪是一种用于测量光程差的仪器，基于激光干涉原理。其工作原理如下：

1. 激光发生器产生一束单色、相干、准直的激光光源。

2. 光源经过分束器后，被分为两束光线，各自经过不同的光路。

3. 分别经过不同的光路后，光线再次汇聚在一个检测平面上，形成干涉条纹。

4. 当两束光线的光程差为整数倍的波长时，即满足相干条件，干涉条纹会呈现明暗交替的条纹图案。

5. 通过调节其中一条光路的长度，即可改变光程差，从而改变干涉条纹的位置和形态。

6. 引入被测物体时，可以通过测量光程差的变化来获取被测物体的形貌或长度等信息。

7. 干涉条纹的观察可以使用目视或使用光电探测器等设备进行记录和分析。

激光干涉仪广泛应用于光学、物理、电子等领域中的测量和检测工作中，可以用于精密测量、表面形貌测量、物体位移测量等。其主要优点包括高分辨率、非接触性、非破坏性等。