高纯氢氟酸的介绍与生产

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氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺氢氟酸(HF)是一种无色透明的液体,在常温下有强烈的刺激性气味,能与水蒸气形成白色的烟雾。

其密度为1.15g/cm,沸点为19.5℃,熔点为-83.6℃。

氢氟酸具有强酸性,能与大多数金属发生反应,与玻璃、石英等硅酸盐类物质反应产生氟化物。

氢氟酸的强酸性和强腐蚀性使得其在生产、储存、运输等过程中需要特别注意安全。

二、氢氟酸的生产原理氢氟酸的生产原理主要是利用氟化物与硫酸反应生成氢氟酸。

反应方程式如下:H2SO4 + NaF → NaHSO4 + HF其中,NaF为氟化钠。

反应中产生的氢氟酸与反应溶液中的水分子相互作用,形成氢氟酸水溶液。

氢氟酸制备过程中,反应物质的纯度对产品的质量影响较大,因此需要对原料进行精细处理。

三、氢氟酸的生产工艺氢氟酸的生产工艺主要包括原料处理、反应过程、分离提纯、废气处理等环节。

1. 原料处理氢氟酸的原料主要是硫酸和氟化物。

硫酸通常以浓硫酸形式使用,而氟化物则需要进行精细处理。

一般采用氢氟酸水溶液和氢氟酸盐的混合物作为氟化物原料,其中氢氟酸水溶液需要进行脱色处理,以去除杂质。

2. 反应过程氢氟酸的生产反应是在反应釜中进行的。

反应釜通常采用碳钢或不锈钢制成,内壁需要进行特殊防腐处理。

反应釜内加入硫酸和氟化物原料,通过加热使其反应生成氢氟酸。

反应过程需要控制反应温度、反应时间、反应物料的搅拌等因素,以保证反应的充分进行。

3. 分离提纯反应产生的氢氟酸水溶液需要进行分离提纯。

常用的分离方法有蒸馏法、萃取法和结晶法等。

其中,蒸馏法是最常用的分离方法。

在蒸馏过程中,需要控制温度和压力,以保证产品的纯度。

4. 废气处理氢氟酸生产过程中,会产生大量的废气,其中含有氟化氢等有害物质。

废气处理方法主要有吸收法、氧化法和吸附法等。

吸收法是最常用的废气处理方法。

在吸收过程中,废气通过饱和的碱液或石灰水,将氟化氢等有害物质吸收掉,达到净化效果。

四、氢氟酸生产设备选型氢氟酸的生产设备主要包括反应釜、蒸馏塔、吸收塔、废气处理设备等。

高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产一、概述高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid ,分子式 HF ,分子量 20.01。

为无色透明液体,相对密度 1.15~1.18,沸点 112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。

能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。

腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。

易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。

高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC )和超大规模集成电路(VLSI )芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。

目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其它方面用量较少。

二、高纯氢氟酸的分类国际SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International )标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不同工艺技术的等级,具体见下表1。

表1 SEMI 国际标准等级国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准,其中,BV 系列标准比较常见,该标准共分为七个等级。

如:北京化学试剂用的就是BV 系列标准,具体见下表2。

表2 国内高纯试剂常用规格品级尘埃粒径尘埃粒子数各金属杂质含量适用于半导体ICSEMI 标准C1 (Grade1)C7 (Grade2)C8 (Grade3)C12 (Grade4)(Grade5)C11(VLSIGrade)金属杂质≤1ppm ≤10 ppb ≤1 ppb ≤0.1 ppb ≤0.01 ppb≤50 ppb 控制粒径μm ≥1.0≥0.5≥0.5≤0.2/≥0.5颗粒,个/mL≤25≤25≤5//≤250适应范围适用于>1.2μmIC 技术的制作适用于0.8-1.2μmIC 技术的制作适用于0.2-0.6μmIC 技术的制作适用于0.09-0.2μmIC 技术的制作适用于<0.09μmIC 技术的制作适用于0.8-1.2μmIC 技术的制作(非金属杂质含量)低尘埃5~10μm>2700个/100ml——≥5CMOS级≥5μm≤2700个/100ml≤500ppb(<1ppb)≥3μm(适合中小规模集成电路5μm技术用)BV—Ⅰ级≥2μm≤300个/100ml1~n×10ppb >2μm(属于标准电子级)(相当于ELSS级)BV—Ⅱ级≥2μm≤200个/100ml1~n×10ppb ≥1.2μm(属于标准电子级EL级) (相当于ELSSs级)BV—Ⅲ级≥0.5μm≤25个/ml≤10ppb 0.8~1.2μm(相当于SEMI-C7)(属于超大规模集成电路级VLSI或ULSI级)BV—Ⅳ级≥0.5μm≤5个/ml≤1ppb0.2~0.6μm BV—Ⅴ级≥0.2μm TBD≤0.1ppb0.09~0.2μm 目前,因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:①低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;②中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;③中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;④高档产品,适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。

氢氟酸研究报告

氢氟酸研究报告

氢氟酸研究报告氢氟酸是一种无色、刺激性气味的无机强酸。

它具有极强的腐蚀性,能够溶解玻璃、金属和其他许多物质。

氢氟酸不仅用于石油化工、电子、制药和建筑等领域,还是制备氟化物和高纯度金属的重要原料。

本次研究将重点探讨氢氟酸的化学和物理性质、制备方法和应用领域等方面。

一、氢氟酸的化学和物理性质氢氟酸的化学式为HF,相对分子质量为20.01。

它是一种无色透明液体,呈刺激性气味。

在空气中易吸湿,很容易挥发成为有毒的气体。

氢氟酸具有极强的腐蚀性,可以与许多金属、玻璃、石膏、水泥等材料反应,形成氟化物盐和水。

氢氟酸性质活泼,可以溶解包括并不仅限于金属、陶瓷和岩石等在内的大多数物质。

由于其具有较强的电负性和极短的吸附距离,所以它表现出极好的钝化和溶液反应性。

二、氢氟酸的制备方法1.草酸和氟化钙反应制备将草酸氢根与氟化钙溶液直接混合,加热至60℃左右,使反应进行。

反应后,将混合液过滤,过滤液就是氢氟酸水溶液。

随后,可以通过蒸馏提纯得到高纯度氢氟酸。

将三氯化铝和氢氟酸混合,加热至70℃左右,使反应进行。

反应后,将混合液冷却至室温,加入水稀释,生成氢氟酸水溶液。

该法可制备出相对纯度较高的氢氟酸,但反应后的产物中含有三氯化铝,需要进一步提纯。

三、氢氟酸的应用氢氟酸广泛应用于石油化工、电子、制药和建筑等领域,是制备氟化物和高纯度金属的重要原料。

1.石油化工氢氟酸可用于制备许多有机化合物,如氟化烃、氟化脂肪烃等,广泛应用于石油化工中的催化剂、防腐剂和合成材料等。

2.电子氢氟酸是电子制造业中重要的刻蚀剂。

在制造集成电路(IC)和光纤等电子产品时,需要将一些区域进行刻蚀和加工。

而氢氟酸能够对铝、硅、二氧化硅等材料进行刻蚀,是该领域不可或缺的化学品。

3.制药氢氟酸在制药业中也有广泛应用。

它可以制备许多重要的有机化合物,如试制核酸、氟尿嘧啶、氟米卡唑等药物,广泛应用于治疗糖尿病、癌症和传染病等方面。

4.建筑氢氟酸可用于清洁建筑材料表面,除去污垢和污染物。

氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺氢氟酸是一种极具腐蚀性的化学品,广泛应用于冶金、电子、化工等领域。

其生产工艺一直是工业界关注的焦点,本文将从氢氟酸的性质、生产工艺及安全措施等方面进行详细介绍。

一、氢氟酸的性质氢氟酸,化学式为HF,是一种无色透明的液体,具有极强的腐蚀性和刺激性。

其密度为1.15g/cm,沸点为19.5℃,熔点为-83.6℃。

氢氟酸可以溶解许多金属和非金属,如铁、铜、铝、锌、镁、钙、石灰石、玻璃等,且与硫酸、盐酸等强酸发生剧烈反应。

二、氢氟酸的生产工艺氢氟酸的生产工艺主要有湿法和干法两种。

1. 湿法生产工艺湿法生产氢氟酸的方法是将氢氧化钙与氢氟酸混合后反应,生成氟化钙和水。

反应方程式为:Ca(OH)2 + 2HF → CaF2 + 2H2O该反应需要在一定的温度和压力下进行,通常在160℃和2.5MPa 的条件下进行。

由于反应放热剧烈,因此需要加入冷却水进行控制。

反应结束后,将产生的氟化钙和水通过过滤分离,再用浓盐酸进行回收,得到纯度较高的氢氟酸。

2. 干法生产工艺干法生产氢氟酸的方法是将氟化钙和硫酸混合后反应,生成氢氟酸和二氧化硅。

反应方程式为:CaF2 + H2SO4 → 2HF + CaSO4该反应需要在高温下进行,通常在450℃左右进行。

反应结束后,将产生的氢氟酸通过冷却器进行冷却,得到液体氢氟酸。

三、氢氟酸生产的安全措施由于氢氟酸的极强腐蚀性和刺激性,生产过程中需要采取一系列安全措施。

1. 严格控制生产过程中的温度和压力,避免反应过程失控。

2. 生产过程中应加入足量的冷却水进行控制,避免反应放热过程过度。

3. 生产过程中必须佩戴防护服、呼吸器等防护设备,同时要求生产工人必须接受专业的培训和指导。

4. 生产过程中应严格控制氢氟酸的浓度和纯度,避免产生毒气等危险物质。

5. 生产车间应设置足够的通风设备,必要时应进行空气监测和排风处理。

四、结语氢氟酸是一种极具腐蚀性和刺激性的化学品,其生产工艺需要采取严格的安全措施。

电子级氢氟酸生产工艺和质量指标介绍

电子级氢氟酸生产工艺和质量指标介绍

电子级氢氟酸生产工艺和质量指标介绍电子级(高纯)氢氟酸是一种重要的化工原料,在半导体、电子、光学和其他精细化工领域有广泛应用。

其主要用途是用于刻蚀硅片和清洗半导体材料。

电子级(高纯)氢氟酸的生产工艺一般包括氟化矾石法和电解法两种。

氟化矾石法是将氢氟酸的原料矿石矾石与浓硫酸进行反应,生成氟化铝,然后用热蒸汽进行气化,生成气态氟化氢。

接下来,将气态氟化氢与空气中的水蒸气反应,生成氢氟酸。

这种方法可获得较高纯度的氢氟酸,但反应过程中需要高温和高压,工艺复杂,对设备要求较高。

电解法是将电解质性透明盐岩溶解在水中,经过电解,阳极会产生氧气,而阴极则产生氢气和氟气,从而通过电解生成氢氟酸。

这种方法的优点是工艺相对简单、操作方便,并且可连续生产。

但由于电解过程中存在多种杂质和杂质侵入的问题,所以其产出的氢氟酸需要经过进一步的纯化处理,以获得高纯度的电子级氢氟酸。

电子级(高纯)氢氟酸的质量指标主要包括纯度、水分、杂质和金属离子含量等。

一般来说,电子级(高纯)氢氟酸的纯度要求在99.999%以上,水分含量应控制在100ppm以下,杂质含量如氯离子、硫酸根离子等应低于1ppm。

金属离子如铁离子、铜离子等也应低于1ppm。

此外,颜色应无色透明、无悬浮物。

为了确保电子级(高纯)氢氟酸的质量,需要对生产过程进行严格的控制和监测。

比如,在氟化矾石法中,需要控制反应温度和压力,确保反应的高效进行,同时还要进行杂质的去除和纯化处理。

在电解法中,需要选用合适的电解质以及控制电化学条件,以减少杂质的产生。

而在后续的纯化过程中,常采用蒸馏、吸附等技术,去除残余的杂质和离子。

总而言之,电子级(高纯)氢氟酸的生产工艺和质量控制对于实现高纯度和稳定质量至关重要。

只有通过科学合理的工艺流程和严格的质量控制,才能生产出符合要求的电子级(高纯)氢氟酸,以满足精细化工产业的需求。

氢氟酸制备

氢氟酸制备

氢氟酸制备
氢氟酸是一种重要的有机化学原料,主要用作有机合成标准试剂、电解液以及系列有
机合成料中的活性催化剂和添加剂。

目前,氢氟酸已被广泛用于制造眼镜片、药物合成、
氟碳涂料、橡胶聚合物等。

在氢氟酸制备上,通常采用氟硫酸法或同位素法进行分离精馏。

氟硫酸法是最常用的氢氟酸制取方法,它的基本原理是将氟硫酸还原灼烧后,其中的
氢氟酸分离出来,然后经过除水和净化后,再经过真空精馏及分子筛蒸馏最后得出高纯氢
氟酸,但这种方法的效率低、成本高,由于氟硫酸的有毒性,在该过程中需要严格控制温度,否则容易形成有毒的中间产物,而该法一般只能得到比较低纯度(30%~40%)的氢氟酸。

同位素法是一种利用放射性同位素原理对氢氟酸进行分离精馏的技术,是由英国超级
分离公司开发的用于制备氢氟酸的技术。

这种方法的特点是利用同位素通过放射吸收,使
氢氟酸分子隔离了分离,有效防止混合应变形。

采用同位素法可以出产高纯度(>99.999%)的氢氟酸,同时可以无毒将氢氟酸从低纯度环境源中提取出来,是当今最受欢迎的一种氢
氟酸制备工艺。

从毒性来看,采用同位素法制备氢氟酸比氟硫酸法造出更安全的氢氟酸。

由于采用同
位素法技术,在制备过程中不会产生有毒物质,而采用氟硫酸法则需要严格控制温度,容
易产生有毒的中间产物,且温度不当也会降低产品的纯度。

总而言之,采用同位素法制备氢氟酸具有很多优势,可以出产出更高纯度的氢氟酸,
具有更高的可靠性;采用同位素法制备的氢氟酸毒性更低,制备过程更安全,而且成本更低;另外,该工艺还可以从低纯度环境源中提取出氢氟酸,使能源、原料以及废弃物得到
更好的回收利用。

氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺

氢氟酸生产工艺氢氟酸是一种无色透明的液体,具有强烈的腐蚀性和毒性。

它是一种重要的化工原料,广泛应用于制药、电子、冶金、纺织、玻璃等行业。

本文将介绍氢氟酸的生产工艺及其相关的注意事项。

一、氢氟酸的生产工艺氢氟酸的生产工艺主要有以下几种:1. 湿法生产工艺湿法生产工艺是氢氟酸的传统生产工艺,它通过氢氟酸的水解反应来制备氢氟酸。

具体的生产过程如下:(1)将氢氟酸气体通入水中,反应生成氢氟酸溶液;(2)反应结束后,将氢氟酸溶液过滤,去除杂质;(3)将氢氟酸溶液蒸发至一定浓度,得到纯度较高的氢氟酸。

2. 干法生产工艺干法生产工艺是一种新型的氢氟酸生产工艺,它是通过氟化铝和硫酸的反应来制备氢氟酸。

具体的生产过程如下:(1)将氟化铝和硫酸混合加热,产生气体;(2)将产生的气体冷却,生成氢氟酸。

3. 气相法生产工艺气相法生产工艺是一种高效的氢氟酸生产工艺,它是通过氟化氢和氟化铝的反应来制备氢氟酸。

具体的生产过程如下:(1)将氟化氢和氟化铝混合后,在高压下加热,产生气体;(2)将产生的气体冷却,生成氢氟酸。

二、氢氟酸生产过程中的注意事项1. 安全生产氢氟酸是一种具有强腐蚀性和毒性的化学品,生产过程中必须严格遵守安全操作规程,做好防护措施,确保生产过程的安全。

2. 环境保护氢氟酸生产过程中会产生大量的废水和废气,如果不加以处理就会对环境造成严重污染。

因此,在生产过程中必须严格遵守环保法规,做好废水和废气的处理工作,保护周围环境。

3. 质量控制氢氟酸是一种重要的化工原料,对其质量要求非常高。

在生产过程中必须严格控制各项工艺参数,确保生产的氢氟酸质量符合标准。

4. 能源消耗氢氟酸生产过程中需要大量的能源,如果能源消耗过大,不仅会增加生产成本,还会对环境造成影响。

因此,在生产过程中必须尽可能降低能源消耗,提高生产效率。

总之,氢氟酸是一种重要的化工原料,其生产工艺需要严格控制各项参数,确保生产的氢氟酸质量符合标准,同时还需要注重安全生产、环境保护和能源消耗等方面的问题,才能实现氢氟酸的高效生产和可持续发展。

国内外超净高纯氢氟酸产能调研

国内外超净高纯氢氟酸产能调研

国内外超净高纯氢氟酸产能调研
内容涵盖相关公司、厂家的产品及产能情况、价格变化、供应情况等内容,一般不低于1500字
一、概述
超净氢氟酸(HFS)是一种有机氢氟化合物,是重要的工业原料,用于制备消毒剂、精细化学品、助剂、阻燃剂、防腐剂和农药等,能够满足消费者的多样化需求。

因此,超净氢氟酸产能的调研一直是重要的课题。

根据国家统计局的数据,2023年中国超净氢氟酸产能达到了30.1万吨,而2023年的产能达到了33.4万吨。

二、全球具备超净氢氟酸产能的厂家
1、国内
当前,国内超净氢氟酸的产能主要集中在江苏、山东、湖北等地,具体厂家有:
(1)中石油天然气岛湖北分公司:致力于生产高纯度超净氢氟酸,其产品的纯度达到98.5%,该厂家目前的月产能达到3.5万吨。

(2)江苏石化南京化学厂:主要生产高纯度超净氢氟酸,其产品的纯度达到99.0%,该厂家的月产能达到3.2万吨。

(3)广西河池化工有限责任公司:致力于生产高纯度超净氢氟酸,其产品纯度达到98.0%,该厂家的月产能达到2.5万吨。

2、国外
在国外,主要有美国、德国、英国等几个国家具备超净氢氟酸产能。

具体厂家有:
(1)美国百特制药公司:主要生产高纯度超净氢氟酸,其产品纯度达到99.5%,该厂。

电子级氢氟酸简介演示

电子级氢氟酸简介演示
电子级氢氟酸简介演示
汇报人: 2023-11-22
目 录
• 电子级氢氟酸概述 • 电子级氢氟酸的质量要求 • 电子级氢氟酸的制备方法 • 电子级氢氟酸的安全使用与储存 • 电子级氢氟酸的市场与发展趋势
01
电子级氢氟酸概述
定义与性质
定义
电子级氢氟酸是一种高纯度、高 浓度的氢氟酸,主要用于微电子 、半导体等高科技行业。
食入处理
如果误食电子级氢氟酸,应立 即寻求紧急医疗帮助,切勿自
行催吐。
05
电子级氢氟酸的市场与发展趋 势
市场现状及需求
全球电子级氢氟酸市 场概述
全球电子级氢氟酸市 场规模及增长趋势
电子级氢氟酸应用领 域及需求分析
技术发展趋势与挑战Fra bibliotek电子级氢氟酸技术发展历程及现 状
电子级氢氟酸技术发展趋势及未 来发展方向
性质
电子级氢氟酸具有强酸性、腐蚀 性,以及在高温下易挥发等特性 。
电子级氢氟酸的应用领域
01
02
03
微电子行业
用于清洗硅片、刻蚀二氧 化硅等,是微电子制造过 程中不可或缺的工艺化学 品。
半导体行业
在半导体的制造过程中, 用于清洗、刻蚀和掺杂等 工艺。
其他领域
如光伏、平板显示等高科 技行业,都离不开电子级 氢氟酸的支撑。
应用范围
该方法适用于大规模生产 ,是目前主流的制备方法 之一。
氟化铵法
化学反应
氢氟酸与氟化铵在高温下发生化 学反应,生成电子级氢氟酸。
反应条件
需要在高温高压下进行反应,通常 需要使用催化剂。
应用范围
该方法在某些特殊情况下使用,如 需要更高纯度的氢氟酸。
其他制备方法
氟化盐法

国内外超净高纯氢氟酸需求讲解

国内外超净高纯氢氟酸需求讲解

国内外超净高纯氢氟酸需求讲解国内外超净高纯氢氟酸需求分析1 超净高纯氢氟酸用途电子级氢氟酸主要是作为清洗剂和蚀刻剂用于光伏产业(光伏电池制造)、集成电路(集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片制造)和玻璃减薄(液晶显示器件制造)等行业,是关键辅助材料之一。

在光伏产业中,用于硅片表面清洗、蚀刻;在集成电路和超大规模集成电路制造中,用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等;在玻璃减薄行业中,用于液晶显示器玻璃基板的清洗、氮化硅及二氧化硅蚀刻等。

超净高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水、氢氧化铵、氟化铵等配置使用,还可作为分析试剂和制备高纯含氟化学品。

2 国内外超净高纯氢氟酸分类由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大,从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多,生产规模不断扩大,但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同。

为了能够规范世界超净高纯试剂的标准,国际半导体设备与材料组织(SEMI,即Semiconductor Equipment and Materials Intemational)于1975年成立了SEMI化学试剂标准委员会,专门制定超净高纯试剂的国际标准。

目前国际SEMI标准化组织将超净高纯试剂按应用范围分为4个等级:(1)SEMI-C1标准(适用于>1.2Lm IC工艺技术的制作);(2)SEMI-C7标准(适用0.8~1.2Lm IC工艺技术的制作);(3)SEMI-C8标准(适用于0.2~0.6Lm IC工艺技术的制作);(4)SEMI-C12标准(适用于0.09~0.2Lm IC工艺技术的制作)。

SEMI国际标准等级见表1。

表1 SEMI国际标准等级我国超净高纯试剂的研制起步于20世纪70年代中期,1980年由北京化学试剂研究所(以下简称试剂所)在国内率先研制成功适合中小规模集成电路5Lm技术用的22种MOS级试剂。

随着集成电路集成度的不断提高,对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严,同时对生产环境、包装方式及包装材质等提出了更高的要求。

电子级(高纯)氢氟酸生产工艺和质量指标介绍

电子级(高纯)氢氟酸生产工艺和质量指标介绍

电子级(高纯)氢氟酸生产工艺和质量指标介绍一、氢氟酸生产主要流程介绍1.将浮选厂烘干的萤石粉将萤石送至萤石贮仓。

通过尘气体经旋风分离器、袋式除尘器排空,萤石贮仓的萤石粉经计量,用调速螺旋送至回转反应炉。

2. 将发烟硫酸和被硫酸吸收塔吸收了尾气中HF的硫酸送至混酸槽,在此与来自洗涤塔的稀酸混合。

3. 混酸进入回转反应炉;回转反应炉用烟道气经夹套间接加热来满足反应所需的热量。

炉尾排出的炉渣用消石灰中和过量酸后经炉渣提升机送至炉渣贮斗。

4. 反应的产物气体首先进入除尘器、洗涤塔除尘、冷却,而后依次进入初冷器、HF一级凝器和HF二级冷凝器。

5. 在初冷器得到的冷凝液返回洗涤塔;在HF冷凝器得到的冷凝液经过粗HF贮槽进入精馏塔除去H2SO4、H2O等重组分。

6.精馏塔釜液返回洗涤塔;塔顶馏出液进入脱气塔脱除SO2、SiF4等轻组分。

脱气塔釜液为产品。

7. HF二级冷凝器的未凝气和脱气塔塔顶排出的未凝气一起进入硫酸吸收塔,在此用硫酸吸收其中大部分HF,然后依次进入第一、第二水洗塔,生成氟硅酸。

8. 未被吸收的气体进入尾气塔,洗掉其中的大部分酸性气体后,未被吸收的气体排空。

尾气塔的洗涤液和地面冲洗酸性水送至废液处理装置,处理后的合格污水排入排水系统。

电子级氢氟酸概述目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。

如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,气体吸收技术可以用于大规模的生产。

另外,由于氢氟酸的强腐蚀性,采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重,因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关,垂直流向布置,原料( 无水氢氟酸和高纯水) 与中间产物可以依靠重力自上而下流动,高纯氢氟酸的制备在中部,产品过滤、灌装及贮存在底层。

此布置可减少泵输送,节省能耗,降低生产成本,同时可避免泵对产品的二次污染。

高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产高纯氢氟酸(Hydrofluoric Acid, HF)是一种无色液体,具有强烈的刺激性和腐蚀性。

它被广泛应用于许多工业过程中,例如制造冶金、电子产品、化工产品等。

本文将介绍高纯氢氟酸的性质、用途、生产过程以及相关安全注意事项。

1. 物理性质:高纯氢氟酸是一种无色液体,具有刺激性气味。

它的比重为1.15 g/cm³,沸点为19.5℃,密度较大,可以溶解许多物质。

2.化学性质:高纯氢氟酸具有强腐蚀性,可以与许多金属反应生成氢气和金属氟化物。

它可以溶解许多无机及有机化合物,并可以催化许多化学反应。

1.金属冶炼:高纯氢氟酸可以用作铝冶炼的剂,还可以净化其他金属的表面。

2.电子产品制造:高纯氢氟酸可以用于清洗半导体材料和制造电子元器件。

3.化学产品制造:高纯氢氟酸可以用于制造氟化物和氟代化合物,还可以作为催化剂。

1.氟化物原料制备:将氢氟酸盐与硫酸反应,制备氟硫酸。

然后,将氟硫酸与过量的硫酸反应,制备含有氟化物的硫酸溶液。

2.氢氟酸的制备:在适当的温度和压力下,将含有氟化物的硫酸溶液进行蒸发,然后用纯水进行稀释和冷却,最后得到所需浓度的高纯氢氟酸。

在高纯氢氟酸的生产和使用过程中,需要注意以下安全事项:1.高纯氢氟酸具有强烈的腐蚀性和刺激性,应进行严格的操作控制,佩戴防护手套、防护面具等个人防护设备。

2.高纯氢氟酸和水接触会生成氟化氢,氟化氢是一种剧毒的气体,对人体呼吸系统和皮肤有严重的伤害。

因此,在操作过程中应防止高纯氢氟酸与水接触,并保持良好的通风。

3.在储存和使用高纯氢氟酸时,需要使用特制的容器,储存区域应远离可燃材料和热源,以防止火灾和爆炸。

总结起来,高纯氢氟酸是一种具有强腐蚀性和刺激性的无色液体,广泛应用于金属冶炼、电子产品制造和化学产品制造等领域。

它的生产过程需要严格控制操作,并遵循相关的安全措施,以保障工作人员的安全。

高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产
一、高纯氢氟酸介绍
氢氟酸,也称氟酸,是一种异质的无色液体,化学式为HFO,沸点为20.2℃,无色,具有类似氟化物的气味。

氢氟酸是一种危险的有毒化学品,具有极强的腐蚀性。

氢氟酸具有良好的溶解性能,可溶于水,乙醇,乙醚
和苯。

氢氟酸的主要用途是用于制备重金属氟化物,如钛氟化物,混合金
属氟化物,金氟化物和银氟化物,还可用于有机合成中。

氢氟酸可分为工业纯度和高纯度氢氟酸两种。

高纯氢氟酸是用特殊的
过滤技术精制而成,其外观为清澈的淡黄色液体,无沉淀物,特性有非常
优良的纯度,腐蚀性,可以做到实验高精度的要求,安全性高,回收率高,用于化学品的合成以及多种实验检测。

二、高纯氢氟酸生产
(1)原料准备
用于生产高纯度氢氟酸的原料主要有氯气、硫酸、氨水和硫酸钡,这
些原料必须经过严格的检验,以确保生产出的氢氟酸的质量达到要求。

(2)分离。

氢氟酸法提纯

氢氟酸法提纯

氢氟酸法提纯
氢氟酸法提纯是一种常用的无水氢氟酸(HF)纯化方法。


基本原理是通过冷凝去除杂质和水分,从而获得高纯度的氢氟酸。

下面是一种可能的氢氟酸法提纯步骤:
1. 准备实验室设备:包括氢氟酸蒸馏装置、冷凝器和真空泵等。

2. 将原始氢氟酸样品倒入蒸馏装置中。

3. 打开真空泵,创建适当的真空环境。

4. 加热蒸馏装置,并将其中的氢氟酸样品蒸发。

5. 通过冷凝器冷却蒸发的气体,使其恢复为液体。

6. 冷凝器会将大多数杂质和水分捕捉下来,保持纯净。

7. 将收集到的纯净氢氟酸收集到新的容器中。

8. 重复上述步骤,直到达到所需纯度。

要注意的是,在进行氢氟酸法提纯时,要小心操作,避免与氢氟酸接触,因为氢氟酸是一种强酸,具有强腐蚀性和剧毒性。

在使用氢氟酸进行实验操作时,应严格遵守安全操作规程,并配备相应的防护装备。

国内外超净高纯氢氟酸需求分析概要

国内外超净高纯氢氟酸需求分析概要

国内外超净高纯氢氟酸需求分析概要超净高纯氢氟酸是一种具有极高纯度和优异性能的化学品,广泛应用于电子、光电、航空航天、农业、生物医药等领域。

本篇文章将对国内外超净高纯氢氟酸的需求进行分析,并提出一些建议。

一、国内超净高纯氢氟酸需求概况国内超净高纯氢氟酸的需求主要集中在电子、光电、化工和制药等领域。

电子行业是国内超净高纯氢氟酸的主要需求市场之一、随着信息技术的发展和电子产品的普及,电子行业对高纯度化学品的需求量不断增加。

超净高纯氢氟酸作为一种重要的电子化学品,广泛用于半导体制造、平板显示器、光伏电池和集成电路等领域。

光电行业也是国内超净高纯氢氟酸的需求市场之一、随着太阳能光伏行业的快速发展,超净高纯氢氟酸在太阳能电池的制造过程中发挥着重要作用。

此外,激光器、光纤通信等光电产品的生产也对高纯度化学品的需求不断增加。

化工行业是国内超净高纯氢氟酸的消费领域之一、超净高纯氢氟酸作为一种重要的化工原料,广泛应用于氟化工、有机合成和石油化工等领域。

随着中国化工行业的发展,对超净高纯氢氟酸的需求也将逐渐增加。

制药行业是国内高纯氢氟酸的重要应用领域之一、超净高纯氢氟酸在制药工艺中被广泛应用,主要用于有机合成、合成药物和分离纯化过程中。

随着我国制药工业的发展,对超净高纯氢氟酸的需求将持续增长。

二、国际超净高纯氢氟酸需求概况国际市场对超净高纯氢氟酸的需求主要来自于电子、半导体、光伏和光电通信等行业。

亚洲地区是国际超净高纯氢氟酸市场的主要消费地区。

中国、日本、韩国等国家的电子、光电和化工行业的快速发展,使得超净高纯氢氟酸的需求在亚洲地区不断增加。

欧洲地区的超净高纯氢氟酸需求相对较小,但随着欧洲光电行业和半导体制造业的发展,对超净高纯氢氟酸的需求也在逐渐增加。

三、建议面对国内外超净高纯氢氟酸的需求增长趋势,我国的化学品生产企业应积极适应市场需求,提高产品质量和生产效率,扩大产能,提升竞争力。

此外,我国的化学品生产企业还应加强技术研发,推动技术创新,提高产品附加值。

光伏级 氢氟酸

光伏级 氢氟酸

光伏级氢氟酸
1. 光伏级氢氟酸是什么?
光伏级氢氟酸是一种高纯度的氢氟酸,主要用于太阳能电池板的制造过程中。

它具有高腐蚀性和高反应性,能够有效地去除太阳能电池板表面的杂质和污染物,从而提高太阳能电池板的效率和性能。

2. 光伏级氢氟酸的制备方法
光伏级氢氟酸的制备方法一般采用氢氟酸蒸馏法。

首先将普通的氢氟酸加热至沸点,然后将产生的气体通过冷凝器冷却,最终得到高纯度的光伏级氢氟酸。

3. 光伏级氢氟酸的应用
光伏级氢氟酸主要应用于太阳能电池板的制造过程中。

在太阳能电池板的制造过程中,需要将硅片进行多次腐蚀和清洗,以去除表面的杂质和污染物。

而光伏级氢氟酸可以起到很好的腐蚀和清洗作用,从而提高太阳能电池板的效率和性能。

4. 光伏级氢氟酸的安全注意事项
光伏级氢氟酸具有高腐蚀性和高反应性,对人体和环境都具有一定的危害性。

因此,在使用光伏级氢氟酸时,需要采取一系列的安全措施,如佩戴防护服、手套、面罩等个人防护装备,保持通风良好,避免与其他化学品混合使用等。

同时,需要妥善存放和处理废弃物,以避免对环境造成污染。

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高纯氢氟酸的介绍与生产
一、概述
高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid,分子式 HF,分子量 20.01。

为无色透明液体,相对密度 1.15~1.18,沸点112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。

能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。

腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。

易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。

高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。

目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其它方面用量较少。

二、高纯氢氟酸的分类
国际SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不同工艺技术的等级,具体见下表1。

表1 SEMI国际标准等级
国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准,其中,BV 系列标准比较常见,该标准共分为七个等级。

如:北京化学试剂用的就是BV系列标准,具体见下表2。

表2 国内高纯试剂常用规格
目前,因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同,可将其划分为四个档次:①低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;②中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;③中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;④高档产品,适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。

三、制备方法与工艺
目前国内外制备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。

有的提纯技术如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。

因此,选择工艺技术路线时应视实际情况而定。

另外,由于氢氟酸具有强腐蚀性,采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

高纯氢氟酸生产装置流程布置要以垂直流向为主,原料无水氢氟酸和高纯水在上层,氢氟酸的提纯在中层,过滤、包装及储存在底层。

因为原料(无水氢氟酸和高纯水)与中间产物可以依靠重力自上而下流动,避免用泵输送,节省能耗,降低生产成本。

下面介绍一种精馏、吸收相结合的生产高纯氢氟酸的生产工艺。

将无水氢氟酸经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽,再通过流量计控制进入精馏塔,通过精馏操作得到精制后的氟化氢气体,并将其送入吸收塔,精馏塔残液定期排放并制成工业级氢氟酸。

在吸收塔中,通过加入经过计量后的高纯水,使精馏后的氟化氢气形成高纯氢氟酸,并且可采用控制喷淋密度、气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化,得到粗产品。

随后再经过超净过滤工序,使产品进一步混合和得到过滤,保证产品的颗粒合格。

最后在净化室内进行包装得到最
终产品——高纯氢氟酸。

具体工艺流程见下图1。

图1:高纯氢氟酸工艺流程图
AHF
杂质砷是高纯氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标,在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在,而且AsF3与氢氟酸的沸点相差不大,所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。

为去除杂质砷,可在精馏过程中,加入适量的强氧化剂(如高锰酸盐等)将三价态的砷进行氧化,使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。

四、配套设施
1、分析控制与产品检测
随着微电子行业制作技术的不断发展,对高纯氢氟酸的要求也越来越高——所需控制的颗粒粒径越来越小,金属及非金属杂质含量的要求越来越低(杂质都是微量甚至痕量即ppm甚至ppb/ppt/ppc级),这就要求生产企业须具有与之相匹配的分析控制与产品检测的能力。

然而,这些分析控制和产品检测设备价格昂贵,操作技术专业性强且要求较高,一般中小型企业很难承担和管理,因此,最终产品一般都是通过权威测试中心鉴定或直接交给用户试使用与鉴定,以得到客户认可。

制备高纯氢氟酸所应有的测试仪器如下:(1)电感耦合等离子高频质谱分析
仪(ICP—MS);(2)电感耦合等离子原子发射分析仪(IeP—AES);(3)原子吸收分光光度计;(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪;(5)离子色谱分析仪;(6)激光散射液体微粒计数器;(7)水表而杂质分析系统;(8)原予间力显微镜;(9)光学显微镜微粒计数器;(10)扫描电子显微镜;(11)光学膜厚测定和表面仿形仪;(12)表面张力测定仪;(13)空气中尘埃微粒测定仪;(14)水电阻率测定仪。

2、高纯水
高纯水是生产高纯氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到高纯氢氟酸的产品质量。

高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其它辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。

目前,高纯水的生产工艺较为成熟,较常见是先通过离子交换柱和微过滤器,得到普通纯水,然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理,最后配合杀菌和超微过滤便可得到高纯水。

3、包装
高纯氢氟酸具有强腐蚀性,而且由于在IC制作行业使用质量要求较高,所以对包装技术的要求较为严格。

首先,包装容器必须具有防腐蚀性,其次要防止产品出现二次污染。

目前最广泛使用的材料是高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)。

4、环境
厂房、分析室、仓库等环境是封闭的,而且要达到一定的洁净度,一般为10000级(随高纯氢氟酸产品等级而提高);还要保持一定的温度(22.2±2.5℃,具体操作部位控制在22.2±0.11℃)、湿度(40%左右,不得低于30%,不得高于50%)。

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