JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书

目錄

1.目的 (2)

2.範圍 (2)

3.權責 (2)

4.參考資料 (2)

5.儀器介紹 (2)

6.操作程序 (4)

7.注意事項 (8)

.

1.目的

本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。

2.範圍

HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。

3.權責

3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。修訂方式亦同。

3.2本工作指導書供相關操作人員參考。

4.參考資料

捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。

5.儀器介紹

5.1 External view of JSM-6700F

5.2 General view of column

6.操作程序

6.1 開啟SEM OPE switch

6.2 打開SEM電腦主機&螢幕

6.3 點選操作軟體視窗-- JEOL PC-SEM 6700(桌面)

6.4 確認SEM操作前步驟OK，檢視以下數值：

a.氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力≥5Kg

b.確認EDS及BEI detector已伸出chamber外

c.確認tilt位置在0

d.確認STAGE上WD在8mm及螢幕上WD在8mm

e.確認STAGE歸至原位X=35.00、Y=25.00、R=0.00

(Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange)

f.確認放大倍率縮至最小(250倍)

g.確認加速電壓是否在10KV

h.確認ROTATION 與BEAM SHIFT是否已歸位

i.確認Probe Current是否在7

j.確認EXCHANGE CHAMBER抽真空

k.確認

l.close (橘色燈亮)

6.5 將樣品置入試片載台

a.試片大小需符合JEOL specimen holders，將試片處理完後放置於樣品

holder上，試片高度不可超過樣品holder上方0.5公分，並確認試片已固

定好。

b.洩真空，按SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER(約一秒

鐘聽到“喀”一聲)

前室真空腔的扣型開關打開。

c.依holder上標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門之O-ring及電線，再關閉前室真空腔門。

d.抽真空，按CHAMBER

(約一秒鐘，

爍)(此

時前室真空腔和真空腔之間的

閥門會打開)，將試片傳送桿拉

下至水平，緩緩將試片座推入真空腔(

)。

e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。

6.6 設定加速電壓及WD (依試片及實驗需求而定)

。

6.7 檢視真空腔中的壓力()，等候PVG 值達到9.63×10-5 Pa 。

6.8

由藍色轉變成綠色)，待電流值達到設定值(一般設定值為10μA )。

6.9 (

)

，

Gun 和真空腔中的閥門即會打開。

6.10 調整影像

a.

25倍利用移

b.用搖桿控制

x 、y 位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。

c.調整聚焦及像差至影像清楚(先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像差x 、y ，直至影像清晰後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及

形的情況發生，應先調整FOCUS 再調整像差x 、y 直到影像完全清楚)。

6.11 傾斜觀察：

根據試片使用的holder size及STAGE上的WD查詢對照表調整tilt角度，不可超過上限規定。

6.12 BEI觀察：

a.確認tilt=0、WD不得低於8mm。

b.

c.視窗右上方)，約3~7秒BEI detector會自動進入chamber，此時

1

d.影像調整至清楚狀態(在SEI或LEI模式下)，再點選Image Selector

e.調整亮度及對比，若訊號太弱，則增加Probe Current(ㄧ般設定值為10)。

6.13 儲存影像

a.有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇)，若經FINE

VIEW使影像凍結。

b.此模式可將SEM之操作參數一併存入)儲存

影像，檔案可存成bmp、tif、jpg。

6.14 實驗結束步驟

a.(此時燈會亮起；Gun和真空腔中的閥門關閉)。

b.由綠色轉變成藍色)。

c.若有執行BEI或EDS觀察分析者，應將其detector伸出chamber。

d.復原相關設定(ex. Freeze、Fine view、放大倍率、Probe Current…等)

e.確認tilt=0、STAGE上WD=8mm及螢幕WD設定8mm。

f .確認STAGE歸位X=35.00、Y=25.00、R =0.00

(Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange)

g.

h.以試片傳送桿緩緩抽出試片座(()。

i.(約一秒鐘聽到“喀”一聲)

等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。

j.取出試片座，並檢查艙門之O-ring及電線。

k.(

閃爍)，使Specimen-exchange chamber維持真空。

l.填寫儀器使用記錄表及儀器使用檢查表。

7.注意事項

7.1 準備黏貼試片時請戴手套，並請ㄧ次戴好，以免手上的汗水和油脂污染

了手套，間接污染了試片座。(請儘量保持手套的乾淨、勤更換之)

7.2 試片的前處哩，包含使用Pt coater或將試片黏貼於銅基座及固定等步

驟，請各持有License的操作者自己親自動手，勿假手於他人，並多留意試片的清潔度。

7.3 holder及90。銅座請勿直接放入coater中鍍Pt。如試片欲直接固定於holder

上或欲作90。觀察時，鍍Pt請將試片以銅膠帶貼於載玻片上，再放入coater 中濺鍍，完成後在將其固定或貼於銅座上。

7.4 若試片不導電，需作鍍Pt處理時，請注意導電通路的製作。

7.5 試片就定位後，以空氣噴球或鎳子輕推試片確定其是否貼牢。