中国国家电子级超纯水标准.doc
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附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/
电阻
>1μ m
率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根
颗粒硝酸根硫酸根
25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L
≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L
/ml
*cm
EW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20
≥1
EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 **
注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准
指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ
18 以上，（95％时间）不低
电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13
于17
全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500
细菌个数，最大
10 100 ，个 /mL
铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500
总有机
201002001000 ，最大值，μg/L
电子级超纯水中国国家标准（GB/）
>1μm微
项目
比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别
μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L
18（ 95%的时间不低于
EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17）
15（ 95%的时间不低于
EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）