TFT—LCD制程简介
tft-lcd生产工艺
tft-lcd生产工艺
TFT-LCD是一种液晶显示技术,全称为薄膜晶体管液晶显示器。
TFT-LCD生产工艺主要包括以下几个步骤:
1. 基板清洗:将玻璃基板放入清洗机内,通过化学溶液和超声波清洗,去除表面的污染物和杂质。
2. 蒸镀:将清洗后的基板放入真空蒸镀机内,通过热蒸发或磁控溅射的方式,将ITO(氧化铟锡)等导电材料薄膜均匀地沉积在基板上,形成液晶显示器的电极。
3. 形成图形:利用UV曝光机将光掩膜与基板层叠在一起进行曝光,然后通过显影和蚀刻的步骤,去除未曝光的部分物质,形成规定的图形。
4. 涂布液晶层:将液晶原料涂布在形成图形的基板上,然后通过加热和冷却控制液晶分子的方向和排列,形成液晶层。
5. 定位贴合:将两块涂有液晶层的基板通过真空吸附的方式,精确地对准并叠放在一起,形成液晶显示区域。
同时,在两块基板的边缘区域添加背光源、驱动IC等组件。
6. 封装:将贴合好的基板放入封装机内,通过高温封装胶或薄膜封装胶封住整个液晶显示器结构,保护液晶显示区域以及内部电路。
7. 背光模组制造:制作背光源,通常采用CCFL(冷阴极荧光
灯)或LED(发光二极管),通过封装、组装等过程,将背
光源和液晶显示器组装在一起。
8. 电功能测试:对制作好的液晶显示器进行电功能测试,确保其正常工作。
以上是TFT-LCD生产工艺的基本流程,当然还有很多其他细
节的工艺步骤,如氧化硅沉积、染料封装等。
随着技术的发展,TFT-LCD生产工艺也在不断改进和完善,以提高产品的质量
和性能。
TFT—LCD制程简介
電晶體玻璃與彩色濾光片配向。
• 在整個組合的過程中,首先要為佈滿電晶 體的玻璃和彩色濾光片塗上一層化學薄膜, 然後再進行配向的動作。
TFT—LCD制程简介
組合電晶體玻璃與彩色濾光片
• 在組合兩片玻璃之前,要先平均佈滿類似球狀的 間隙子固定間隔,以免液晶面板組合後,兩片玻 璃向內凹曲,通常液晶面板在組合時,會留下一 個或二個缺口,以利後續灌入液晶, 接著就以框 膠及導電膠封在兩片玻璃邊緣,如此就完成玻璃 的組合。
• 光阻層定型後,用蝕刻進行濕式蝕刻, 將 沒有用的薄膜露出, 亦可用電漿的化學反 應進行乾式蝕刻,蝕刻後再將留下的光阻 以溜液除去,最後就產生電晶體所需要的 電路圖案
•
总结以上参考13
TFT—LCD制程简介
液晶面板之製作過程
• 完成了薄膜電晶體玻璃基板後,就要進行 液晶面板的組合。液晶面板是由電晶體玻 璃基板與彩色濾光片組合而成,首先要將 玻璃洗乾淨,再進行下一個步驟。
• 要使玻璃基板镀上金屬薄膜,需先將金屬 材料放在真空室內,讓金屬上面的特殊氣 體產生電漿(Plasma)後,金屬上的原子就會 被撞向玻璃,然後形成一層層的金屬薄膜
TFT—LCD制程简介
玻璃基板鍍上不導電層与半導體層
• 鍍完金屬薄膜後,還要鍍上一層不導電層 與半導體層。在真空室內,先將玻璃板加 溫,然後由連接直流高壓電的噴灑氣噴灑 特殊氣體,讓電子與氣體產生電漿,經過 化學反應後,玻璃上就形成了不導電層與 半導體層。
➢ Backlight ----由於液晶顯示器為非發光型,為了強化顯示的能見度,將 液晶面板背面的光加以投射之裝置。光源以螢光燈管為主流,分為冷 陰極管與熱陰極管。構造上可分為直下型與側光型。
TFT—LCD制程简介
TFT-LCD制作流程 通俗
TFT-LCD制作流程•TFT-LCD 是由两片偏光板,两片玻璃,中间加上液晶,另外再加上背光源组成的。
TFT-LCD内有二片垂直的偏光片及二片玻璃。
只要用电就可以让液晶改变光的方向。
TFT-LCD的组成•液晶可以把光留在显示器里。
也可以让它通过最上面的玻璃,最后变成屏幕上的色彩明暗变化了。
TFT-LCD的显示原理•除了偏光片外,液晶显示器里还有一片很多很多电晶体的玻璃,一片有红绿蓝(R.G.B)三种颜色的彩色滤光片及背光源,当屏幕显示蓝天的时候,有电晶体的玻璃就会发出讯号。
只让蓝光可以穿透彩色滤光片,而将红色光及红色光留在显示器里面。
这样我们在显示器上就只能看到蓝色的光了。
彩色滤光片的作用•制造TFT-LCD主要有三个重要的流程:1.阵列制程2.组立制程3.模组制程1.阵列制程•1)一片表面光滑,没有任何杂质的玻璃,是制造TFT玻璃基板最主要的原料.在制作之前,需用特殊的冼净液,将玻璃洗得干干净净,然后脱水,甩干.玻璃清洗•2)要使玻璃基板镀上金属薄膜,需先将金属材料放在真空室内,让金属上面的特殊气体产生电浆后,金属上的原子就会被撞向玻璃,然后就形成一层层的金属薄膜了.镀金属膜•3)镀完金属膜后,我们还要镀上一层不导电层与半导电层,在真空室内,先将玻璃板加温,然后由高压电的喷洒器喷洒特殊气体,让电子与气体产生电浆,经过化学反应后,玻璃上就形成了不导电层与半导体层。
镀不导电层和半导体层•4)薄膜形成后,我们要在玻璃上制作电晶体的图案。
首先,要进入黄光室喷上感光极强的光阻液,然后套上光罩照射蓝紫光进行曝光,最后送到显影区喷洒显影液,这样可以去除照光后的光阻,还可以让光阻层定型哦。
光阻定型5)光阻定型后,我们可用蚀刻进行湿式蚀刻,将没有用的薄膜露出,也可用电浆的化学反应进行干式蚀刻,蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除,最后就产生电晶体所需要的电路图案了。
制作电晶体的图案•6)要形成可用的薄膜电晶体,需要重复清洗,镀膜,上光阻,曝光,显影,蚀刻,去光阻等过程,一般来说,要制造TFT-LCD,就要重复5到7次。
TFT-LCD制造流程及光学规格介绍--080527
TFT-LCD制造流程及光学规格介绍--080527 TFT-LCD(Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display)是一种常见的液晶显示技术,具有高分辨率、低功耗和透明度高等优点,广泛应用于电视、计算机显示屏和智能手机等设备中。
TFT-LCD的制造流程涉及多个步骤,包括基板准备、涂层和蒸镀、光刻、切割和封装等过程。
下面将详细介绍TFT-LCD的制造流程以及相关的光学规格。
1.基板准备:首先选择透明的玻璃或塑料基板,然后通过化学和机械方法清洁基板表面,确保其光洁度和平整度。
2.涂层和蒸镀:将玻璃基板放入真空蒸镀机中,通过蒸发或溅射技术,在基板上形成一层导电薄膜。
通常使用氧化铝或氧化锡作为导电材料。
3.光刻:在涂有导电薄膜的基板上涂覆光刻胶,然后使用光刻机将模具上的图案通过紫外线照射到光刻胶上,形成图案。
之后,通过化学方式去除未曝光的胶层,露出导电薄膜,以形成导线和晶体管等结构。
4.切割:将制成的玻璃基板切割成所需尺寸的小片。
每个小片将成为一个液晶显示单元。
5.封装:将液晶和背光模组组装在一起,形成完整的液晶显示模组。
这一步骤包括背光源、导线连接和封装密封等过程。
1.分辨率:指显示屏上的像素数量。
分辨率越高,显示的细节越清晰。
2.对比度:指显示屏最亮部分和最暗部分亮度之间的比例。
对比度越高,显示效果越好。
3.反应时间:指液晶分子从一种状态过渡到另一种状态所需要的时间。
快速的反应时间可以减少运动模糊和图像残影。
4.视角:指从不同角度观察显示屏时,图像依然能够保持良好的可视性。
广视角意味着观看者可以从不同角度获得清晰的图像。
5.亮度:显示屏的最大亮度水平。
高亮度可以提升显示效果,使图像更加鲜艳。
总结起来,TFT-LCD的制造流程包括基板准备、涂层和蒸镀、光刻、切割和封装等步骤。
而TFT-LCD的光学规格涉及分辨率、对比度、反应时间、视角和亮度等方面。
通过这些制造流程和光学规格的控制,可以生产出高质量的TFT-LCD显示屏。
tft lcd生产工艺流程
tft lcd生产工艺流程TFT LCD(Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display)是一种采用薄膜晶体管技术制作的液晶显示器。
下面是关于TFTLCD生产工艺流程的简要介绍。
第一步:基板准备TFT LCD的制造过程首先需要准备好基板。
常见的基板材料有玻璃和塑料,通常使用的是玻璃基板。
基板会经过清洗和表面处理等步骤,确保其表面干净平整。
第二步:背板制备接下来需要制作液晶显示器的背板。
背板通常是由非晶硅等材料制成,分为多个层次,包括玻璃、金属层和透明导电层等。
这些层次通过物理沉积和化学气相沉积等方法形成。
第三步:薄膜晶体管制备在背板上制作薄膜晶体管(TFT)是制造TFT LCD的关键步骤。
首先,在背板上涂覆一层非晶硅薄膜,然后使用光刻技术将其进行精确刻画。
接着,通过光刻和铜蒸发等技术制作导线,形成TFT电路。
最后,使用激光修复技术进行检查和维修。
第四步:液晶贴合液晶贴合是将液晶层与TFT基板粘接在一起的过程。
首先,将液晶层通过喷洒、滚压或涂覆等方式涂覆在TFT基板上,然后使用蒸发技术制备对齐膜。
接着,将液晶层和TFT基板对齐,然后进行加热和压力处理,使其牢固贴合在一起。
第五步:封装在液晶贴合完成后,需要对TFT LCD进行封装。
这涉及将TFT LCD置于玻璃基板之间,形成密封结构。
然后将结构封装在金属或塑料外壳中,以保护内部结构。
第六步:测试和检验生产完毕后,对TFT LCD进行测试和检验是确保质量的关键步骤。
这包括对液晶显示器的像素、亮度、对比度和色彩等方面进行检测,并进行修复或调整。
总结:以上是TFT LCD生产工艺流程的简要介绍。
整个制造过程包括基板准备、背板制备、薄膜晶体管制备、液晶贴合、封装和测试等步骤。
每个步骤都需要高度的精确度和技术要求,以确保TFT LCD的质量和性能。
TFTLCD理论及制程介绍
注意事項: 1.組裝底反射片,亮面須朝上。 2.組裝Rubber,須防止塑膠鑷子尖端刮傷導
光板。 3.上下棱鏡片的區別,目視上棱鏡片的紋路
爲水平形狀,下棱鏡片爲垂直形狀。
Back Light結構:
楔型結構(側光式)
燈管反射罩
冷陰極管
擴散板 U 稜鏡片II
稜鏡片 I 擴散板 L
導光板 反射板
Light Guide簡述:
F(b)
Adhesion
F(b)
F(p)
F(p)
接合
Insulation
ACF接合之因素:
温度
圧力
時間
Aቤተ መጻሕፍቲ ባይዱF之接合,由時間,溫度,壓 力組合而成。
Exp.)160℃-4Mpa-10sec ⇒ 温度&時間 :10秒後,到達160度 圧力 :(推力)/(接続總面積)が4Mpa
即使設定正確,但溫度或壓力不均,仍會造成接 合不良的情形.
PBI= Post Bonding Inspection=LOT=Light On Test
Silicon Dispenser:
機台
Dispenser
注意事項:須塗布均勻,不可溢膠,膠不可塗上IC。 作用:1.防止線路受潮腐蝕,增加産品信賴性。2.防塵及異物造成
刮傷。3.防振,增加元件耐振性。
Aging及Aging檢驗:
LED的特性: 1.亮度高 2.工作電壓低 3.功率小 4.小型化,驅
動簡單 5.壽命長,性
能穩定
LED的應用: 依其發光波長大致可以簡單分為可見光的 LED及不可見光LED二大類:
成品組裝Assembly示意(1.5“ ) :
下鐵殼置組裝治具中
Panel置入
TFT-LCD制程
什麼是TFT-LCD?圖1(a) 圖1(b)圖1. TFT-LCD架構及模組全工程Common electrode:LCD一般於上下透明電極間灌入厚度約3~4um的液晶層,藉灌入像素(Pixel)電極電壓的方式來控制液晶夾層電場大小,進而調節穿透光的強度,使產生介於全亮與全暗之間的灰階畫面(Gray level)。
目前LCD主要由彩色濾光片(Color filter, CF)、TFT陣列(TFT Array)基板和背光模組(Backlight)三大部分所組成如圖1 (a)。
TFT-LCD的每個Pixel均具有一組TFT來控制其電壓值,而欲使背光模組產生並透過LC的光線具有不同的顏色,那就需要紅、藍、綠(R/B/G)三種顏色的色阻成膜在CF玻璃上,搭配灰階產生全彩效果;在分別完成TFT陣列和CF基板製作後,接著將CF上板與TFT下板間灌注LC並對組貼合,最後附上偏光板(Polarizer),此段製程稱為「LCD製程」;而最後的「LCM製程」,其為驅動IC 以及控制電路板(PCBA)與玻璃基板的連接(JI Process),之後再與背光模組進行組裝(MA Process) ,最後就是模組的點燈檢測…等如圖1 (b)。
AUO TFT-LCD製程技術之優勢持續投資新世代廠房圖2. G8.5玻璃基板尺寸友達光電(以下簡稱友達)已發展至8.5代廠以上的製程,以生產大尺寸的液晶電視用面板(如圖2)。
2008年12月友達成功點亮國內第一片於G8.5廠房生產的46吋液晶電視面板,製程技術再度領先全台,在TFT-LCD新世代廠房的里程碑中寫下嶄新的一頁,亦建立TFT-LCD綠色廠房新典範。
G8.5玻璃基板尺寸相當於一張撞球檯的大小,但玻璃厚度卻不到1mm,因此新世代廠房需要更高的製程技術;隨著大尺寸面板的技術漸趨成熟,友達未來仍將持續專注於新世代廠房的開發,以提高產能、提升製程品質,瞄準客戶服務為目標持續邁進。
大力落實綠色生產技術次世代製程技術發展方向不外乎藉由簡化製程,及選用最佳化的原物料、零組件方式,以提升製程良率與產能,並降低生產成本。
TFT-LCD原理及制程简介--五道光罩
Channel(通道)
(i)a-Si:H
通道與電極之接觸介面 (n+)a-Si:H
Source/Drain 電極 Cr
Contact hole
SiNx
畫素電極
ITO
19
Mask 1:GE (Gate電極形成)
A
A
A’
1. 受入洗淨
A’
芝蒲
2. 濺鍍Cr (4000A)
ULVAC
3. 成膜前洗淨
島田理化/芝蒲
DNS 島田理化 ORBOTEC 田葉井
TFT元件製程結束 , 後流至ARRAY TESTER
24
靜電保護:避免因Gate與Source電極的電壓差,而對TFT產生
不良的影響,達到靜電保護的目的。
Source Driver
Gate Driver
Source 線 或 Gate 線
尖 端 放 電
Short Ring
41325.. CGSPDEH製製程程
玻璃基板
ITO層:1000Å
半導體層(a-Si):1500Å
歐姆接觸層(n+ a-Si):300Å
閘極(Gate):4000Å
閘極絕緣層 (SiNx):3000Å+1000Å
保護層(SiNx):3000Å
汲極金屬層(Drain):4000Å
源極金屬層(Source):4000Å
3.一般RON與ROFF電阻比至少約為105以上。
7
認識 TFT
D
S
D
SD
S
G
G
G
1. TFT為一三端子元件。 2.在LCD的應用上可將其視為一開關。 3.為何要採 Inverted Staggered 之結構?
TFT-LCD理论及制程介绍1
S-I-N
TI/AL/TI
PASSIVATION
ITO
Array制程簡圖 制程簡圖: Array制程簡圖:
檢查 清洗 TI/AL/TI, S-I-N, TI/AL/TI, PASSIVATION ITO Sputtering 薄膜濺鍍 薄膜Thin薄膜Thin-Film Thin (不含VIA層) PECVD化學 PECVD化學 氣相沉積
TFT-LCD(AV)理論及制程介紹 TFT-LCD(AV)理論及制程介紹 理論及制程
(Audio Video)
ENG:Neochen 2003.9.29
甚麼是TFT TFT甚麼是TFT-LCD ?
TFT-------薄膜電晶體 TFT----薄膜電晶體 Thin Film Transistor LCD-------液晶顯示器 LCD----液晶顯示器 Liquid Crystal Display
CELL MODULE
Filter之結構 之結構: TFT Color Filter之結構:
BM
IT 0.15 O CF 1.3 Si O2 Glass 0.7mm B M → 塗 佈 (R G B ) → S iO 2→ ITO 0 G B R G B R G B R SiO2
Filter簡述 簡述: Color Filter簡述:
液晶顯示器名詞解釋: 液晶顯示器名詞解釋:
(3)顯色差異(Color Shift) 從不同角度去看液晶顯示器,會發現顏色會隨著角度而變化,比 如說本來是白色畫面變得比較黃或比較藍,或是顏色變得比較淡 等等。隨著角度變大,當顏色的變化已經大到無法接受的臨界點 時,定義該角度為視角。 4.反應時間(Response Time) 從輸入信號到輸出影像所經歷之時間,一般液晶顯示器反應時間為 20~30msec(標準電影格式每畫面為40msec)。
tft lcd生产工艺流程
tft lcd生产工艺流程TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)是一种高质量的平面显示技术,广泛应用于计算机、电视、手机和平板电脑等电子产品中。
下面是一个简要的TFT-LCD生产工艺流程的概述,包括薄膜涂布、模制、曝光、切割、组装和测试等步骤。
首先,薄膜涂布是整个生产工艺的第一步。
在这个步骤中,生产商会使用具有特殊化学成分的溶液,将液晶的薄膜涂布在玻璃基板上。
这个溶液通常包含液晶分子、聚合物和其他添加剂。
薄膜涂布对于最终产品的质量和性能非常重要。
接下来是模制步骤,也称为亨德尔过程。
在这个步骤中,玻璃基板上的薄膜被切割成所需的尺寸和形状。
这些切割好的基板将成为液晶显示器的各个部分。
然后是曝光步骤。
在这个步骤中,通过将特定的光线照射在液晶层上,将所需的图案和图像“曝光”在液晶中,形成所需的像素。
这个步骤非常关键,因为它决定了TFT-LCD显示器的分辨率和图像质量。
接下来是切割步骤。
在这个步骤中,将刚刚曝光完毕的玻璃基板切割成所需的尺寸,并将其分成多个独立的显示器单元。
这样可以保证每个单元都能够独立地显示图像和信息。
然后是组装步骤。
在这个步骤中,经过切割的显示器模块将被组装成完整的显示器。
这包括将各个部件(如液晶层、背光模块和电路板)连接在一起,并且进行胶合和固定。
组装过程通常需要非常精确的工艺和设备,以确保显示器的性能和品质。
最后是测试步骤。
在这个步骤中,已经组装完成的显示器将经过一系列的测试,以确保其质量和性能达到要求。
测试项目可能包括像素点亮、亮度调整、对比度检测、颜色准确性等等。
只有通过各项测试的显示器才会被认为是合格的,可以被投放到市场上销售。
综上所述,TFT-LCD的生产工艺流程包括薄膜涂布、模制、曝光、切割、组装和测试等步骤。
这些步骤的每个环节都非常重要,对于最终产品的质量和性能起到了决定性的作用。
随着技术的不断进步,TFT-LCD的生产工艺也在不断演进和改进,以满足市场对高质量和高分辨率显示器的需求。
tft-lcd工艺
TFT-LCD工艺是一种制造液晶显示器的方法,以下是其详细步骤:
1.掩膜制作:在TFT-LCD的生产过程中,需要使用金属掩膜来定义每个像
素的位置。
通过光刻技术,将金属掩膜上的图案转移到底片上,形成像素点的排列。
这个步骤的关键是确保掩膜的制作精度和稳定性。
2.刻蚀:刻蚀是将底片上金属掩膜之外的区域去除,只保留需要的图案。
这
可以通过化学或物理的方式完成。
刻蚀是整个工艺中最关键的一步,任何偏差都可能导致显示器的质量问题,因此需要非常精确和细致的处理。
3.涂膜:在玻璃基板上涂布一层薄膜,如薄膜晶体管、色滤镜、间隔物等。
这层薄膜的质量会直接影响到TFT-LCD的品质。
4.成像:利用光刻技术将涂布在玻璃基板上的薄膜刻画成特定的形状,形成
电路和像素结构。
5.注入液晶:将液晶注入到已经制作好的TFT玻璃盒中,并施加电压使液
晶分子排列起来。
6.背光源:在TFT玻璃下方放置背光源,以提供光源照亮液晶像素。
7.测试与包装:对TFT-LCD进行测试和检查,确保其性能和质量符合要求,
并进行包装和运输。
以上步骤只是TFT-LCD工艺的基本步骤,具体的制造过程会因工艺和技术的发展而有所不同。
TFT-LCD技术及生产工艺流程简介
TFT-LCD技术及生产工艺流程简介概述TFT(Thin Film Transistor)LCD即薄膜场效应晶体管LCD,是有源矩阵类型液晶显示器(AM-LCD)中的一种。
液晶平板显示器,特别TFT-LCD,是目前唯一在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能上全面赶上和超过CRT的显示器件,它的性能优良、大规模生产特性好,自动化程度高,原材料成本低廉,发展空间广阔,将迅速成为新世纪的主流产品,是21世纪全球经济增长的一个亮点。
主要特点和TN技术不同的是,TFT的显示采用背透式照射方式假想的光源路径不是像TN液晶那样从上至下,而是从下向上。
这样的作法是在液晶的背部设置特殊光管,光源照射时通过下偏光板向上透出。
由于上下夹层的电极改成FET电极和共通电极,在FET电极导通时,液晶分子的表现也会发生改变,可以通过遮光和透光来达到显示的目的,响应时间大大提高到80ms左右。
因其具有比TN-LCD更高的对比度和更丰富的色彩,荧屏更新频率也更快,故TFT俗称真彩。
相对于DSTN而言,TFT-LCD的主要特点是为每个像素配置一个半导体开关器件。
由于每个像素都可以通过点脉冲直接控制。
因而每个节点都相对独立,并可以进行连续控制。
这样的设计方法不仅提高了显示屏的反应速度,同时也可以精确控制显示灰度,这就是TFT色彩较DSTN更为逼真的原因。
主要优点随着九十年代初TFT技术的成熟,彩色液晶平板显示器迅速发展,不到10年的时间,TFT-LCD迅速成长为主流显示器,这与它具有的优点是分不开的。
主要特点是:(1)使用特性好低压应用,低驱动电压,固体化使用安全性和可靠性提高;平板化,又轻薄,节省了大量原材料和使用空间;低功耗,它的功耗约为CRT显示器的十分之一,反射式TFT-LCD甚至只有CRT的百分之一左右,节省了大量的能源;TFT-LCD产品还有规格型号、尺寸系列化,品种多样,使用方便灵活、维修、更新、升级容易,使用寿命长等许多特点。
TFT—LCD制程简介 共32页
TFT-LCD的三段主要制程
• 一、 前段Array (阵列制程) -前段的 Array 制程是将薄电晶体制作于玻璃上。
• 中段Cell (组立制程) -中段的Cell 製程,是以前段Array的玻璃為基板,
與彩色濾光片的玻璃基板結合,並在兩片玻璃
基板間灌入液晶(LC)
• 後段Module Assembly (模组制程) - 后段模组组装製程是將Cell製程後的玻璃與其
組合電晶體玻璃與彩色濾光片
• 在組合兩片玻璃之前,要先平均佈滿類似球狀的 間隙子固定間隔,以免液晶面板組合後,兩片玻 璃向內凹曲,通常液晶面板在組合時,會留下一 個或二個缺口,以利後續灌入液晶, 接著就以框 膠及導電膠封在兩片玻璃邊緣,如此就完成玻璃 的組合。
將液晶灌入液晶面板
• 封完邊框之後,就將液晶面板放到真空室, 透過剛才預留的缺口把液晶面板的空氣抽 掉,然後藉助大氣壓力灌入液晶,再將缺 口封閉。而液晶是一種介於固體與液體的化合物 質,具有規則性分子排列的特性。
TFT-LCD制程简介
1
目录
• 一、什么是TFT—LCD • 二、结构介绍 • 三、 TFT-LCD点亮原理 • 四、供应商和基板尺寸 • 五、制造流程 • 六、应用范围
2
何谓TFT—LCD?
• 一、TFT-LCD 是薄膜电晶体液晶显示器。
TFT是薄膜电晶体 LCD是液晶显示器
英文全称:thin-film transistor 英文全称liquid-crystal display.
包裝、出貨
液晶显示器的应用范围
• 在很多的通讯器材或资讯设备都能看到, 例如:笔记本电脑、数位个人助理(PDA)、电 视、新型移动电话等。
Thank you!
TFT-LCD制程介绍
C/F Introduce and Process
彩色滤光片基本结构是由玻璃基板(Glass Substrate),黑色矩阵(Black Matrix),彩色层 (Color Layer),保护层(Over Coat),ITO导电膜组 成。一般穿透式TFT用彩色光片结构如下图。
GLASS SUBSTRAT
Pixel ITO Patterning Using 3rd MASK
TFT-Array Process
Data Bus Line and S/D Metal Sputtering
Passivation SiNx Deposition Using
PECVD
Data Bus Line and S/D Patterning Using
TFT Array preview
TFT Array 等效电路
TFT元件
液晶 加入電壓
保持電容
因TFT组件的动作类似一个开关(Switch),液晶组件的作用 类似一个电容,藉Switch的ON/OFF对电容储存的电压值进行更 新/保持。
SW ON时信号写入(加入、记录)在液晶电容上,在以外时间 SW OFF,可防止信号从液晶电容泄漏。
Cell Process
Cell Process(1)
Cleaning
PI Coating
淡黃色 Å
800~1200Å
APR: Asahi Photosensitive Resin
PI 制程原理
将PI液滴在Anilox Roll 上。
Doctor Roll将Anilox Roll上的PI液整平。
在必要时可将保持电容与液晶电容并联,以改善其保持特性。
TFT Array Structure
TFT-LCD简介
中段Cell
中段的Cell呢 ,是以前段的TFT Array玻璃作为基板,和彩色的滤光片玻璃基板相结合,并且在两片 玻璃基板之间上液晶之后再贴合, 再将大片的玻璃切割成为面板。
后段Module assembly
后段模组的组装制程则是将Cell制程之后的玻璃和其他的如电路、外框、背光板等等多种零组件组装 生产的作业。
TFT-LCD主要 的三段制程
前段Array
液晶夹杂在两片玻璃基板之间,这两片玻璃基板呢,就是TFT Array玻璃和彩色的滤光片。 在TFT Array玻璃的上面有着无数的画素(pixel)排列着,而彩色的滤光片则是画面颜色的重要来源,液晶呢便 夹杂在TFT Array以及彩色的滤光片之间。 当电压在TFT(晶体管)的时候,液晶转向,那么光线便穿过 了液晶在面板上面产生了一个画素,而此光源呢,则是由背光模块所负责提供的。此时,彩色的滤光 片给予了每一个画素特定的一个颜色。结合了每一个不同颜色的画素最后所呈现出的,就是面板前端 的影像了。 TFT-LCD必须是在精密的无尘室之内,经过300道以上的制程而生产出来的。无尘室的最高洁净度等 级可以达到「10 」(即:在无尘室的环境之内,每立方尺最多只有10颗粉尘)。
Array算是TFT-LCD制造的第一步工艺。Array是在玻璃基板上有规则地做成TFT器件、像素等图案的
过zhidao程。Array工艺包含洗净技术、专CVD成膜技术、Sputter成膜技术、光刻胶或属光致刻蚀剂 涂覆、显影与剥离技术、曝光技术、湿刻技术、干刻技术等。最终在玻璃基板上形成4~5层薄膜的图 案
前段Array
简单的说。TFT是利用晶体管作为开光,对透明的导百电层进行充电和放电的动作,控制度液晶的转 向,从而达知到颜色变化的目的,ARRAY就是阵列的意思,无数的晶体管道阵列就组成一张显示器。 前段部分的Array 制程和半导体制程相似,但是不同的是将薄膜电晶体制作在玻璃之上,而不是矽晶 圆上面。
TFT-LCD制造工艺
TFT-LCD制造工艺1.基板制备:2.对齐和曝光:在基板上涂覆一层透明导电层,常用的是氧化铟锡(ITO)。
然后利用光刻技术,在导电层上创建一个薄膜晶体管的图案。
这个过程包括对齐和曝光,通过对光源进行控制,实现所需图案的精确传输到导电层上。
3.沉积涂覆:液晶屏中的液晶材料需要通过沉积涂覆的方法添加到基板上。
在这个步骤中,通过将液晶材料放置在基板上,并使用液晶电池技术来控制其密度和均匀性。
高质量的沉积涂覆可以确保液晶屏的显示效果和性能。
4.硅片蚀刻:接下来的步骤是利用化学气相沉积技术在基板上生长非晶硅薄膜。
然后使用蚀刻技术去除多余的硅片,创建所需的晶体管结构。
5.金属沉积:在晶体管结构中,需要添加金属图层用于连接和信号传输。
利用金属沉积技术,可以在基板上添加铜、铝等金属,以创建电极和导线。
6.封装:液晶屏通常是由两片基板共同构成的。
在液晶材料添加和晶体管等加工步骤完成后,将两片基板紧密封装在一起,并加入适量的液晶材料。
然后,在封装边缘处加入密封剂,确保液晶材料不泄漏。
7.后续处理:在液晶显示器制造的最后阶段,进行一系列的后续处理步骤,以保证显示器的性能和质量。
这些步骤包括对屏幕进行清洁、检查和测试,修复任何可能出现的问题,并最终对显示器进行封装。
总结:TFT-LCD的制造工艺是一个复杂的过程,需要多种材料和技术的配合。
从基板制备到最终的封装,每一步都需要高度的精确性和质量控制。
这种制造工艺的持续改进和创新,对于液晶显示器技术的发展和进步起到了重要的作用。
TFT-LCD制程简介3
p.s.:又稱集光片、菱鏡片、lens。
8
背光(B/L)模組介紹
BEF 稜 鏡 結 構
9
背光(B/L)模組介紹
BEF如何增亮
重複反射-大約50%的入射光 會被反射回去而重新再利用
70°
折射-可利用的折射光增 加40%-70%
14
背光(B/L)模組介紹
CCFL發光原理
CCFL: Cold Cathode Fluorescent Lamp
15
B/L常見不良
◎光學不均
◎白點、黑點 ◎異物
◎膜片翹曲
◎Ripple
16
B/L常見不良
光學不均
17
B/L常見不良
白點、黑點
內容:BL所起因的白點和黑點欠陷,有些不 良只能在斜視的情況下才能看到。 推測原因:BL部材不良
Bottom
寬闊的出光角度 擴散片
TIR
導光板
〝白色〞反射片
CCFL及Reflector
網點-導引導光板光線的點
11
集光片的視角效果
12
背光(B/L)模組介紹
導光板
入光面
射出注入口
射出注入邊
非注入邊 反入光面(薄邊)
13
導光板的光學
• 折射、透射與全反射 • 折射率越大,導光能力越好 • 調光網點的佈置與漫射
再反射/再折射 低比例損失
TIR
重新進入 下一個稜鏡
BEF
Diffusely recycled 擴散片 *Total Internal Reflection 10
背光(B/L)模組介紹
tft lcd工艺流程
tft lcd工艺流程
《tft lcd工艺流程》
TFT LCD是一种广泛应用于电子产品中的液晶显示技术,其
制作工艺流程十分复杂。
下面将简要介绍TFT LCD的工艺流程:
1. 硅基板制备:首先,需要在硅基板上生长多层薄膜,包括透明导电层、绝缘层、TFT层等。
2. 光刻:在硅基板上涂覆光刻胶,然后使用光刻机将图形暴光到光刻胶表面,再进行显影,形成TFT层的图案。
3. 处理:将硅基板进行酸洗、碱洗等处理,去除不需要的材料,保留TFT层的图案。
4. 金属沉积:在TFT层上沉积金属膜,形成源极、栅极和漏极。
5. 制备液晶层:准备另一块玻璃基板,在上面涂覆液晶材料,形成液晶层。
6. 粘合:将两块基板进行粘合,形成液晶显示屏的结构。
7. 封装:对粘合好的液晶显示屏进行封装,包括加入偏光片、背光模组等。
以上就是TFT LCD的工艺流程。
整个制作过程需要严格的工艺控制和精密的设备,是一个综合了光学、材料、机械等多学科的高技术制造过程。
随着技术的不断进步,TFT LCD的制作工艺也在不断改进和优化,使得TFT LCD在电子产品中有着越来越广泛的应用。
TFT-LCD制程简介
Array
Thin-Film Transistor
Cell
Liquid Crystal
Module
Array:電晶體 矩形陣列
Cell:顯示單元體
Module:產品模組
一廠:320*400(mm) 二廠:610*720(mm)
ARRAY
+
CELL
外購
cell + + +
MODULE
….
cell cell cell cell cell cell
第1代面板:長400mm,寬320mm
13.3“~14.1” 15“~17”
19“
22“~32”
720mm
610mm
面板範圍
裁餘部份, 拋棄不用
第3.5代面板:長720mm,寬610mm
液晶注入示意圖
液晶 液晶
2.封將閉液3C晶1.H破皿.A抽上M真真B昇空E,空使R,
注入口達到液面 之下
利用大氣壓力 及毛細現象 將液晶灌入
ADI的工作包括:
1.線幅 -- 線寬 -- Critical Dimension 2.配列 -- 同一層光罩之間的銜接 3.重合 -- 不同層光罩之間的對準 4.斜光目檢--玻璃表面刮傷及Particle的檢查
After Etching Inspection
1.蝕刻後檢查
不良的產品可以補蝕刻
2.去光阻後檢查
戴爾它(三角形)
最新的AV產品
Polyimide配向膜塗覆
APR板
淡黃色
800~1200 Å
配向絨布
PI膜配向:基板和 roller成45度角,
TFT和CF基板方向差 90 度. Roller高速旋轉時,絨毛上的纖維
TFT-LCD制造工艺
TFT-LCD制造工艺
一、TFT-LCD制造工艺简介
TFT-LCD(Thin film transistor liquid crystal display)即薄膜
晶体管液晶显示器,它是一种常用的新型显示设备,它集传统连续液晶显
示器和面板模组的优点于一身,具有面积、重量小、耗电低以及良好的显
示效果等特点,被广泛应用于笔记本电脑、智能手机、电子投影仪、汽车
显示屏等各类电子设备上。
二、TFT-LCD制造工艺过程
1、薄膜晶体管面板模组制造
TFT-LCD制造中最基本的部件就是薄膜晶体管面板模组。
薄膜晶体管
面板模组制造复杂,涉及的化学和物理知识十分广泛,其主要工艺流程有:清洗、干燥、喷镀、光刻、蚀刻、无机覆盖层制作、结构层制作、转印、
钝化、离子注入等。
2、连续液晶制造
连续液晶制造涉及制备液晶显示材料、连续线上液晶制备技术以及连
续线上液晶检测技术。
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背光源組立
• 在組裝背光源之前,要先檢查組合完的液 晶面板有無完善,然後在組裝背光源,背 光源就是液晶面板後的光線來源。
外框鎖附
• 最後再將Cell與鐵框以螺絲固
•
液晶显示器完成
老化測試
• 再來就進入關鍵的測試過程,將組立完成 的Module做老化測試,在通電即高溫的狀 態,篩選出不良的產品。
貼偏光片完成組立製程
• 最後再貼上二片垂直方向的偏光片, 整片 液晶面板即算完成。
•
Drive IC搭載
• 偏光片貼附完成後,即開始在液晶面板的 兩側搭載Drive IC , Drive IC 可是很重要的 驅動零件。
電路板焊接
• 再來就將Drive IC 的入力端與電路板藉著銲 錫焊接導通。這樣訊號就可以順利發出, 然後控制面板上的影像了。
•
12
参考6页
薄膜电晶体玻璃基板怎么做?
• 要形成可用的薄膜電晶體,需要: • 重复清洗 镀膜 上光阻 曝光 • 去光阻 蚀刻 投影 一般來說,要製造TFT-LCD就要重覆五到七 次。
13
薄膜電晶體玻璃基板怎麼做?(1)
• 一片表面平滑,沒有任何雜質的玻璃,是 製造薄膜電晶體玻璃基板最主要的原料。 在製作之前,要用特殊的洗淨液,將玻璃 洗的乾乾淨淨,然後脫水、甩乾。
Backlight ----由於液晶顯示器為非發光型,為了強化顯示的能見度,將 液晶面板背面的光加以投射之裝置。光源以螢光燈管為主流,分為冷 陰極管與熱陰極管。構造上可分為直下型與側光型。
TFT-LCD如何點亮?
简单的说,TFT-LCD面板可視為兩片玻璃基板中間夾 著一層液晶,上層的玻璃基板是與彩流通過電晶體產生電場變化,造成液晶分子 偏轉,藉以改變光線的偏極性,再利用偏光片決 定畫素(Pixel)的明暗狀態。此外,上層玻璃因與彩 色濾光片貼合,形成每個畫素(Pixel)各包含紅藍綠 三顏色,這些發出紅藍綠色彩的畫素便構成了面 板上的影像畫面。
TFT-LCD制程简介
1
目 录
•
一、什么是TFT—LCD
• • • • •
二、结构介绍 三、 TFT-LCD点亮原理 四、供应商和基板尺寸 五、制造流程 六、应用范围
2
何谓TFT—LCD?
• 一、TFT-LCD 是薄膜电晶体液晶显示器。
TFT是薄膜电晶体 LCD是液晶显示器
英文全称:thin-film transistor 英文全称liquid-crystal display.
在玻璃基板鍍上金屬薄膜
• 要使玻璃基板镀上金屬薄膜,需先將金屬 材料放在真空室內,讓金屬上面的特殊氣 體產生電漿(Plasma)後,金屬上的原子就會 被撞向玻璃,然後形成一層層的金屬薄膜
玻璃基板鍍上不導電層与半導體層
• 鍍完金屬薄膜後,還要鍍上一層不導電層 與半導體層。在真空室內,先將玻璃板加 溫,然後由連接直流高壓電的噴灑氣噴灑 特殊氣體,讓電子與氣體產生電漿,經過 化學反應後,玻璃上就形成了不導電層與 半導體層。
3
结构如下图(1)
直观图
• TFT_LCD面板主要可以拆解成3個部份 • 1.LCD面板: • 2. TFT面板: • 3.背光板模組:
4
横截面结构图(2)
详图
5
结构图(3)
TFT
CF
拆解图、图1
(C/F 上玻璃)
液晶層
( TFT下玻璃)
+ +
(Panel)
LCD
PCBA + TAB IC + Backlight
8
点亮原理图
9
供应商和基板尺寸
• 一、台湾五大TCF-LCD厂商:友达光电、奇 美电子、瀚宇彩晶、中华映管、广辉电子。
• 二、台湾彩色滤光片三大供应厂商:展茂 光电、剑度公司、和鑫光电。 • 三、台湾五大玻璃基板供应厂商:康宁玻 璃、台湾板保、台湾凸板、旭硝子、中晶 光电。
10
TFT-LCD玻璃基板之尺寸 各世代技術最適面板切割尺寸及片數
LCM Module
6
LCM
CF和backlight
CF (Color Filter)----為了使液晶彩色顯示器能顯示彩色,在液晶cell內構成 的零件之一,在透明基板上依規則配列紅、綠、藍3個原色的patter, Color filter一般是由遮光用的Black matrix、color顯示用的著色pattern、保 護著色pattern的透明保護膜、以及驅動液晶用的透明電極膜等4種要素所 構成。彩色濾光片是以化學塗佈的方式,在玻璃上形成紅綠藍的顏色, 整齊排列後在覆蓋一層會導電的薄膜即完成。
11
TFT-LCD的三段主要制程
• 一、 前段Array (阵列制程) -前段的 Array 制程是将薄电晶体制作于玻璃上。 • 中段Cell (组立制程) -中段的Cell 製程,是以前段Array的玻璃為基板, 與彩色濾光片的玻璃基板結合,並在兩片玻璃 基板間灌入液晶(LC) • 後段Module Assembly (模组制程) - 后段模组组装製程是將Cell製程後的玻璃與其 他如背光板、電路、外框等多種零組件組裝的 生產作業。
組合電晶體玻璃與彩色濾光片
• 在組合兩片玻璃之前,要先平均佈滿類似球狀的 間隙子固定間隔,以免液晶面板組合後,兩片玻 璃向內凹曲,通常液晶面板在組合時,會留下一 個或二個缺口,以利後續灌入液晶, 接著就以框 膠及導電膠封在兩片玻璃邊緣,如此就完成玻璃 的組合。
將液晶灌入液晶面板
• 封完邊框之後,就將液晶面板放到真空室, 透過剛才預留的缺口把液晶面板的空氣抽 掉,然後藉助大氣壓力灌入液晶,再將缺 口封閉。而液晶是一種介於固體與液體的化合物 質,具有規則性分子排列的特性。
包裝、出貨
液晶显示器的应用范围
• 在很多的通讯器材或资讯设备都能看到, 例如:笔记本电脑、数位个人助理(PDA)、电 视、新型移动电话等。
Thank
you!
玻璃基板上進行曝光及顯影作業
• 薄膜形成後,要在玻璃上製作電晶體的圖 案。首先要進入黃光室噴上感光極強的光 阻液,然後套上光罩照射藍紫光進行曝光, 最後送到顯影區噴灑顯影液,這樣可以除 去照光後的光阻,還可以讓光阻層定型
玻璃基板上進行蝕刻作業及去光阻作業
• 光阻層定型後,用蝕刻進行濕式蝕刻, 將 沒有用的薄膜露出, 亦可用電漿的化學反 應進行乾式蝕刻,蝕刻後再將留下的光阻 以溜液除去,最後就產生電晶體所需要的 電路圖案
•
总结以上参考13
液晶面板之製作過程
• 完成了薄膜電晶體玻璃基板後,就要進行 液晶面板的組合。液晶面板是由電晶體玻 璃基板與彩色濾光片組合而成,首先要將 玻璃洗乾淨,再進行下一個步驟。
電晶體玻璃與彩色濾光片配向。
• 在整個組合的過程中,首先要為佈滿電晶 體的玻璃和彩色濾光片塗上一層化學薄膜, 然後再進行配向的動作。