显微镜观测光斑大小

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显微镜观测光斑大小

摘要

介绍用显微镜观测光斑大小的方法。显微镜观测光斑大小的方法结合分析软件,可以测量和分析尺寸小、形状不规则、能量分布复杂的单色光和复合光形成的光斑,为需要对光斑进行评估的各种应用领域提供了实时、快速、有效的测量方法。通过该实验能了解到不同波长的光斑大小,以及光斑大小与显微镜放大倍数和观测角度之间的关系。

测量显微镜的光学系统形成物方远心光路,使被测工件的光学成像落在仪器的分划板上,然后通过目镜使分划板上的标准刻线对工件影像进行瞄准,以达到测量的目的。因此,影像法是测量显微镜的最常用、最基本的测量方法。

关键词:测量显微镜,影像法,波长,观测角度,放大倍数

MICRORCOPY SPOT SIZE

ABSTRACT

Introduction spot size with a microscope observation method.Microscope observation method combined with spot size analysis software can measure and analyze small size,irregular in shape,monochromatic light energy distribution and the complex formation of composite beam of light for the spot to assess the need for a variety of applications provides real-time,fast effective measurement method.The experiment can be learned by different wavelengths of light spot size,and spot size and microscope magnification and viewing angle relationship.

Measuring microscope optical system telecentric in object form,enabling the optical workpiece partition imaging instruments on-board fall, and then eyepiece so that the standard partition board groove on the workpiece image to aim to achieve the measurement purpose.Therefore,the image method is the most commonly used measuring microscope,the basic measurement method.

Key Word:measuring microscope,imaging method,wavelength,observation angle,magnification

目录

摘要...................................................................................................................................................... I ABSTRACT ........................................................................................................................................ II 第一章绪论. (1)

1.1测量显微镜 (1)

1.1.1测量显微镜107JA (1)

1.1.2测量显微镜的使用 (1)

1.1.3测量显微镜正常使用注意事项 (2)

1.2观测光斑 (3)

第二章测量光斑的方法 (4)

2.1观测光斑大小的方法 (4)

2.1.1CCD摄像法 (4)

2.1.2光纤探针扫描法 (5)

2.1.3 测量大数值孔径光学系统小光斑 (6)

第三章材料与方法 (8)

3.1实验材料 (8)

3.1.1显微镜 (8)

3.1.2 滤光片、凸透镜、激光器 (10)

3.2实验方法 (11)

3.3实验步骤 (13)

3.4实验测量方法 (14)

第四章实验的结论与分析 (16)

4.1实验结论 (16)

4.1.1解决问题 (16)

4.1.2实验结果 (16)

4.2实验分析 (20)

结论 (21)

致谢.................................................................................................................... 错误!未定义书签。参考文献.. (22)

第一章绪论

1.1测量显微镜

测量显微镜是一种大型的精密测量仪器,具有准确度高、功能全等特点,是生产企业长度计量工作中最常用的光学仪器之一。测量显微镜的光学系统形成物方远心光路,使被测工件的光学成像落在仪器的分划板上,然后通过目镜使分划板上的标准刻线对工件影像进行瞄准,以达到测量的目的。因此,影像法是测量显微镜的最常用、最基本的测量方法。由于测量显微镜还配备了许多辅助设备,所以除了最基本的影像法外,它还能实现轴切法、光学接触法、机械测量法、双像法等测量手段,以达到不同的测量目的。

1.1.1测量显微镜107JA

产品简介:

测量显微镜107JA,采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

107J为光栅数显的小型精密测量仪器。工作台除作X、Y坐标的移动外,还可以作360º的旋转,亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD 电视摄像头,作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。

1.1.2测量显微镜的使用

寻找像平面

(1)针尖试样应采用“光点找像法”。

一般显微硬度计测量显微镜物方视场只有0.25~0.35mm,在此视场范围外区域在测量显微镜目镜视场内,眼睛是看不见的。而针尖类试样顶尖往往小于0.1mm,

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