工业气体,高纯气体和杂质表示方法

电子工业气体所用气体分为单质气体（如氢、氧、氮……），多元气体（硅烷，氨、氯化氢）和混合气体（硅烷和氢、磷烷和氮……）。气体纯度的含义是指除基本气体外，剩余结尾杂质。气体纯度的等级有多种，如普通纯、高纯和特纯（超纯）。所谓电子纯是指具体的半导体器件应用而言的。至于说普通纯、高纯和特纯气体是几个“9”，则与具体杂质含量多少有关。气体纯度表示通常有两类。

对化学家来说，一般用99%，99.9%，99.99%，99.999%，99.9999%，99.99999%，99.999999%等纯度表示。那么其余1%，0.1%，0.01%，0.001%，0.0001%，0.00001%，0.000001%为杂质。

物理学家根据上述几“9”的说法采用简便的方法，即n个“9”的说法，如上上面的纯度可以分别写成2N,3N,4N,5N,6N,7N,8N.如果写成4N8或5N5，这时纯度分别为99.998%和99.9995%；如果写成5N85，则纯度为99.99985%。

关于杂质含量有常量、微量、和痕量来表示，对于低于微量和痕量杂质一般指ppm~ppb及范围。具体的杂质浓度时：1ppm=10-4%；1ppb=10-7%；1ppt=10-10%