等离子清洗机在LCD制造过程中的应用

等离子清洗工艺制造过程中的应用

液晶屏在生产制造过程有需要反复清洗，以去除玻璃上的一些金属颗粒或者其他污染物，还有就是在制造过程中需要粘接或者焊接，传统用化学试剂清洗来达到玻璃表面的活性，让粘接更牢固，但是化学污染和成本问题显得越来越严重。等离子清洗机是完全干法清洗技术，没有化学污染、二次污染、而且能够完全活化的玻璃表面，让后续工艺COG/COB/BGA等更顺利的完成。

1.等离子原理概述：等离子体是物质除了固态、液态、气态三种状态以外的第四种存在状态，如地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。

等离子体中存在下列物质：

处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态，所以称其为等离子体。

等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性质的具体应用。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中的两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起物理或化学反应。以下介绍等离子在不同行业的应用：

等离子清洗技术在电子电路及半导体领域的应用：

等离子表面处理工艺应用于LCD、LED、 IC，PCB，SMT、BGA、引线框架、平板显示器的清洗和蚀刻等领域。等离子清洗过的IC可显著提高焊线邦定强度，以减少电路故障的可能性；封装过程中溢出的树脂、残余的感光阻剂、溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区域中，短时间内就能清除。PCB制造商用等离子处理来去除污物和带走钻孔中的绝缘物。对许多产品生产过程中，不论它们是应用于工业还是电子、航空、健康等行业，其可靠性很大一部分都依赖于两个表面之间的粘合强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，经过等离子处理以后都能有效地提高粘合力，从而提高最终产品的质量。等离子处理在提高任何材料表面的过程中都是安全的、环保的、经济的。

等离子清洗技术在塑料及橡胶（陶瓷、玻璃）行业中的应用：

PP、PTFE、PE等橡胶塑料材料是没有极性的，这些材料在未经过表面处理的状态下进行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至无法进行。利用等离子技术对这些材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以最大化，同时在材料表面引入一些活性基团，即对材料表面进行活化后，这样橡胶、塑料就能够很好的进行印刷、粘合、涂覆等操作。

等离子清洗工艺中需要注意的几点：

等离子清洗/刻蚀机处理材料表面时，处理时的等离子激发的频率、工艺气体、气体

流量、功率和处理时间直接影响材料表面处理质量，合理选择这些参数将有效提高处理的效

果。同时处理时的温度、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等因素也会不同程度的影响处理质量。因此，对不同的材料要制定优化不同的工艺参数。

等离子表面清洗：金属陶瓷塑料橡胶玻璃等表面常常会有油脂油污等有机物及氧化层，在进行粘接绑定油漆键合焊接铜焊和PVD、CVD涂覆前，需用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

等离子清洗技术在半导体行业、航空航天技术、精密机械、汽车工业、医疗、塑料、考古、印刷、纳米技术、科研开发、液晶显示屏、电子电路、通讯及手机零部件等广泛的行业中有

着不可替代的应用

以上资料有烟台金鹰科技提供