电子束蒸发系统操作步骤

电子束蒸发系统操作步骤

抽真空→热蒸发/电子枪操作→

关闭热蒸发/电子枪系统→关闭真空系统

抽真空

1.关闭进气阀，开冷却水，打开总电源（仪器柜后面与前面）

2.将抽气管子放窗外，打开冷却水报警（鸣叫表示分子泵冷却水未开）

3.开机械泵，电磁阀1，开角阀（先慢后快）

4.开真空计，当真空度高于10帕时，关闭角阀

5.电磁阀2，开插板阀（双手操作），开分子泵

6.当运行分子泵后，真空示数正常下降，关闭真空计

电子枪系统操作

1.（当真空计读数低于6.7×10-3Pa),开内5开关

2.按扫描键（柜门灯亮，开电子枪冷却水，枪水流灯亮，X电流0.8A，Y 电流0A）

3.枪灯丝电源（0.4A，电压60V，预热3至5分钟）

4.束流控制调为手动，打开高压8Kv

5.检查束流是否最小，按手控仪上高压键，稳定2分钟

6.慢慢增加束流（顺时针旋增大，不同金属蒸发束流参数不同，需保存）

7.调节光斑位置（X顺时针向下，Y顺时针向右）

8.打开膜厚仪冷却水，打开膜厚仪，打开样品台挡板

关闭电子枪系统过程

1.束流慢慢调到最小，关闭手控仪上高压，关闭8KV开关

2.枪灯丝电流关闭，关闭扫描键，关闭内5开关

关闭真空系统过程（电子束做完应等待半小时或更长时间才关闭真空）

1.停止分子泵，关闭插板阀，分子泵转速为0，电磁阀中间

2.分子泵停止半小时后，停止机械泵，关闭真空计，关闭总电源（柜门前后），关冷却水

膜厚仪操作（先打开膜厚仪冷却水）

Setting: 进入参数设置→移动光标到参数类型（setting只按一次，若多按请继续按setting直到回到“层次”）；↑，↓：更改参数（层次，材料，方式），厚度，密度，声阻抗按数字直接输入；begin:按两次测膜厚；operating：停止镀膜；delete：镀膜结束；再按operating回到基本显示状态

热蒸发操作

压缩机操作

1.电源（红色把）竖直→关闭；水平→打开

2.气路（0.25MPa）平直→打开；垂直→关闭

旋钮：控制气压大小

注意事项

1.真空度低于0.1Pa，机械泵不能直接打开连通，会造成回油，电离规不能打开

2.电子束结束，束流旋到最小；X/Y振幅最小，X/Y位置不要变化

3.真空计，膜厚仪不需要显示时，及时关闭；真空腔及时关闭，不要让腔体长时间暴露大气

4.分子泵，电子束停止操作后，冷却水继续冷却20分钟左右

5.打开气路，要慢慢操作；电子器件要预热

6.不要把东西丢在真空腔内

7.定期清洁真空室

8.戴口罩，手套，穿实验服操作

紧急断电事项

1.关闭高压部分：关闭手控仪上高压键，关柜8KV，束流调到自动，关枪灯丝电源，关扫描键

2.关真空系统部分：电磁阀中间，关闭插板阀，关闭分子泵电源，关闭机械泵，关前后总电源

3.学习灭火器灭火

特别提醒

定期检查分子泵，机械泵的油，注意声音水，电，气，门，窗关闭了吗？