基于Boonton高精度电容表7200的电子材料缺陷测试应用
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DLTS测量
数字D化L仪TS和涉一及个到计结算电机容组与成时如间图随1着所一示个。偏置脉冲变化的分析.该测量装置由电容表,一个偏置脉冲发生器， 时间偏)的置控电制源也提可供以了,该一偏个置偏电置压电范压围通和过脉调冲节周幅期度随和不持同续的时应间用来而影变响化被。测品(DUT),脉冲切换时间(上升和下降
zinc oxide Schottky devices,”
［ JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, (107), 10,
103717, 2010 http://liu.divaportal.
］ org/smash/record.jsf?searchId=1&pid=diva2:32
协助您构建具有高性价比的 针对半导体，太阳能或其它材料缺陷测试的方案
Baidu Nhomakorabea
系频伏率计列率计B与产有，o带品调4o0n自可制GtoH动以和nz公装提音和司载供频1是1校最分0业G验大析H内因到仪z有二子8，0影种的射M响选H射频力z择频毫的的，探伏视射可头计频频以的，带和完集高宽微全合速，波满可高时测足以精基试高提度分方功供电辨案率最容率提脉高测最供冲到试低者信仪1到.，号2和0G主.(1无如H纳要z线雷的秒产互达快(品n调系速s有)(统，P和峰I中测M可值))量靠和测功脉测通试率冲量信仪分最。放。析小大其仪宽器中，度的峰峰为测值值6量分和ns，析平，射/均测最频功量高毫 技术准其确中地45测30试系数列字射调频制功信率号表，结对合较了大实范验围室的档用次户仪，器是的一准个确具度有以高及性生价产比线的测选试择所。需的高速度，利用专利的测试 提供高42精40确系度列测连试续及波在射调频校功应率用表中提提供供在快生速产显线示所更需新的率高,另速在测电试磁能兼力容及性操(作EM简C易)方,从面-7的0d应B用m至,具+高44性dB价m比(基。于探头) 它高应达0用7.20的0001材电p料F容的缺测电陷试容分仪分析可辨时以率的提和主供0要在.0的11μM也HS可的z能的电是针导唯对分一主辨的动率选或，择被使。动得器7件20特0成性为检业验界的使高用精D度LT和S可方靠法的对电半容导和体传，导太测阳试能。和最其
2200兼2VV..V11容全全全%%I刻刻刻的的EE度度度读读E,,,数数-电电电48++阻阻阻800-1..111000009550007%%0008o的的oo及hhh全全mmm执,,量量行线线程程性性
AH1,SH1,T6,TE0,L4, LE0,
和 SR1,RL1,PP0,DC1,DT1,C0 E1 外部偏压输入 ± 保险丝保护 60V, 62.5mA
标准
50-60Hz, 35VA 89/336/EEC//93/68/EEC,
73/23/EEC//93/68/EEC
和 EN55011, EN50082-1,
EN61010-1
CE
符合欧盟(European
Community)
附件
机机架架安安装装套套件件 单双嵌嵌入入 995500000021
外部偏压显示
温度影响
操电相预作平位热温误误时度差差间
1＜＜两0小℃±±时至00..40201°℃7%/ ℃/ ℃
测试信号
频电率平
晶体控制 1.0MHz, 可编程 和 ,15,30,50 100mV
外部偏压
电最压大范电流围 6±26.50mVA保险丝保护
其他规格
重电源量
磅 公斤 12 (5.4 )
100,120,220,240 VAC,
荷量的也杂被质执.行象来电支流持-电这压种和结电果容. 名-电为压“测In量flu的en质ce量o测f
background concentration induced field on the
文章最初发表在 emission rate signatures of an electron trap in
电分精平辨度范率围
±60V
0.1V 0.25% of reading+4 counts
内部偏压
电精分平度辨范率围 最大电流
±60V,从前面板编程
0.5% of reading+10 counts
电压≦ 1mV,
20V
电压＞ 10mV,
20V
5mA
后面板连接头
模拟输出,C 模拟输出,G I模EE拟E输-4出88,接偏口压
7200高精度电容表
研和量串使示合以为发显参联用值多在一7示数电软，。种内个2被容件以可半存可，007,测过及编导存选是损2器滤制程体储择0一耗0件技造的的及的个可因的术的测测重参精以子并平应试量载考密计,品联均用电偏。。的算质电连平离。多电并因容续从标两达容显子和测19准相表示59(Q电量敏％至完，等)导检或，整1适效。0两波以p的用0并电Fm个器实前于的联容V测是现面要单和，也试用稳板求位串令可来定。设苛。联7以2提的从置刻电显0702取显测可的阻示适00,
5535&rvn=1
“Electrical Characterization of Defects in
S镓证的陷［1表性(已(的CA1crh,俘被三掺阱的已d6h深rtT/hota杂被个获D(peet指能t1tr:Ln)k/a物的在电1材/T定级iyppu6SC室横子rAs料-到瞬)z5使和dupy陷温截-T镓态–r5。l用o俘bCe8面下阱tw化谱.sdS获的hn)的取的Tct物测.m,的深hei激决存电co量:lmDG］横能t活于流在tX在ak.在e截电能y-,相Dd中7热电含A面子u7量i关o心的u.压–p有dσ状–E3的le,激/和C5显2AB2态s阿0dP”活o电=示=T,oKP二列0能e容3n在/.温t极纽3二Axo量-碲3电n度B1管斯极eS化0和7压范V的图-管T21镉表的测0R围5单来0/面突量c带向电研m上出验来特容2究 阳光变能伏化D太的,在L收阳T他S能集们同电,的D样池e研有ib加究e利l速,的于D寿“y提Da命ek高fo试e很nc验ot多vS引和p新e起兴cP的tar的or缺iss领ci陷验o域p特证y如征o通太n的过 CC们矿活面面组的ue的应性减还界，(llIsn面能小观能用保:,RG的有的察量电持oa增流附条到所了le) (加近纹因下高-oS电f,的条降弯为,t表压hS缺,湿纹曲ee该现和)D陷热弯.2小费一电a-b存处曲m组米个容ap，理在s发能在,e发H解大,d因现级Ce现Hu除量a锁为在te在(因的TtI硫湿住en长rr,湿缺eG化热缓o时aj热陷aut冲镉曝m)间n(谱曝cS(/光e黄C测tn,i的光oS他dt铜试”nes。变中们))矿S装/2化黄该,o激他表界置l铜小。ar 信息更请多访关问于我用们于的D网L站TS：RwwBowo.bnotoonnt7o2n0.c0o电m容. 表
偏压
理级偏究内想瞬压。部用态的偏72于谱能置00C,力电D接-e压,V配受e和范p合,测GL围快e-量V是v速的e和一l反半T显个r应导a示可n模体s外编i拟e绘部n程Ct图偏S,的G，p置±和e以电c6Vt及r0压输oVsD达出范cLo±，T围pSy6令。(0)深的7这V2能。研种00
自动归零
2的至04标000本0一p0归F键p。零F归结。，零果7杂2是0散，0的电72最容0大0和先测损把量耗连范。接围7到2可0输0以可入有归的效零2地0高0提0达高pF
特殊功能
量过要平I平求均E多E均。过E种。例滤- 4的特如器8特8殊的，接殊功长仪口功能度器校能还可可准能可以保仪扩以选持器展配择某。7合从个2外没特00部有定的标平测操准均量作至或,以从高偏满前达差足面5范特板0围0定或测。的通
通用指标
••••••••G电电测测外标模P容导试试部准拟IB范范频电偏可输标围围率平压编出准00，±程正，至至116内比5022M部于V00，00HC偏00z3和u晶压p0SFG，体±和5控60偏0，制V压100mV可选
总线操作
下存传程可储输序7以和位,C2进召置0,G0行回存配和远面储备V信程板和了息编设重一可程置载个同。：;全归时所功零进有能和行面的偏。板I压E前功E控E面能制-4板,8包。8的括对接设特于口置殊快总可功速线以能数。从;据以
规格
电容显示
电全精容刻度范度围范围 分辨率
至0 2000pF
读数 的全量程 2,20,200,2000pF
4
应用文章
使用Boonton7200电容表测量深能级瞬态谱(DLTS)
作者:Wolfgang Damm , 美国无线通信集团
摘要
器谱.系72统B0o0使on用的to7一n270个200的应0 电参用容考就表.是分是深析一能了个级产用瞬生于态脉测谱冲量(偏D半LT压导S)的体的几设测种备量方和.本法无应以源用及器注介件释绍的7提精20供密0测了的量在,高能深速力能的的级仪例瞬子态.
ω ； 是并联电容 以 为单位 +2( C)² C
最大2ohm
μ 到 μ 0.01 s
0
μ 到 μ 0.1 s
2
μ 到 μ 1 s
20
μ 大于 μ 10 s
+0.05us ,F
2s 20 s
200 s 200 s
计算参数
串串并损品△△C%联联联耗质电电电因因容阻阻子子
至± 0.000 9999pF 至± 0.00ohm 9.999Mohm ± 至± 488.5ohm 9.999Mohm 至± 0.000 999.9 至± 0.000 999.9 至± 0.000 4047oF 至± 0.00 99.99%
偏市些P个ic压场例测osB脉提子试eoc:。冲供o安on.了nt如捷od各n1伦果72种20脉8001各0冲01电,0样1发12容合A生0,表18适需01有或的1要0能1脉4更2A力冲0多或2提发0的8都供1生灵1适可器1活0合变,A性举这和的, 实表时与该的它测参的试考模装拟电置输压的与出核,被这心测个是半输B导出oo体提nt电o供n容了72成校0正0正电比的容。, 系过统载7恢的20B复0o是以on完及to全改n7兼善2E容了A已信,7经2噪0设比0改计。进在了许响多应DL时T间S , 复,改进了测量电路屏图蔽1减典少型在的模D拟LT输S测出量的系噪统声和数字干扰.切换时间7c通i2rc常0u0图小i使tr2y于显用)的2示具5宽u了有s带7高。2放速0大0箝的器位测，电量提路电供(路c更la的快m简p的i化n过g框载图恢, 范连需围接键测操端来试清作口和。产零不测生同量相的。差连1高M接达H,±由z的2H0测I0输0试入p信F,D的号IF电。F容和电可T容E一测S键T量组归可成零通,连,过添接连加到接一7一个20个补0内补偿部偿电，电容隔容到离到差变不分压同终器的端的末允中端许心来仪抽规器头格更次化加级，灵在或敏低使的输用电出归容 节偏到H省置I7了输电2额入源00外,电有BI的压两AS数范个输字围功出电为能提压±大供表6大一0(V简D个,是V化衰M通了减).过D图的L前3T监显S面测的示板信测的或号量是通与：偏过在一置IE实个电E际E可路-的编框48偏程图8置接的。电口内BI压总置AS成线偏O1设置N0置m电键V,源控外/V和制部的一7偏比2个置0例0外电的。部压一的通个偏过继置7电2测0器0量,测连功量接能和偏,内显压部示源,
0.25% +0.2%
+0.005pF
到 0.001 pF 0 到 0.01 pF 2 到 0.1 pF 20 大于 1 pF
2 pF 20 pF 200 pF 200 pF
2
电导显示
电全精导刻度范度围范围 残分留辨串率联电阻
至0 2000uS
2,20,200,2000uS
读数 的全量程 2.5% +2.0%
前面板控制和显示
控显制示
真测键空试盘电荧容平光许,,数电20据容数输,字损入显耗和示主偏要压功电能平选, 择
Boonton中国大陆及香港地区总代理及 技术支援中心
3
用于深能级瞬态谱(DLTS)的电容表
作者：Wolfgang Damm, 美国无线通信集团
D极活定电有的a义荷着灵管动v深id或一敏缺区缺能V的个度陷陷Pe级N的参缺几。rn结瞬一数陷乎L,态Da个和浓比nL谱gT实测其度提S(D量验他,是典出L工任那在T型的S具何些1的,)并9是简。半有7在4研导D单肖年1L究体的9T特由7半S的电基5贝允导年子诊(尔许S获体设断c实研h中得技备o验究的专t术的t室k人利电y空更的)员二荷.高间它 机冲容。变表D化,一L的T个S分偏涉析置及.脉D到L冲结TS发电测生容量器与系,时数统间字有随化四着仪个一和基个一本偏台装置计置脉算:电 (并升脉D且和冲UT脉周下偏),冲降期振置周时随幅电期间不和源常同持)提的常的续供控小应时了制于用间一也而2都个可5变可偏以μ化调置,s该。,,电电脉偏压压冲置通低切电过至换压被2时范v测间o围l品(t和上s 子简室单和的1领，因p它域p为b的非)D下L设常T的计受S缺可，欢陷以这迎而侦在,寻且测特找它极有更的低材多设浓料行计度工业相(作大的对的多应来研物用讲究质。比实的较验原 电容表的作用 转可测就卡表近换以是完到非半成实成可数常导电数现字适的以体容字这存合研通电表数个储于究过容提据作示成。使D供L作用波正用了TS进，器比测校的一范。试(正D应步围它装S的用O分从提置,实)并.析简供中B时且o单。了的o的已n的很一数t参使o多个字Pn考用C类模化7数电于2型仪拟0据压以0的或输电采与下仪出A容集被最D器，C 排影肖基些尔(特调放响于Po率库查基, Ho[N明仑(,la这eZdd–n电显些iiFOan位特rt电NerSinn征(oc子Cksohe的iorco陷等lu):t诱tl阱1模ko人0ym导是)式1研器b4场归被究p件–(o因i发的n1中ted0于现自nu一1tc7锌i是由a个ecld相)一载m的电f关i致−流e普子3l的d的子]尔点在),带,背并根的-氧弗电景确据缺化伦的定这陷锌克
数字D化L仪TS和涉一及个到计结算电机容组与成时如间图随1着所一示个。偏置脉冲变化的分析.该测量装置由电容表,一个偏置脉冲发生器， 时间偏)的置控电制源也提可供以了,该一偏个置偏电置压电范压围通和过脉调冲节周幅期度随和不持同续的时应间用来而影变响化被。测品(DUT),脉冲切换时间(上升和下降
zinc oxide Schottky devices,”
［ JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, (107), 10,
103717, 2010 http://liu.divaportal.
］ org/smash/record.jsf?searchId=1&pid=diva2:32
协助您构建具有高性价比的 针对半导体，太阳能或其它材料缺陷测试的方案
Baidu Nhomakorabea
系频伏率计列率计B与产有，o带品调4o0n自可制GtoH动以和nz公装提音和司载供频1是1校最分0业G验大析H内因到仪z有二子8，0影种的射M响选H射频力z择频毫的的，探伏视射可头计频频以的，带和完集高宽微全合速，波满可高时测足以精基试高提度分方功供电辨案率最容率提脉高测最供冲到试低者信仪1到.，号2和0G主.(1无如H纳要z线雷的秒产互达快(品n调系速s有)(统，P和峰I中测M可值))量靠和测功脉测通试率冲量信仪分最。放。析小大其仪宽器中，度的峰峰为测值值6量分和ns，析平，射/均测最频功量高毫 技术准其确中地45测30试系数列字射调频制功信率号表，结对合较了大实范验围室的档用次户仪，器是的一准个确具度有以高及性生价产比线的测选试择所。需的高速度，利用专利的测试 提供高42精40确系度列测连试续及波在射调频校功应率用表中提提供供在快生速产显线示所更需新的率高,另速在测电试磁能兼力容及性操(作EM简C易)方,从面-7的0d应B用m至,具+高44性dB价m比(基。于探头) 它高应达0用7.20的0001材电p料F容的缺测电陷试容分仪分析可辨时以率的提和主供0要在.0的11μM也HS可的z能的电是针导唯对分一主辨的动率选或，择被使。动得器7件20特0成性为检业验界的使高用精D度LT和S可方靠法的对电半容导和体传，导太测阳试能。和最其
2200兼2VV..V11容全全全%%I刻刻刻的的EE度度度读读E,,,数数-电电电48++阻阻阻800-1..111000009550007%%0008o的的oo及hhh全全mmm执,,量量行线线程程性性
AH1,SH1,T6,TE0,L4, LE0,
和 SR1,RL1,PP0,DC1,DT1,C0 E1 外部偏压输入 ± 保险丝保护 60V, 62.5mA
标准
50-60Hz, 35VA 89/336/EEC//93/68/EEC,
73/23/EEC//93/68/EEC
和 EN55011, EN50082-1,
EN61010-1
CE
符合欧盟(European
Community)
附件
机机架架安安装装套套件件 单双嵌嵌入入 995500000021
外部偏压显示
温度影响
操电相预作平位热温误误时度差差间
1＜＜两0小℃±±时至00..40201°℃7%/ ℃/ ℃
测试信号
频电率平
晶体控制 1.0MHz, 可编程 和 ,15,30,50 100mV
外部偏压
电最压大范电流围 6±26.50mVA保险丝保护
其他规格
重电源量
磅 公斤 12 (5.4 )
100,120,220,240 VAC,
荷量的也杂被质执.行象来电支流持-电这压种和结电果容. 名-电为压“测In量flu的en质ce量o测f
background concentration induced field on the
文章最初发表在 emission rate signatures of an electron trap in
电分精平辨度范率围
±60V
0.1V 0.25% of reading+4 counts
内部偏压
电精分平度辨范率围 最大电流
±60V,从前面板编程
0.5% of reading+10 counts
电压≦ 1mV,
20V
电压＞ 10mV,
20V
5mA
后面板连接头
模拟输出,C 模拟输出,G I模EE拟E输-4出88,接偏口压
7200高精度电容表
研和量串使示合以为发显参联用值多在一7示数电软，。种内个2被容件以可半存可，007,测过及编导存选是损2器滤制程体储择0一耗0件技造的的及的个可因的术的测测重参精以子并平应试量载考密计,品联均用电偏。。的算质电连平离。多电并因容续从标两达容显子和测19准相表示59(Q电量敏％至完，等)导检或，整1适效。0两波以p的用0并电Fm个器实前于的联容V测是现面要单和，也试用稳板求位串令可来定。设苛。联7以2提的从置刻电显0702取显测可的阻示适00,
5535&rvn=1
“Electrical Characterization of Defects in
S镓证的陷［1表性(已(的CA1crh,俘被三掺阱的已d6h深rtT/hota杂被个获D(peet指能t1tr:Ln)k/a物的在电1材/T定级iyppu6SC室横子rAs料-到瞬)z5使和dupy陷温截-T镓态–r5。l用o俘bCe8面下阱tw化谱.sdS获的hn)的取的Tct物测.m,的深hei激决存电co量:lmDG］横能t活于流在tX在ak.在e截电能y-,相Dd中7热电含A面子u7量i关o心的u.压–p有dσ状–E3的le,激/和C5显2AB2态s阿0dP”活o电=示=T,oKP二列0能e容3n在/.温t极纽3二Axo量-碲3电n度B1管斯极eS化0和7压范V的图-管T21镉表的测0R围5单来0/面突量c带向电研m上出验来特容2究 阳光变能伏化D太的,在L收阳T他S能集们同电,的D样池e研有ib加究e利l速,的于D寿“y提Da命ek高fo试e很nc验ot多vS引和p新e起兴cP的tar的or缺iss领ci陷验o域p特证y如征o通太n的过 CC们矿活面面组的ue的应性减还界，(llIsn面能小观能用保:,RG的有的察量电持oa增流附条到所了le) (加近纹因下高-oS电f,的条降弯为,t表压hS缺,湿纹曲ee该现和)D陷热弯.2小费一电a-b存处曲m组米个容ap，理在s发能在,e发H解大,d因现级Ce现Hu除量a锁为在te在(因的TtI硫湿住en长rr,湿缺eG化热缓o时aj热陷aut冲镉曝m)间n(谱曝cS(/光e黄C测tn,i的光oS他dt铜试”nes。变中们))矿S装/2化黄该,o激他表界置l铜小。ar 信息更请多访关问于我用们于的D网L站TS：RwwBowo.bnotoonnt7o2n0.c0o电m容. 表
偏压
理级偏究内想瞬压。部用态的偏72于谱能置00C,力电D接-e压,V配受e和范p合,测GL围快e-量V是v速的e和一l反半T显个r应导a示可n模体s外编i拟e绘部n程Ct图偏S,的G，p置±和e以电c6Vt及r0压输oVsD达出范cLo±，T围pSy6令。(0)深的7这V2能。研种00
自动归零
2的至04标000本0一p0归F键p。零F归结。，零果7杂2是0散，0的电72最容0大0和先测损把量耗连范。接围7到2可0输0以可入有归的效零2地0高0提0达高pF
特殊功能
量过要平I平求均E多E均。过E种。例滤- 4的特如器8特8殊的，接殊功长仪口功能度器校能还可可准能可以保仪扩以选持器展配择某。7合从个2外没特00部有定的标平测操准均量作至或,以从高偏满前达差足面5范特板0围0定或测。的通
通用指标
••••••••G电电测测外标模P容导试试部准拟IB范范频电偏可输标围围率平压编出准00，±程正，至至116内比5022M部于V00，00HC偏00z3和u晶压p0SFG，体±和5控60偏0，制V压100mV可选
总线操作
下存传程可储输序7以和位,C2进召置0,G0行回存配和远面储备V信程板和了息编设重一可程置载个同。：;全归时所功零进有能和行面的偏。板I压E前功E控E面能制-4板,8包。8的括对接设特于口置殊快总可功速线以能数。从;据以
规格
电容显示
电全精容刻度范度围范围 分辨率
至0 2000pF
读数 的全量程 2,20,200,2000pF
4
应用文章
使用Boonton7200电容表测量深能级瞬态谱(DLTS)
作者:Wolfgang Damm , 美国无线通信集团
摘要
器谱.系72统B0o0使on用的to7一n270个200的应0 电参用容考就表.是分是深析一能了个级产用瞬生于态脉测谱冲量(偏D半LT压导S)的体的几设测种备量方和.本法无应以源用及器注介件释绍的7提精20供密0测了的量在,高能深速力能的的级仪例瞬子态.
ω ； 是并联电容 以 为单位 +2( C)² C
最大2ohm
μ 到 μ 0.01 s
0
μ 到 μ 0.1 s
2
μ 到 μ 1 s
20
μ 大于 μ 10 s
+0.05us ,F
2s 20 s
200 s 200 s
计算参数
串串并损品△△C%联联联耗质电电电因因容阻阻子子
至± 0.000 9999pF 至± 0.00ohm 9.999Mohm ± 至± 488.5ohm 9.999Mohm 至± 0.000 999.9 至± 0.000 999.9 至± 0.000 4047oF 至± 0.00 99.99%
偏市些P个ic压场例测osB脉提子试eoc:。冲供o安on.了nt如捷od各n1伦果72种20脉8001各0冲01电,0样1发12容合A生0,表18适需01有或的1要0能1脉4更2A力冲0多或2提发0的8都供1生灵1适可器1活0合变,A性举这和的, 实表时与该的它测参的试考模装拟电置输压的与出核,被这心测个是半输B导出oo体提nt电o供n容了72成校0正0正电比的容。, 系过统载7恢的20B复0o是以on完及to全改n7兼善2E容了A已信,7经2噪0设比0改计。进在了许响多应DL时T间S , 复,改进了测量电路屏图蔽1减典少型在的模D拟LT输S测出量的系噪统声和数字干扰.切换时间7c通i2rc常0u0图小i使tr2y于显用)的2示具5宽u了有s带7高。2放速0大0箝的器位测，电量提路电供(路c更la的快m简p的i化n过g框载图恢, 范连需围接键测操端来试清作口和。产零不测生同量相的。差连1高M接达H,±由z的2H0测I0输0试入p信F,D的号IF电。F容和电可T容E一测S键T量组归可成零通,连,过添接连加到接一7一个20个补0内补偿部偿电，电容隔容到离到差变不分压同终器的端的末允中端许心来仪抽规器头格更次化加级，灵在或敏低使的输用电出归容 节偏到H省置I7了输电2额入源00外,电有BI的压两AS数范个输字围功出电为能提压±大供表6大一0(V简D个,是V化衰M通了减).过D图的L前3T监显S面测的示板信测的或号量是通与：偏过在一置IE实个电E际E可路-的编框48偏程图8置接的。电口内BI压总置AS成线偏O1设置N0置m电键V,源控外/V和制部的一7偏比2个置0例0外电的。部压一的通个偏过继置7电2测0器0量,测连功量接能和偏,内显压部示源,
0.25% +0.2%
+0.005pF
到 0.001 pF 0 到 0.01 pF 2 到 0.1 pF 20 大于 1 pF
2 pF 20 pF 200 pF 200 pF
2
电导显示
电全精导刻度范度围范围 残分留辨串率联电阻
至0 2000uS
2,20,200,2000uS
读数 的全量程 2.5% +2.0%
前面板控制和显示
控显制示
真测键空试盘电荧容平光许,,数电20据容数输,字损入显耗和示主偏要压功电能平选, 择
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3
用于深能级瞬态谱(DLTS)的电容表
作者：Wolfgang Damm, 美国无线通信集团
D极活定电有的a义荷着灵管动v深id或一敏缺区缺能V的个度陷陷Pe级N的参缺几。rn结瞬一数陷乎L,态Da个和浓比nL谱gT实测其度提S(D量验他,是典出L工任那在T型的S具何些1的,)并9是简。半有7在4研导D单肖年1L究体的9T特由7半S的电基5贝允导年子诊(尔许S获体设断c实研h中得技备o验究的专t术的t室k人利电y空更的)员二荷.高间它 机冲容。变表D化,一L的T个S分偏涉析置及.脉D到L冲结TS发电测生容量器与系,时数统间字有随化四着仪个一和基个一本偏台装置计置脉算:电 (并升脉D且和冲UT脉周下偏),冲降期振置周时随幅电期间不和源常同持)提的常的续供控小应时了制于用间一也而2都个可5变可偏以μ化调置,s该。,,电电脉偏压压冲置通低切电过至换压被2时范v测间o围l品(t和上s 子简室单和的1领，因p它域p为b的非)D下L设常T的计受S缺可，欢陷以这迎而侦在,寻且测特找它极有更的低材多设浓料行计度工业相(作大的对的多应来研物用讲究质。比实的较验原 电容表的作用 转可测就卡表近换以是完到非半成实成可数常导电数现字适的以体容字这存合研通电表数个储于究过容提据作示成。使D供L作用波正用了TS进，器比测校的一范。试(正D应步围它装S的用O分从提置,实)并.析简供中B时且o单。了的o的已n的很一数t参使o多个字Pn考用C类模化7数电于2型仪拟0据压以0的或输电采与下仪出A容集被最D器，C 排影肖基些尔(特调放响于Po率库查基, Ho[N明仑(,la这eZdd–n电显些iiFOan位特rt电NerSinn征(oc子Cksohe的iorco陷等lu):t诱tl阱1模ko人0ym导是)式1研器b4场归被究p件–(o因i发的n1中ted0于现自nu一1tc7锌i是由a个ecld相)一载m的电f关i致−流e普子3l的d的子]尔点在),带,背并根的-氧弗电景确据缺化伦的定这陷锌克