太阳能电池车间工艺流程三
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另外短路电流还受到以下几个因素的影响： The area of the solar cell,太阳电池的面积越大，短路电流 值也就越大。 The number of photons,与入射光的光强有关。
The spectrum of the incident light,一般入射光的光谱都为
AM 1.5。
rmf是正面电极金属栅线电阻， rc1、rc2分别是正面、背面
金属半导体接触电阻， rt是正面扩散层的电阻， rb是基区体电
阻， rmb是背面电极金属层的电阻。
Rs偏高，主要受到扩散后的方块电阻大小及丝网印刷过程
中的印刷质量及烧结条件的影响。
Rsh过低通常是由于刻蚀不完全或电极烧穿造成电池漏电严
重
4、烧结质量要求
很大关系,难解决,值班人员不 要为此调烧结,若严重,打电话
网板有破损、折 痕
更换网板
划痕 刮条不平
更换刮条
网板上有碎片 擦拭网板
（六）测试分选
测试主要数据 T 测试温度 E 测试光强 Pmpp 最大输出功率 Umpp 最大输出电压 Impp 最大输出电流 Uoc 开路电压 Isc 短路电流 FF 填充因子 Rs 串联电阻 Rsh 漏电电阻 Eff 电池效率 Irev 暗电流
此更换网板,则同步更换刮条)
背场
印刷
网板过高
降低snap-off
漏 硅,
背电极处有偏移
调整背场印刷位置参数补偿,并调整
背电
背电极印刷
极与 背电极印刷重量 迅速降低背电极印刷重量,背场处增加压
背场 过大,背电极过高 力减少速度补偿
连接 网板印刷图案区 区连 有浆料黏附
停机擦拭网板
接不
良 刮头下降不到参 调整设备原点(请值班设备调整,值班工艺勿动)
间颗粒相互粘结和物质传递,气孔排除,体积收缩,强度提高,逐渐变成具有 一定的几何形状和坚固整体的过程
烧结是一个自发的不可逆过程，系统表面能降低是推动烧结进行的基本
动力
l 银浆的烧结很重要，对电池片电性能影响主要表现在串联电阻和FF 的影响
l 铝浆烧结可形成良好的欧姆接触
l 背面场经烧结后形成铝硅合金，杂质在铝硅合金中的溶解度要远大
于在硅中的溶解度，通过吸杂作用可减少金属与硅交接处的少子
复合，从而提高开路电压和短路电流，改善对红外线的响应(提高
内量子效应)
2、丝网常见问题
正面印
刷
栅线变 细
网板高度太高
降低snap-off，适当减小压力
栅线变 网板过度使用 更换新的网板
粗 网板高度太低 升高snap-off，适当增加压力
网孔堵塞
干
落
Baidu Nhomakorabea
印刷质量不 查看背场印刷外观,另
好
可增加背场印刷压力, 减慢印刷速度
铝包
背场浆料有 机物烧结前 未能顺利挥 发
增加或减少背场重量均
有效果,但不能根除;可 值班时通过增加或减少重量或增 增加烘干区温度,另与 加烘干温度来减轻相 烧结有机排风关系很 关情况,确保产品进入Q1档
大,比较难解决
与背电极印 背电极印刷重量过大,
4、影响太阳电池各主要电学性能参数的因素 太阳电池主要有以下几个重要参数： 开路电压Voc、短路电流Isc、串联 电阻Rs、并联电阻Rsh、填充因子FF。
1、开路电压Voc：要获得较高的开路电压Voc，则需要较高的掺杂浓 度，这有利于形成良好的欧姆接触，减少接触时的串联电阻。 2、短路电流Isc：
对于常规太阳电池工艺而言，要获得较高的短路电流，则需 要较轻的掺杂浓度和较浅的结深，以尽可能的减少各种复合过 程。因而，可以看出要同时获得较高的开路电压和短路电流是 一个矛盾的过程。
用干净的无尘布将网板擦拭干净
断栅
新网板网孔没张开 用酒精布擦拭
主电极 网板过高,回浆刀
缺陷
降低snap-off，抬高回浆刀
太低
解决方案：
步骤1:降低网板高度(snap-off绝对值减小)
步骤2:若无法解决,且发现对应电参数中Rs变小但FF反而低,则
立即更换网板,无论寿命到与否,换下后测网板张力备份(若因
背电极印
刷 印刷缺失
印刷不平 刮条问题
整
调整步 骤:
更换刮条,注意刮条的平整度
步骤1:增大snap-off,增大pressure 步骤2:无改善,立即更换刮条
3、烧结对电池片的影响 相对于铝浆烧结，银浆的烧结要重要很多，对电池片电性能影响 主要表现在串联电阻和并联电阻，即FF的变化。 铝浆烧结的目的使浆料中的有机溶剂完全挥发，并形成完好的铝 硅合金和铝层。局部的受热不均和散热不均可能会导致起包，严 重的会起铝珠。 背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝在硅中是作为P型掺杂，它可 以减少金属与硅交接处的少子复合，从而提高开路电压和短路电 流，改善对红外线的响应。
The optical properties,主要是指太阳电池的吸收与反射光
的状况。
The collection probability,主要依赖于太阳电池的表面钝化
和少数载流子的寿命。
3、填充因子FF
填充因子主要受到Rs及Rsh影响
串联电阻Rs可表示为：Rs= rmf+rc1+rt+rb+rc2+rmb
烧结后 场印刷不良 压力
有脱落
从印刷上来补偿的方法
铝浆重量偏重 上述方法减重 翘曲
热胀冷缩还是P的缘故产生了 应力?
2号机烘箱后两 区温度太低
升高后两区烘箱温度
印刷的浆料有点 薄
(在烧结时产生Al-Si 共熔二相)增加背场 重量
包与浆料情况与烧结排风有
铝苞
浆料的粘稠程度 均匀性问题
增长浆料搅拌时间
刷重量有关
背电极 剥落
与背电极印 刷浆料种类
可适当减少相关重量 所有被怀疑隔离的浆料非工艺相
查看酸制绒片是否存在 关负责人确认均不可 错将Ag用于该道印刷; 擅自用于产线
有关
是否有Ag与Ag/Al的混 合使用
背电极
与背场 背电极印刷 可减少第一道印刷重量
接触处 重量过大;背 与适当增加第二道印刷
烧结后的氮化硅表面颜色应该均匀，无明显的色差.
电极无断线背场无铝珠
电池最大弯曲度不超过1mm
5、烧结后常见问题处理方法
从烧结上改进的方法
翘曲
硅片太薄或 背场浆料与 烧结温度不
背场印刷处调整无果后
可调烧结,采用低温慢 烧
匹配
背场浆料烧 第二道烘箱时间是否异
结前有机物 背场脱 挥发过多
常,需排除此道影响,另 采用烧结烘干区低温烘
（五）丝网烧结
1、丝网工艺步骤
印刷背电极-----烘干------印刷背电场-------烘干-------印刷正面电极--------烧 结
印刷背电极
作用：收集电流，传出电流相当于一个电池的电极
印刷背电场
作用：吸杂作用 ，加速电子传出
印刷正面电极
作用：收集正面的电子和传出电子
印刷成型完的电极经过烘干流程后,在接近熔点的高温作用下,通过坯体
数设定位置
调整步骤 步骤1:停机擦拭网板 步骤2:无效果,则降低snap-off值 步骤3:完成步骤1、2,无效果,则查看背电极印刷情况,按上表 所述在第二道对其补偿 步骤4:若排除步骤3中所述情况,则可判定为刮头下降位置的问 题;旋转印刷头对应的旋扭,使印刷头可以下降更大的位置---此项的调整很容易造成网板直接被压破,在无把握的情况下,请 设备帮忙调整
The spectrum of the incident light,一般入射光的光谱都为
AM 1.5。
rmf是正面电极金属栅线电阻， rc1、rc2分别是正面、背面
金属半导体接触电阻， rt是正面扩散层的电阻， rb是基区体电
阻， rmb是背面电极金属层的电阻。
Rs偏高，主要受到扩散后的方块电阻大小及丝网印刷过程
中的印刷质量及烧结条件的影响。
Rsh过低通常是由于刻蚀不完全或电极烧穿造成电池漏电严
重
4、烧结质量要求
很大关系,难解决,值班人员不 要为此调烧结,若严重,打电话
网板有破损、折 痕
更换网板
划痕 刮条不平
更换刮条
网板上有碎片 擦拭网板
（六）测试分选
测试主要数据 T 测试温度 E 测试光强 Pmpp 最大输出功率 Umpp 最大输出电压 Impp 最大输出电流 Uoc 开路电压 Isc 短路电流 FF 填充因子 Rs 串联电阻 Rsh 漏电电阻 Eff 电池效率 Irev 暗电流
此更换网板,则同步更换刮条)
背场
印刷
网板过高
降低snap-off
漏 硅,
背电极处有偏移
调整背场印刷位置参数补偿,并调整
背电
背电极印刷
极与 背电极印刷重量 迅速降低背电极印刷重量,背场处增加压
背场 过大,背电极过高 力减少速度补偿
连接 网板印刷图案区 区连 有浆料黏附
停机擦拭网板
接不
良 刮头下降不到参 调整设备原点(请值班设备调整,值班工艺勿动)
间颗粒相互粘结和物质传递,气孔排除,体积收缩,强度提高,逐渐变成具有 一定的几何形状和坚固整体的过程
烧结是一个自发的不可逆过程，系统表面能降低是推动烧结进行的基本
动力
l 银浆的烧结很重要，对电池片电性能影响主要表现在串联电阻和FF 的影响
l 铝浆烧结可形成良好的欧姆接触
l 背面场经烧结后形成铝硅合金，杂质在铝硅合金中的溶解度要远大
于在硅中的溶解度，通过吸杂作用可减少金属与硅交接处的少子
复合，从而提高开路电压和短路电流，改善对红外线的响应(提高
内量子效应)
2、丝网常见问题
正面印
刷
栅线变 细
网板高度太高
降低snap-off，适当减小压力
栅线变 网板过度使用 更换新的网板
粗 网板高度太低 升高snap-off，适当增加压力
网孔堵塞
干
落
Baidu Nhomakorabea
印刷质量不 查看背场印刷外观,另
好
可增加背场印刷压力, 减慢印刷速度
铝包
背场浆料有 机物烧结前 未能顺利挥 发
增加或减少背场重量均
有效果,但不能根除;可 值班时通过增加或减少重量或增 增加烘干区温度,另与 加烘干温度来减轻相 烧结有机排风关系很 关情况,确保产品进入Q1档
大,比较难解决
与背电极印 背电极印刷重量过大,
4、影响太阳电池各主要电学性能参数的因素 太阳电池主要有以下几个重要参数： 开路电压Voc、短路电流Isc、串联 电阻Rs、并联电阻Rsh、填充因子FF。
1、开路电压Voc：要获得较高的开路电压Voc，则需要较高的掺杂浓 度，这有利于形成良好的欧姆接触，减少接触时的串联电阻。 2、短路电流Isc：
对于常规太阳电池工艺而言，要获得较高的短路电流，则需 要较轻的掺杂浓度和较浅的结深，以尽可能的减少各种复合过 程。因而，可以看出要同时获得较高的开路电压和短路电流是 一个矛盾的过程。
用干净的无尘布将网板擦拭干净
断栅
新网板网孔没张开 用酒精布擦拭
主电极 网板过高,回浆刀
缺陷
降低snap-off，抬高回浆刀
太低
解决方案：
步骤1:降低网板高度(snap-off绝对值减小)
步骤2:若无法解决,且发现对应电参数中Rs变小但FF反而低,则
立即更换网板,无论寿命到与否,换下后测网板张力备份(若因
背电极印
刷 印刷缺失
印刷不平 刮条问题
整
调整步 骤:
更换刮条,注意刮条的平整度
步骤1:增大snap-off,增大pressure 步骤2:无改善,立即更换刮条
3、烧结对电池片的影响 相对于铝浆烧结，银浆的烧结要重要很多，对电池片电性能影响 主要表现在串联电阻和并联电阻，即FF的变化。 铝浆烧结的目的使浆料中的有机溶剂完全挥发，并形成完好的铝 硅合金和铝层。局部的受热不均和散热不均可能会导致起包，严 重的会起铝珠。 背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝在硅中是作为P型掺杂，它可 以减少金属与硅交接处的少子复合，从而提高开路电压和短路电 流，改善对红外线的响应。
The optical properties,主要是指太阳电池的吸收与反射光
的状况。
The collection probability,主要依赖于太阳电池的表面钝化
和少数载流子的寿命。
3、填充因子FF
填充因子主要受到Rs及Rsh影响
串联电阻Rs可表示为：Rs= rmf+rc1+rt+rb+rc2+rmb
烧结后 场印刷不良 压力
有脱落
从印刷上来补偿的方法
铝浆重量偏重 上述方法减重 翘曲
热胀冷缩还是P的缘故产生了 应力?
2号机烘箱后两 区温度太低
升高后两区烘箱温度
印刷的浆料有点 薄
(在烧结时产生Al-Si 共熔二相)增加背场 重量
包与浆料情况与烧结排风有
铝苞
浆料的粘稠程度 均匀性问题
增长浆料搅拌时间
刷重量有关
背电极 剥落
与背电极印 刷浆料种类
可适当减少相关重量 所有被怀疑隔离的浆料非工艺相
查看酸制绒片是否存在 关负责人确认均不可 错将Ag用于该道印刷; 擅自用于产线
有关
是否有Ag与Ag/Al的混 合使用
背电极
与背场 背电极印刷 可减少第一道印刷重量
接触处 重量过大;背 与适当增加第二道印刷
烧结后的氮化硅表面颜色应该均匀，无明显的色差.
电极无断线背场无铝珠
电池最大弯曲度不超过1mm
5、烧结后常见问题处理方法
从烧结上改进的方法
翘曲
硅片太薄或 背场浆料与 烧结温度不
背场印刷处调整无果后
可调烧结,采用低温慢 烧
匹配
背场浆料烧 第二道烘箱时间是否异
结前有机物 背场脱 挥发过多
常,需排除此道影响,另 采用烧结烘干区低温烘
（五）丝网烧结
1、丝网工艺步骤
印刷背电极-----烘干------印刷背电场-------烘干-------印刷正面电极--------烧 结
印刷背电极
作用：收集电流，传出电流相当于一个电池的电极
印刷背电场
作用：吸杂作用 ，加速电子传出
印刷正面电极
作用：收集正面的电子和传出电子
印刷成型完的电极经过烘干流程后,在接近熔点的高温作用下,通过坯体
数设定位置
调整步骤 步骤1:停机擦拭网板 步骤2:无效果,则降低snap-off值 步骤3:完成步骤1、2,无效果,则查看背电极印刷情况,按上表 所述在第二道对其补偿 步骤4:若排除步骤3中所述情况,则可判定为刮头下降位置的问 题;旋转印刷头对应的旋扭,使印刷头可以下降更大的位置---此项的调整很容易造成网板直接被压破,在无把握的情况下,请 设备帮忙调整