说明书内容插片机

目录一、主要用途及适用范围--------------------- 2二、主要技术参数--------------------- 2三、操作须知--------------------- 2四、结构特点--------------------- 3五、安装须知--------------------- 3六、操作说明--------------------- 5七、工装附件--------------------- 8八、夹具更换--------------------- 8九、设备保养--------------------- 8十、装箱单--------------------- 9 十一、原理图--------------------- 10 十二、外形图--------------------- 18一、主要用途及适用范围TC-2400硅片自动装片机是根据光伏产业和国际半导体产业的发展及市场需求而开发研制的新型自动化设备。

可通过数控装置可靠地实现自动装片，并设有连锁保护、工况显示、故障报警等功能。

该设备主要用于硅片、太阳能电池片等类似形状产品的自动插片。

整机采用3工位立式升降机构，通过伺服电机、滚珠丝杠、直线轴承系统实现精确传动。

该设备适用于125mm、156mm硅片的自动插片。

二、主要技术参数工位数量3工位（75片）硅片规格125mm，156mm；厚度：180～200±20μm 分辨率0.4μm/步装片能力2400～3600片/小时（视操作者节奏）控制系统触摸屏/PLC可编程序控制器/交流伺服系统电源AC220V（单相三线），50Hz总功率 1.5Kw外形尺寸（长x宽x高）1480x780x2120mm三、操作须知1、敬请按操作说明的方法进行正确操作；2、非电气专业人员请勿打开电气箱门。

四、结构特点1、设备为不锈钢整体式框架结构，布局合理，外观新颖，操作方便；2、硅片装片前先放置于水槽，水槽内的水通过加热系统保持一定的温度，设计人性化；3、水系统可实现定时自动换水及循环用水，并经初滤后再经滤袋式过滤机循环使用，并设置有快速清洗装置，保持水路畅通；4、采用PLC可编程控制器，程序运行可靠，功能齐全，各种运行模式均可在触摸屏或控制面板上调节和设定；5、配置交流伺服系统进行高精度定位；6、采用OMRON高灵敏度传感器进行扫描监控；7、具有零位和工作位置的校准功能，校准快速、准确、精度高；8、配有系列安全保护装置：8.1水工作状态监控，并设有水位自动调节功能；8.2设有运行过程中的上下极限位置报警；8.3设备设有紧急停止及复位停止功能；8.4具有整机漏电保护装置和接地端子功能。

9.硅片盒定位夹具能随时适应6吋/8吋硅片的快速转换，操作简单，性能可靠。

硅片缓冲挡可有效避免硅片入盒冲击造成的应力破损。

五、安装须知1、本产品安装于平稳，周围无强烈振动源场地；2、供电条件为220V±20V，50Hz；单相三线制。

应在设备外部电源输入端，配置供电控制设施，方便电源投切。

3、保护接地端子（PE）接地应按规定接地良好（请勿与电气零线共用）；4、本产品与墙壁及其他机器之间最少应有1m以上的距离；设备须放置于平整地面，本设备无需地脚螺栓固定；设备自带的可调二用脚轮能在现场适当范围移动和调整水平。

设备就位后，应使轮子提起，调节橡胶蹄脚并使其受力，保持设备平稳。

注意：用于运输途中的设备部件零时固定应在设备就位后及时拆除，以防留下隐患。

设备初次使用，应做好相应的检查、准备工作：机器就位后对传动部件、紧固件、导轨、导轮、管路阀件等应进行详细检查、调整以及传动部分的润滑。

并接好进、排水管路，检查阀门开闭状态。

六、操作说明控制面板操作面板设备就位后接通总电源，按下控制面板上的电源按钮进入设备待工作状态。

设备的开机顺序：接通电源→按下“电源”按钮（此时电源指示灯亮）→打开自锁式“总停”按钮。

1、触摸屏进入首页，点击屏幕中间进入操作界面。

操作说明：一）设备的开机：1) 插好电源；2) 按动“电源”按钮（此时电源指示灯亮）；3) 打开“总停”按钮，（如果设备控制在自动模式状态，进水阀将自动打开）。

二）设备的关机：1）按下“总停”按钮；2）按动“电源”按钮（此时电源指示等灭）；3)关闭总电源。

注意：设备在关机前首先保证设备工位停止在上位(进给量显示为零)。

可按动“复位”按钮进行回零。

三）工作方式：设备分为两种工作模式：调整模式和自动模式。

1) 调整模式A 硅片盒工位调整：当设备装入不同的硅片盒或需要进行硅片盒位置校准时，轻触触摸屏的“调整”键，设备的工作模式为“调整模式”状态，选择上下移动的进给方式：“连续”键。

先设置工作零位；按动“上升”按钮，正确放入硅片盒，将最下面一个硅片盒的底部调整到高于滑板上光纤防护罩即可，轻触触摸屏“设置零位”键以确定工作零位；按动“下降”按钮，将最上面一个硅片盒的第一条硅片槽对齐滑板底线，滑板放入调整样板（厂家提供），并将样板初步插入第一条硅片槽内，此时应轻触触摸屏“点动”键，进行微调，使调整样板能顺利插入，触轻触摸屏“设置工作位”键以确定工作位。

按动“复位”键，将硅片盒上行至已设置的零位，程序确认循环工作路径，硅片盒工位调整完成。

B 设备水箱水位的调整：当设备在调整中需要对水箱的水位调整时，直接轻触“进水”键或“放水”键，可以人工控制水位的高度。

2）自动模式当设备硅片盒工位和水箱水位调整结束，硅片盒上行至零位后，轻触“调整”键，此时设备进入自动模式：即设备进入循环工作状态。

正常工作时只需按动“循环”按钮，打开水泵开关，便能自动实现每次插片位置正确到位。

四）运行参数设置1）设备的运行参数全部在触摸屏上选择和确定。

选择参数名称，轻触该键（数据项）进入，输入新数据，轻触“ENT”键确认，再轻触“确认”键完成。

2）设备的自动放水和进水：在参数中的“插片数量”和“放水时间”进行数值设置，例如：（5000片）和（300秒），即自动计数每插片到5000片时，设备自动放水300秒排除工作过程中产生的脏污，同时自动进水(补水)，保持水箱的水位平衡。

用户可以根据自己的工艺要求，设置“插片数量”和“放水时间”。

五）极限位置保护1）极限位置保护：当进行硅片盒工位调整时，运行到上极限位时，上位报警灯亮，设备停止运动，可按“下降”键解除报警；当设备运行到下极限位时，下位报警灯亮，设备停止运动，可按“上升”键解除报警。

2）设备小水箱内的水位过低时，“下水位”报警灯亮，设备自动进行加水：当水位上升到最高位置，“上水位”指示灯亮，设备自动停止加水。

3）当设备出现故障报警时，可以在触摸屏的“诊断”选项里进行检查。

定期对位置极限开关进行检查，防止松动。

4）当设备运行时出现异常情况时可按下“总停”开关，设备停止运行。

七、工装附件：1、125、156规格装盒用定位块各一件；2、调试用不锈钢样板125、156规格各一件；。

八、夹具更换、调整当156硅片规格更换为125规格（或125规格更换为156）时，先将夹具二侧档板螺丝松开后调至需要的位置并固定，同时需要变换定位缓冲档位置。

调整图例第一步校左右支座前后位置调整模式下将小车行至滑台位置，用工装样板检查滑台与小车的平行度；出现误差时可松开左右轴支承紧固螺钉，调整支座位置使滑台与小车板平齐（如下图示），三块小车板分别调整并保持位置须一致，再紧好螺钉。

此处平齐调轴支座 调轴支座第二步校左右支座高度位置同上述，小车板左右高度位置也应与滑台一致，有误差可调整左右轴支承高度（加减垫块），并使三块小车板为之一至。

高度方向左右一致底板第三步左、右三个挡板在一直线上根据片盒规格125或156选用相应工装模块，将工装模块放置在小车板上，把左右挡板分别靠近模块插入长形槽孔内并拧紧螺母，此步与第四步目的相同，作为初调，上下三个档位保持直线度一致。

第四步调整滑台/硅片盒左右位置第三步完成后，放上硅片盒，调整模式上下运行小车，用工装样板检查各硅片盒位置，出现误差，可松开固定滑板轴的螺钉，适当调整滑台板左右位置，兼顾上下硅片盒位置一致，紧好螺钉。

滑板/花篮位置一致第五步调整滑板角度滑板与小车板（硅片盒槽）的角度应一致，可用工装样板来检查，有误差可松开固定滑板支承轴的螺钉，轻微转动支承轴，调整角度一致（如下图示），再拧紧螺钉。

滑板/篮座角度一致第六步调整插片位置上面步骤完成后，用工装样板模拟插片；点动上升/下降按钮运行小车，上下三个花篮逐个模拟插入工装样板，硅片盒两侧、上下空隙基本一致（注意工装样板厚度因数），不应有碰、卡等现象，否则要重复上述相应步骤。

第一片槽位置确定钢板对准槽口左右一致九、设备保养1、定期检查电路及设备的各种保护设置功能是否正常；2、丝杠三个月加白色锂基脂一次，轴承每周加30号机械油一次；3、定期检查袋滤机中的滤袋（芯），及时更换确保设备能正常工作4、定期清理水箱，放掉全部储水，将水箱内碎片、杂物清理干净；以防排水口堵塞。

十、装箱单十一、原理图1、电气原理图（参见图5-1）2、PLC控制图（参见图5-2）3、水路原理图（参见图5-3）十二、外形图。