罗茨真空机组课件

二、罗茨真空泵机组的组成


机组的组成是由罗茨泵为主体的，因为罗茨 真空泵不能单独使用，必须配上前级泵组成 机组，使用前级泵是为了降低罗茨真空泵的 排除压力。 由于罗茨真空泵的压缩比是有限，所以机组 由罗茨泵、旋片泵、高真空气动挡板阀、电 动真空球阀、电磁真空带充气阀，及冷却系 统和气源系统组成。
罗茨真空机组课件
主讲：孙迎峰
一、罗茨真空机组概述

公司近期所进的真空 机组是以ZJP-600C型 罗茨泵为主泵的二级 抽气系统，机组本身 可获得5x10-1pa的真 空环境。


ZJ——是取“机械增压泵”中的“增”、“机” 两个字 的第一个拼音字母而来，表示机 械增压泵，俗称罗茨真空泵。 P——表示带旁通溢流阀。 XXX——数字表示抽空速率：多少升/秒。 C——字母表示第几次改进型。 例如ZJP1200C表示：带旁通溢流阀的抽空速率 为1200升/秒，并做了第三次改进的罗茨真空 泵。



6.启动前机泵。 7.打开本泵的进气阀门。 8.打开冷却水阀门，当容器压力达到允许启动 的压力时，启动本泵。 9.泵运转时应该平稳，转子不应该有冲击声。 10.泵在运转过程中如局部温升过大，电流计 读数突然发生变化，产生不规则的噪声或其他 异常现象，应立即停止本泵检查原因。 11.先关闭进气口管路上的进气阀门


12.停止前级泵。 13.关闭冷却水进水阀。 14.如果长期停止使用或者在寒冷地带必须将 冷却水套的水全部排净，否则会使套内的水冻 结，造成泵铸件冻裂。





15.将罗茨泵、旋片泵分别与机组的冷却 系统进行连续，保证冷却水畅通，冷却 水系统总进水由用户自行解决。 16.检查罗茨泵，旋片泵油窗是否有足够 的润滑油。 17.接通水路，并开始向机组供水； 18.开启高真空启动挡板阀； 19.开启旋片泵对被抽室体进行粗抽；



20.当真空计数显示≤1000pa时启动罗茨 泵；此时机组对容器抽气。 21.关闭高真空气动挡板阀； 22.关闭罗茨泵； 23.待罗茨泵完全停转后，关闭旋片泵。 24.最后等旋片泵停转时，切断冷却水， 关闭总电源。
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四、罗茨真空泵的特点


罗茨真空泵是一种容积式真空泵。 它是利用一对8字型转子在泵壳中保持一定的 间隙，作等速反向旋转而产生吸气和排气作用 的。 二个转子被支承在泵壳的二侧面端盖的滚动轴 承中，依靠一对可调节的同步齿轮使二个转子 在高速反向旋转时始终保持着一定的相互位置， 从而完成吸排气过程。
五、罗茨真空泵的优点与缺点：

优点： 1、在较宽的压力范围内具有较大的抽速。 2、起动快。 3、泵腔及转子工作时为干式无油，对被抽气体中的灰 尘，水蒸汽不敏感，油蒸汽污染真空系统的情况比油 增压泵、油扩散泵和油封机械泵要少得多。 4、由于动平衡较好，所以运转时的振动小、噪声低。 5、驱动功率小，这是因为机械摩擦损失小。 6、不用排气阀。 7、转速高、体积小，可制成任何几何抽速的泵。 8、可凝性蒸汽对泵无影响，因为经过泵时还没压缩到 饱和蒸汽压。 9、与其它机械真空泵比较，节能效果显著，且耗油量 小。
三、罗茨真空泵的产生原因


罗茨真空泵自上世纪四十年代由罗茨鼓风机演变 发展而来，它的出现是随着工业的发展，在许多真空 系统的应用中，为了提高抽气效率、缩短抽气时间、 或者是在大量放气的真空系统中能保持较恒定的真空 条件。 通常工艺要求真空泵在1333~1.3Pa压力范围具有 较大的抽速，要满足这样的工艺条件，使用其他形式 的机械真空泵是困难的，即使能勉强达到这样的使用 要求，也很不经济。因此，罗茨真空泵正在这样的工 业环境中被广泛应用。
六、罗茨真空泵的操作方法



1检查冷却水管路是否畅通无阻。 2.检查端盖内的润滑油是否足够，油面高度应达到视 油镜的油位线。外伸轴封存油杯经常查看并灌注满润 滑油，同时必须非常清洁，不允许有任何硬微粒。新 泵使用30～50小时应换新油。以后可根据使用情况确 定换油周期。 3.如果吸入气体中带有粉尘或其他金属粉末等，应在 进气口前加装防尘或过滤装置。如果吸入气体带有腐 蚀性，则必须采取中和措施，或用防腐蚀功能的真空 泵。 4.检查各部位有无松动现象，较长时间放置不用后， 应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。 5.检查电机转向是否同泵体上的箭头方向一致。


缺点：
1、对氢气的抽气效果比油增压泵差，通过间隙返回的 流量较大。 2、泵的制造较复杂，特别是转子型线，加工和检查都 比较困难，而油增压泵结构简单，无大的运动部件， 安装较方便。 3、不能单独使用，须有前级真空泵组成机组形式使用。 一般与前级泵的抽速比为1：2～1：10不等，为保护罗 茨真空泵，须在机组中安装过载保护装置。