编制中的《电子工厂洁净厂房设计规范》

ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
地接 �� � � 旌措电静防 �� � � 定规般一 �� � � 地接与电静防、 � � 计设制控振微 �� � � 定规般一 �� � � 制控振微、 � � 计设制控声噪 �� � � 定规般一 � � � � 制控声噪、 � � 制控动自 �� � � 置装护保全安及信通 �� � � 明照 �� � � 电配 �� � � 计设气电、 � � 统系体气种特 �� � � 统系气空缩压燥干 �� � � 统系体气宗大 �� � � 定规般一 �� � � 体气子电、 � �
� � � �属金重 � � ��个 � �洗清栅 �
� � �
� � �
� � �
� � �
� � �
� � � �
数子粒
� �Ⅱ �
� �� �
� � �
� � �
� �� �
� �� �
� �� �
寸尺子粒控受 � � � �径直片硅 � � � �度纯 度成集 � � � � 份年
� � � � � � � � �� �
。据依的效有供提作工写编为�定测果效的统系类各或房厂 净洁的当适排安和究研查调强加。验经行运和果成设建的来年近映反的好较�训教、验经的 造建、计设房厂净洁类品产子电国我结总地是求事实、度态的学科以应程过写编 � � � 。靠可、全安行运和量质造建的房厂净洁厂工子电保确以�文条性制强为作文条的量 质品产保确性键关和境环、益利众公、康健员人、全安物人及涉、全安防消关有将意注�文 条性荐推和文条性制强括包应此因。准标性制强是》范规计设房厂净洁厂工子电《 � � � 。接衔法作的行通或准标际国与 地时适并�用应的料材新、备设新、艺工新、术技新励鼓意注、术技新、向动新展发的术技 净洁的发引展发术技子电微是别特�术技净洁的展发速高应适到做应”容内范规“ � � � 。段阶稿批报和稿审送、段阶稿见意求征�段阶备准为段阶作工写编 。作工写编展开序程和定规 、求要作工写编、定制的范规、准标设建程工关有部设建家国按格严应�法方写编 � � � 。定规文条关相的点特艺工产生类品产子电有具充补、加增�容 内的范规化细�践实程工的年近和点特艺工产生类品产子电合结�下提前的 � � � � � � � � � � � � 》范规计设房厂净洁《合符在应容内写编的》范规计设房厂净洁厂工子电《 � � �
帽封、片划、洗清、膜镀
� ��
�� �
�
�
� �Ⅱ �� �� � � � ��
影显、刻光
丝型鲑墨壁亘垂巨
延流、 �日丝 造制等阻电式片、容电瓷陶式片 区洗清 区心核 造制盘光 丝拉 棒制预
� � � � � �� �
� ��� � ��� �
� � �� � �� � �� �
亡耋盘磁
� � �� �� � ��� � � � �� �� ���� � �� � � �� � � ���
由原的》范规计设房厂净洁厂工子电《订制
�
。稿批报成完年半上年 � � � ��”稿审送“成完初年 � � � �于将�善 完、充补、改修行进”稿见意求征“对�上础基的作工研调成完步初在并�见意的面面方方 理整真认组写编由将后之。会见意求征开召京北在将还期近�见意贵宝多许了出提员人术技
业专及位单会参�会见意求征了开召都成、圳深、州苏、海上在后先已并�见意求征位单业
� � �— � � � � �� � � � � � � � �— � � � �
� � � � � �
� � � � �� � � � �一 � � � � � � � � � � �
� � � � � �
� � � � � �
� � �
� �
� � � �� � � � � �
� � � �
� � � �� � � � �
件附和门阀、材管 �� � 备设理处 �� � 统系水纯 �� � 定规般一 �� � 水纯、 � 备设火灭和水给防消 �� � 水排 �� � 水给 �� � 定规般一 �� � 水排水给、 � 件附、管风 �� � 烟排防 �� � 风通暖采 �� �
备设化净气空 �� �
统系调空化净 � � �
� � �
� � � �
� � � �� � �加
标指制控的物染污学化对路电成集� �表
。 �表、 �表见�等物机有、属金重括包�格严分十也求要制控的物染污 学化对且而�小缩益日径粒制控粒微�中计设房厂净洁路电成集此因�产生入投已器储存取 存机随态动的 � � � � �� �为寸尺征特前目�小缩益日 �宽线 �寸尺征特其�大增断不的度成集 �倍四翻年三每度成集�跃飞次一有会就年两隔每以术技键关的产生路电成集于由�速迅展 发房厂净洁厂工子电的表代为房厂净洁用产生器示显晶液 � � �、产生路电成集以来年近 点特的房厂净洁厂工子电 � � �
量风送和型流流气 �� � 定规般一 �� � 化净气空、 � 修装内室 �� � 散疏与火防 �� � 定规般一 �� � 计设筑建室净洁、 � 具器工及备设 �� � 化净料物 � � � 化净员人 �� � 局布艺工 �� � 定规般一 �� � 计设艺工、 � 调协合综和置布室净洁 �� � 式形室净洁 �� � 置布面平总和择选置位 �� � 计设体总、 � 求要计设境环产生 �� � 定规般一 �� �
。定确 �录附范觌本照参可 �时求要无 定确求要艺工产生品产据根级等度净洁气空的序工关有�品产子电种各 �� �� � 。要需的进改艺工产生或展发产生品产后今虑考 �� �� � 件条体具按并 �求要艺工产生品产子电的境环净洁需足满应计设的房厂净洁厂工子电 要摘文条型典 � � � �缺暂 �法方测检电静防 �录附 求要的质品体气对品产子电 �录附 求要的质水的水纯对产生品产子电 �录附 证认和试测能性 �区 �室净洁 �录附 求要的理管护维对计设统系调空化净 �录附 例举类分性险危灾火序工�间产生品产子电 �录附 求要的级等度净洁对产生品产子电类各 �录附 级等度净洁气空 �录附
企、研科、计设个百近至发�成完底月 �年 � � � �于己稿见意求征》范规计设房厂净洁厂工 子电《�持支力大的位单关相和作工极积的组制编范规过经�来以备筹始开年 � � � �从作工写 编的范规该。院计设程工子电国中是位单编主� �号 � � �】 � � � � �函标建 �》批二第划计订修 订制额定准标设建程工年五 ��二《部设建家国入列已》范规计设房厂净洁厂工子电《
。格严更或级 �� � �求要级等度净洁
气空�值限的定规在粒微的径粒小更至甚 �¨ � �� �制控求要、格严分十制控粒微——
�为纳归可体大点特的房厂净洁厂工 子电的表代为产生器示显晶液 � � �、路电成集以但�同不所有会均置设的等施设电静防、施 措振微防、求要爆防火防、应供质物纯高、式形室净洁、级等度净洁气空、求要制控粒微是
、 � � �、 � � �、 � � �、 � �、 � � �、 � � � 烷氧硅
� �、� � �
物机有 � �、 � �、酮丙” � �
�
玻 � � � � �、 � � � � 气空外室 染污学化
苯甲二、苯甲、子离属金 质物染污
等 � �、 � �、 � � �、 � � � 质物染污
源染污学化要主� �表
逖坐
� � ��� � �
�� �
膜干、版制、像照的版制印
� �“ �� � �
� � � �� � �
� � �� � � � �� �
�级 �部局 �
�� �
� �� � �
造型童丝童童
配装机算计型微、器仪子电 理处面表 配装罩荫、覆涂墨石锥 粉光荧、配装检子电、屏涂
式方风送元单滤过机风为� �图
机捣空风新 � � ��器持袁 � � ��置轻 � � � � � �
式方风送道隧为� �图
‘黼��
”�
� � � �
�圆� �翮
‰生 �’掣 �斑 �
�街压静成进
�
�
蕊。撼”封
、� � �
� � �¨ � �
、�
旧《臃≯≮ �虱⑧莛吲
组槐 � �目
�
辅压睁风苦�…�
新霖陈院计设程工子电国中
》范规计设房厂净洁厂工子电《的中制编
式方风送中集� �图
髓 � 型
闩 �广 ��菩脚㈡ �闩
世
� �缝茬。
�。。。嘲硼黟
�
口� � � § � � �摩 � � � � � � � � � �� � � � � � � �� 一∞ � �一
口册赃聊睁
� � �¨ � �
�■ � � �
论无�色特具各房厂净洁厂工子电类各�异差的艺工产生其于由产生品产子电类各然虽
醇硅基甲三、� � �
� �、 � �、“ � �、 � � � �
剂溶用艺工 �备设、板 地、墙 �料材电静防 剂封密 土凝混 漆油 染污学化
� � � � � � �
、 � � � �、料塑软 品妆化、服净洁 人 �料滤丝璃
、工臣�
嗍孵他净
� �
求要计设境环产生品产子电、 � 语术、 � 则总、 � 排安节章 � � �
介简容内节章 �
。展发康健的术技净洁国我进促并�展发和状现术技净 洁期时段一后今或在现国我应适既制编的定规本使�见意的面面方方求征泛广�业企、校院
、计设、研科的行运、造建、计设房厂净洁品产似类或类同事从业各行各内国向面 � � �
�下如容内节章的范规该。定规的细详了定制均等置装警
报体气毒有�燃可�统系烷硅宗大�烷硅�制控动自其及统系风排�统系洒喷动自式湿�室净
洁流向单层多、量体大�如�定规体具了作题问全安、防消多许的厂工体导半对上容内在此 为�房厂净洁的厂工造制体导半于用适确明准标该� � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �准标防消室净洁 � � � � � � � � �准标性制强 �准标防消国美在而。容内或文条少减望希 中施实房厂净洁型类等厂工药医在定规、施措术技的电静防、振微防些某中其�中程过行执 在 � � � �� � � � � � � �的行现使剐。现实能不也加增、充补的定规施措术技关相的室净洁流向单 层多的量体大、别级高对�容内体具的面方等全安命生、电静防、振微防及以定规关相的全 安和送输、应供质物纯高如充补、加增于难范规计设房厂净洁用通国全为作 � � � �� � � � � � � � 》范规计设房厂净洁《准标家国行现�点特的房厂净洁厂工子电应适为 � � �