真空度定义与表示方法
真空发生器 真空度
真空发生器真空度一、什么是真空发生器？真空发生器是一种用于产生和维持真空环境的设备，通常由真空泵、气体吸附剂、电子控制系统等组成。
它可以将气体从封闭的容器或系统中抽出，使其内部压力低于大气压，达到一定的真空度。
二、真空度的定义及分类1. 真空度的定义真空度是指单位面积上所含气体分子数的数量级，通常用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）表示。
在实际应用中，还常用托（Torr）、毫米汞柱（mmHg）等单位来表示。
2. 真空度的分类根据不同应用场合和要求，真空度可以分为以下几个等级：(1) 低真空：指在大气压以下10 Pa至1 kPa之间的范围内工作。
(2) 中真空：指在10-3 Pa至10 Pa之间的范围内工作。
(3) 高真空：指在10-7 Pa至10-3 Pa之间的范围内工作。
(4) 超高真空：指在10-12 Pa至10-7 Pa之间的范围内工作。
三、常见的真空发生器类型及其特点1. 机械泵机械泵是一种通过机械方式抽出气体的真空泵，它通常由转子、定子、叶片等部件组成。
机械泵具有体积小、重量轻、维护简单等优点，但其最高真空度较低，一般只能达到10-2 Pa左右。
2. 分子泵分子泵是一种利用分子碰撞和反弹原理抽出气体的真空泵，它通常由转子、静态板和动态板等部件组成。
分子泵具有最高真空度高、抽速快等优点，但价格较高，易受污染影响。
3. 涡旋分离器涡旋分离器是一种将气体通过离心力分离的设备，它通常由转鼓、驱动装置等部件组成。
涡旋分离器具有无油无污染、噪音低等优点，但其最高真空度较低。
4. 吸附剂真空系统吸附剂真空系统是一种利用吸附剂对气体进行吸附的设备，通常采用活性炭、硅胶等材料作为吸附剂。
吸附剂真空系统具有无噪音、无振动、可实现低真空等优点，但其最高真空度较低。
四、如何选择合适的真空发生器？在选择真空发生器时，需要考虑以下几个因素：1. 应用场合和要求不同的应用场合和要求需要不同的真空度，因此需要根据实际情况选择合适的真空发生器。
真空常用计算公式
真空概念及真空计算公式1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝帕或1帕＝×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
15、冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
真空度的表征、单位和真空区域划分
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
真空度的表征、单位和真空区域划分
真空度的表征用压力表示真空度是由历史上采用U 型压力计测量真空所沿用下来的，这并不十分合理。
在通常真空系统中，通常以各向同性的中性气体的压力这一流体静力学
的物理量表示真空度，因此，真空度的测量仅仅归结于压力的测量。
但应特别
注意测量条件，测量的对象是在有限的容器内的静止（随机运动）、稳态、各向同性单一的中性气体。
在这种情况下，麦克斯威速度分布、余弦散射定律和流
体静力学压力概念（p = nkT，v= 1/4nc，p = ρgh）都比较符合客观实际，真空度的测量也比较简单容易。
根据真空度定义，真空度最好用分子密度n 表示，而以压力表示真空度
与此并不矛盾。
测量压力时，通常气体处于平衡态并满足麦克斯威速度分布定律，即p = nkT 成立。
测量时气体温度T 一定，因此气体压力p 正比于分子密度n。
也就是说，此时压力是分子密度的量度，因此可以用压力表示真空度。
在空间研究中，研究对象是无限空间的运动（1 ～10kms-1 或更高）以及非稳态、综合环境作用下的复杂气氛，此时麦克斯威速度分布定律和余弦散
射定律就不一定成立，因此压力也失去了原来的物理意义，真空度的测量比较
复杂和困难了。
在通常情况下，以压力表示真空度是流行、沿用的，但并不是唯一的，
还可以用如下参数表示真空度：
当真空度很高即分子密度很小时，统计涨落十分明显，如压力p = 10- 12Pa 时，统计涨落大于5 乘以10-2，压力已失去真实意义。
由此看来，在某些情况下，压力只是其他量的相对指示而已。
真空度的单位
真空度的单位“真空度”顾名思义就是真空的程度。
是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。
所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。
在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
对于真空度的标识通常有两种方法：一是用“绝对压力”、“绝对真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识；在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。
绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa。
(即一个标准大气压)二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。
"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。
用普通真空表测量。
在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。
当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。
国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。
理论上二者是可以相互换算的,两者换算方法如下：相对真空度=绝对真空度(绝对压力)-测量地点的气压常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。
近似换算关系如下：1MPa=1000KPa1KPa=1000Pa1大气压=100KPa=0.1MPa1大气压=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg1大气压=14.5PSI1KPa=10mbar真空是指低于1标准大气压的气态空间，建立这样一个气态环境，并在该环境中工艺制作、测量分析和科学试验等工作所需的理论及技术称之谓“真空科学与技术”。
真空度的定义和划分的区段
真空度是指真空中的空气压力，通常以帕（Pa）为单位表示。
真空度越大，空气压力就越低。
真空度可以分为几个区段：
1 大气压真空：真空度在101325 Pa 以上，等于或高于海平面的
大气压。
这个区段的压力和空气的压力是相等的，所以也称为大气压真空。
2 真空区：真空度在101325 Pa 到133.322 Pa 之间。
这个区间
内的真空度足以支撑一些轻质物品，但还不够强大，不能支撑重物。
3 强真空区：真空度在133.322 Pa 到1 Pa 之间。
在这个区间
内的真空度足以支撑大多数物品，但还不够极低，空气中仍然会有一些分子存在。
4 极低真空区：真空度在1 Pa 以下，这个区间内的真空度极低，
几乎没有分子存在。
这些区段是为了方便人们更好地理解真空的不同程度而划分的。
不同的区段通常会有不同的应用场合，比如在化学反应过程中，通常会使用大气压真空或真空区的真空度；在制造薄膜或半导体设备时，通常会使用强真空区的真空度；在物理学实验中，通常会使用极低真空区的真空度。
需要注意的是，这些区段的划分是相对的，并不是绝对的。
具体的真空度值是由实验设备的性能决定的，所以真空度的区段划分并不是固定的。
另外，在工业生产中，常常会使用单位转换因子来表示真空度的
大小，比如常见的单位转换因子有“托”（Torr）、“毫托”（mTorr）和“微托”（μTorr）。
托是真空度的常用单位，1 托等于1/760 atm （大气压）。
使用单位转换因子可以方便地将不同的真空度单位转换为一个统一的单位，方便比较和计算。
真空概念及真空计算公式
真空概念及真空计算公式真空概念及真空计算公式1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用"真空度高'和"真空度低'来表示。
真空度高表示真空度"好'的意思，真空度低表示真空度"差'的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.510-3托5、平均自由程作无规章热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号"'表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用"Q'表示，单位为帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的力量。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作"U'。
U＝Q/（P2- P1）8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用"P'表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最终一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在肯定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极放射电子电离气体分子，离子被收集极收集，依据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
真空技术基础知识
真空技术基础知识⼀真空的概念物理学上将真空定义为:⼀个空间不含有任何物质的状态(或称之为绝对真空);然⽽事实上这种状态⽆法⼆真空范围从技术⾓度讲已经可以达到10-14的数量级,但实际应⽤中使⽤范围较⼩.三真空的表⽰⽅法1)绝对值表⽰法真空度以相对于绝对0度的数值表⽰.绝对0度(即0 bar)是最低真空度,相当于100%真空.在这⼀真空范围特点：真空值采⽤正值真空范围1-0bar2)相对值表⽰法真空值以相对于环境压⼒的⽐例值表⽰，前⾯标以负号，因此此真空值环境压⼒（即⼤⽓压⼒）北视为特点：真空值采⽤负号真空范围0-1；3)百分⽐表⽰法⽤绝对⼤⽓压压⼒值与海平⾯⼤⽓压压⼒值的⽐值表⽰；百分⽐相对值绝对值0%1，013mbar（海平⾯⼤⽓压）压⼒表压⼒表恒温下,所含分⼦微粒少,压⼒⼩,真空度越⾼恒温下,所含分⼦微粒多,压⼒⾼,真空度越低105102GV(低真空)FV(中等真空)10-1HV(⾼真空)10-5UHV(超⾼真空)10-14应⽤于抓取技术的真空范围;真空技术基础知识50%507mbar80%202mbar 100%0 mbar 四真空度测量单位官⽅单位：帕斯卡（Pa）其他单位：bar、mbar、%等单位换算：1bar＝1000mbar100Pa=1hPa1hPa=1mbar1托(Torr)＝1毫⽶汞柱(mmHg)＝133.329帕(Pa) 1mbar=0.001bar1Pa =1N/m21物理⼤⽓压＝1标准⼤⽓压(atm)普适定理海平⾯的⼤⽓压⼒约为1，013mbar海拔⾼度达到2，000m时，⼤⽓压⼒降低为763mbar，⼤约每100m降低1%到达海拔5，500m时，压⼒仅为海平⾯的50%；在珠穆朗玛峰（海拔8，848m），⼤⽓压仅为330mbar当海拔达到16，000m时，⼤⽓压⼒约为90mbar，⽽在30，000与50，000的海拔⾼度，⼤⽓压⼒分真空发⽣器产⽣真空原理⽂丘⾥原理进⽓⼝/⽂丘⾥喷嘴真空/吸盘连接⼝排⽓⼝/接收器喷嘴真空技术常⽤图⽰符号1⼯程⼤⽓压＝1千克⼒/厘⽶2(kgf/cm2)1MPa＝1x106Pa 1mbar＝1000µbar＝1000dyn/cm2( 达因/厘⽶2)-811 mbarPU R 321123-1,013mbar1、真空发⽣器2、真空压⼒表3、过滤器4、单向阀5、储⽓罐7、节流阀8、消声器基本真空回路图真空安全阀（ISV)⼀、应⽤范围⽤于多个吸盘并⾏安装的情况，如果⼀个或⼏个吸盘没有与物体完全接触，则整个真空不会消失⼆、功能图1、真空发⽣器2、分配器3、真空安全阀4、吸盘1121223三、⼯作原理4这种状态⽆法实现.因此通常当某⼀空间内的空⽓压⼒低于其外部⼤⽓压⼒或是空间内空⽓分⼦颗粒这⼀真空范围内1 bar为最⼤值,代表⼤⽓压⼒.压⼒）北视为0值参考点。
真空度名词解释
真空度名词解释
真空度是一个用来描述空间内气体稀薄程度的物理量。
在真空度较高的情况下，气体分子间的相互碰撞和相互作用较少，因而气体的压强和粒子浓度都较低。
真空度通常由两种方式来表示：绝对真空度和相对真空度。
绝对真空度是指一个空间内完全没有气体分子存在的程度。
实际上，并不存在完全的绝对真空，但我们可以通过移除空间中的大部分气体来达到较高的绝对真空度。
绝对真空度通常用压强来衡量，常用单位有帕斯卡（Pa）和托（Torr）。
相对真空度是指一个空间中气体分子数相对于该空间全封闭状态时的分子数的比例。
相对真空度可以通过空间内的气体分子数密度（即单位体积内的气体分子数）来衡量。
常用的相对真空度单位有百分数和分数表示。
真空度可以通过不同的方法来获得和控制，例如：机械泵抽气、扩散泵技术、离子泵技术等。
在实际应用中，我们通常可以通过设置真空度的目标值并采取相应的措施来控制和维持真空度的稳定。
真空度在多个领域都有重要的应用。
例如，在科学和工业实验中，高真空度的空间可以用于研究气体分子间的相互作用、观察材料在真空条件下的性质等。
在电子工业中，高真空度的环境可以用于制造集成电路和其他微电子设备。
在太空探索领域，真空度的控制和维持是航天器的设计和运行中的重要因素。
总之，真空度是描述空间内气体稀薄程度的物理量，可以通过绝对真空度和相对真空度来表示。
它在科学实验、工业制造、电子工程和太空探索等领域都有重要的应用。
真空度定义
真空度处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用真空度表示。
若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。
从真空表所读得的数值称真空度。
真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即：真空度=大气压强—绝对压强，绝对压强=大气压+表压目录1概述2标识方法3相关知识4各参数关系1概述在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
详细定义所谓的真空度是指一个空间内气体分子数的密度比标准状态下(一个大气压101325pa)少。
而湿度通常是指气态水分子的多少。
空气中除了氮和氧以外，还有很多其他气体，水分就是其中之一，所以通常来讲湿度越大真空度越小，那相对来说湿度大抽真空就不容易。
决定真空度大小有两个因素:一个是真空泵本身能达到的极限真空度和抽速，一个是整个系统的泄漏量。
由于任何物质由固态或液态转化为气态都需要能量，所以气温越高，分子运动越活跃，越容易将其抽出。
由于是抽真空元件内部的气体，所以和元件内部的温湿度关系大，和大气的温湿度关系小，但如果大气的温度较高湿度小的话，抽空效果会好一点。
一般情况下，水是影响真空的重要因素，要抽出水分最重要一点是温度，如果没有足够的热能，由于抽真空导致气压下降，部分液态水会挥发，使留下的水温度下降，甚至变成冰。
定义三由于传统真空度表示的低于标准大气压强的压力值大小，不太容易比较出与标准大气压强的关系。
目前有很多人更倾向于接受：真空度=（标准大气压强-系统压强）/标准大气压强。
2标识方法对于真空度的标识通常有两种方法：一是用“绝对压力”、“绝对真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识；在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。
绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度=0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa(即一个标准大气压)。
二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。
真空泵的真空度
真空泵的真空度真空泵是一种用于产生真空环境的设备，广泛应用于各个领域，如科研实验室、制药业、电子工业等。
真空度是衡量真空泵性能的重要指标之一，它表示了真空泵能够达到的最高真空程度。
本文将从真空度的定义、影响真空度的因素、提高真空度的方法等方面进行介绍，以帮助读者更好地理解和应用真空泵。
一、真空度的定义真空度是指单位面积上所含气体分子数量的密度，通常用帕斯卡（Pa）或托（Torr）来表示。
常见的真空度范围从大气压（约为1 × 105 Pa）到极高真空（约为10-7 Pa）不等。
一般来说，真空度越高，单位体积中的气体分子数越少，也就是真空程度越好。
二、影响真空度的因素1. 泵的类型：不同类型的真空泵具有不同的工作原理和性能，因此其真空度也会有所差异。
常见的真空泵包括旋转式真空泵、扩散泵、分子泵等。
2. 泵的密封性能：泵的密封性能直接影响着泵体内外的气体交换情况。
良好的密封性能可以有效地防止气体泄漏，提高真空度。
3. 泵的抽取速度：抽取速度是指单位时间内泵体排出气体的能力。
抽取速度越大，泵体内的气体排除得越彻底，真空度也就越高。
4. 泵的排气系统：排气系统包括排气管道和排气阀门等组成部分。
合理设计的排气系统可以提高气体的排除效率，从而提高真空度。
5. 泵的使用环境：泵的使用环境也会对真空度产生一定的影响。
例如，在高温环境下，气体分子的热运动增强，容易影响真空度的提高。
三、提高真空度的方法1. 选择合适的真空泵：根据具体需求选择适合的真空泵类型，以确保能够满足所需的真空度要求。
2. 加强泵的密封性能：定期检查和更换泵的密封件，确保密封性良好，防止气体泄漏。
3. 提高抽取速度：增加泵的抽取速度可以更快地排除泵体内的气体，从而提高真空度。
可以通过增加泵的功率或改善泵的结构来实现。
4. 优化排气系统：合理设计和布置排气管道和排气阀门，减小管道的阻力，提高气体的排除效率。
5. 控制使用环境：尽量避免在高温或高湿环境下使用真空泵，以免影响真空度的提高。
真空度_精品文档
真空度什么是真空度？真空度是指在一个封闭空间内，气体的压力相对于大气压的程度。
通常用希腊字母“Ρ”来表示真空度。
真空度的测量单位是巴（Pascal）或托（Torr）。
常见的真空度单位有：大气压（atm）、毫巴（mbar）、帕斯卡（Pa）等。
真空度的分类根据真空度的大小，可以将其分为五个主要分类：1.低真空度：真空度在1 atm至1 mbar之间。
这个范围内的真空在很多实际应用中是非常常见的，如实验室中的气体处理、材料涂层、酒店房间的真空灭火系统等。
2.中等真空度：真空度在1 mbar至1 μbar之间。
中等真空度常用于工业设备中，如电子器件制造、医疗设备、光学仪器等。
3.高真空度：真空度在1 μbar至1 nbar之间。
高真空度常用于半导体制造、航天器件、等离子体研究、真空电子设备等领域。
4.超高真空：真空度在1 nbar至1 pbar之间。
超高真空度在科研领域的一些重要实验和仪器中经常使用，如电子显微镜、质谱仪、核聚变装置等。
5.极高真空：真空度低于1 pbar，通常要进行极其严格的实验条件设置和控制。
极高真空度多用于物理学和化学领域的核磁共振、扫描电子显微镜等高精度仪器。
测量和维持真空度测量真空度常用的设备是真空计。
根据测量原理的不同，真空计可以分为多种类型，包括毛细管压力计、热导式压力计、离子化室压力计等。
在维持真空度方面，有几点重要的要求和注意事项：•密封性良好：确保系统内外没有气体交换，避免空气泄漏等问题。
•充分抽气：使用适当的真空泵将系统内的气体抽出，使真空度达到要求。
•避免气体释放：在真空系统中使用合适的材料和密封件，避免气体释放造成真空度下降。
•定期检查和维护：定期检查真空系统的各个部件和连接处，确保其正常运行和维持足够的真空度。
应用领域真空技术在各个领域都有广泛的应用，以下是几个常见的领域：•工业生产：真空技术在工业生产中用于脱气、干燥、油脂处理等过程，提高生产效率和质量。
•研究和实验：在科研领域，真空技术用于材料表征、气体分析、等离子体研究等重要实验。
真空常用计算公式
真空概念及真空计算公式1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高〞和“真空度低〞来表示。
真空度高表示真空度“好〞的意思，真空度低表示真空度“差〞的意思。
3、真空度单位通常用托〔Torr〕为单位，近年国际上取用帕〔Pa〕作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规那么热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ〞表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q〞表示，单位为帕·升/秒〔Pa·L/s〕或托·升/秒〔Torr·L/s〕。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒〔L/s〕，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U〞。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P〞表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：〔Atm〕。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/〔P－P0〕12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计〔又收热阴极电离计〕由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
真空度的概念
真空度的概念真空度的概念一、引言真空度是指在一个封闭容器中，除了气体以外，其他物质的剩余程度。
随着科技的不断进步，真空技术被广泛应用于许多领域，如电子工业、航空航天、医疗等。
因此，了解真空度的概念对于这些领域的人员来说是非常重要的。
二、真空度的定义真空度是指在一个封闭容器中，除了气体以外，其他物质的剩余程度。
通常情况下，真空度是通过测量在一个特定容器中所有气体压力与标准大气压之间的差异来确定的。
这个差异可以用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）作为单位来表示。
三、真空度的分类根据实际应用场景和测量方法不同，真空度可以分为以下几种：1. 绝对压力：绝对压力是指相对于绝对零点（-273.15°C）而言，在一个封闭容器内所有气体产生的压力。
2. 大气压力：大气压力是指相对于地球表面上标准大气压（1013.25 mbar）而言，在一个封闭容器内所有气体产生的压力。
3. 差压：差压是指在一个封闭容器中，真空度与标准大气压之间的差异。
这种方法通常用于测量低真空度（10^-3 - 10^-7 mbar）。
4. 热导法：热导法是通过测量在真空条件下热传导的速率来确定真空度。
这种方法适用于高真空度（10^-7 - 10^-12 mbar）。
5. 质谱法：质谱法是通过测量气体分子的质量来确定真空度。
这种方法适用于极高真空度（< 10^-12 mbar）。
四、真空度的单位根据国际标准，真空度通常使用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）作为单位来表示。
其中，1 Pa等于0.01 mbar，1 mbar等于100 Pa。
五、应用领域由于其广泛应用和重要性，真空技术已成为许多领域不可或缺的一部分。
以下是一些主要应用领域：1. 电子工业：在制造电子元件和设备时需要使用高纯度材料和无尘环境。
因此，高真空技术被广泛应用于半导体制造、电子显微镜等领域。
2. 航空航天：在太空中，由于缺乏大气层的保护，航天器需要在外部环境下工作。
真空度概念ppt
真空表读数与真空
度(Pa)该如a。能
不能用直观的数字来
显示？
真空表上 “0”表示正一个大气压, “-0.1”表示绝对真空。 真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度 的相对值。
真空度的换算； 根据本表的刻度示值范围，真空度的绝 对值与相对值可用下式换算：
真空度计量单位换算如下： 0.1Mpa =1×105 Pa = 760mmHg = 1个大气压 1乇 = 1mmHg = 133.33Pa 2乇 = 0.00026666Mpa ≈267P-a
国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝 对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”， 但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量 的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因 此也有广泛应用。理论上二者是可以相互换算的,两者换算 方法如下：
相对真空度=极限真空度(绝对压力)-测量地点的气压(一 般按一个标准大气压100KPa计) 例如：PM8001的绝对压力为80KPa，则它的相对真空度约为 80-100＝-20KPa,在相对真空表- 上就该显示为-0.02MPa。
真空度概念
对于真空度的标识通常有两种方法，一是用绝对压力 （即：绝对真空度）标识，二是用相对压力（即：相对真空 度）标识。
压力、大气压力、绝对压力、表压力和真空度[1]
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压力、大气压力、绝对压力、表压力和真空度（整理时间；2010年12月2日星期四）一、科技名词定义中文名称：真空度英文名称：vacuumdegree;degreeof vacuum定义1：以百分数表示的真空与大气压力之比值。
所属学科：电力（一级学科）；汽轮机、燃气轮机（二级学科）定义2：表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。
所属学科：机械工程（一级学科）；实验室仪器和装置（二级学科）；真空获得仪器与装置-真空获得仪器与装置一般名词（三级学科）本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布二、正文内容定义一简略定义：处于真空状态下的气体稀簿程度，也即气体低于大气压强的那部分（压强）数值，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
若所测设备内的压强低于大气压强，对这低于大气压强的压强量（或曰数值，习惯上叫压力）的测量需要真空表。
从真空表所读得的数值称真空度。
真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即：真空度=(大气压强—绝对压强）注解：绝对压强既是实际（真实）压强。
全面解释“真空度”顾名思义就是真空的程度。
是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。
所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101Kp a，也即0.101325M pa≈0.1Mpa)的气体状态。
在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
编辑本段定义二所谓的真空度是指一个空间内气体分子数的密度比标准状态下(一个大气压101325pa)少。
而湿度通常是指气态水分子的多少。
空气中除了氮和氧以外，还有很多其他气体，水分就是其中之一，所以通常来讲湿度越大真空度越小，那相对来说湿度大抽真空就不容易。
允许吸上真空度单位
允许吸上真空度单位引言在物理学和工程领域，真空度是一个重要的物理量，用于描述某个区域内部气体的稀薄程度。
测量和控制真空度是许多科学实验、工业生产和技术应用中必不可少的环节。
为了标准化真空度的表示方法，国际上采用了一套统一的单位体系。
本文将介绍真空度的概念和测量方法，并详细介绍国际上常用的吸上真空度单位及其定义和转换关系。
真空度的概念在一个封闭容器中，如果气体分子数目足够少，以至于它们之间几乎没有相互碰撞或相互作用，那么我们称这个状态为真空。
而真空度则是衡量这种稀薄程度的物理量。
一般情况下，真空度可以通过两种方式来描述：压力表示法和密度表示法。
•压力表示法：以压力来表示真空度，通常使用帕斯卡（Pa）作为单位。
帕斯卡是国际单位制中压强的基本单位，定义为1牛顿每平方米。
•密度表示法：以气体分子数目密度来表示真空度，通常使用分子数目密度的倒数作为单位。
这个单位被称为“吸上”。
真空度的测量方法为了测量真空度，科学家和工程师们开发了多种方法和装置。
下面介绍几种常用的真空度测量方法：1.悬臂梁法：利用悬臂梁的挠曲来测量真空度。
当容器内部压力降低时，悬臂梁会发生弯曲，通过测量弯曲程度可以得到真空度的估计值。
2.热导法：利用气体热传导的特性来测量真空度。
通过将一个加热丝置于容器内部，并测量丝材温度变化，可以推算出真空度。
3.离子阱法：利用离子阱中离子运动规律来测量真空度。
通过在离子阱中施加电场和磁场，并观察离子运动状态的变化，可以确定真空度。
吸上真空度单位帕斯卡（Pa）帕斯卡是国际单位制中压强的基本单位，定义为1牛顿每平方米。
在压力表示法中，帕斯卡常被用作真空度的单位。
吸上（Torr）吸上是真空度的密度表示法单位，定义为气体分子数目密度的倒数。
常用的吸上单位是托（Torr），定义为标准大气压下1毫米汞柱的压力。
1托等于133.322帕斯卡。
压强（mbar）压强是真空度的另一种密度表示法单位，常用的压强单位是毫巴（mbar），定义为1毫巴等于100帕斯卡。
真空度与表压的关系
真空度与表压的关系真空度与表压的关系引言：真空技术一直是各个领域的研究热点，尤其在微电子、光学和材料科学等领域有着广泛的应用。
真空度是评价和描述真空状态的指标之一，而表压则是真空度的一种常用表达方式。
本文将探讨真空度与表压的关系，并介绍真空度的表达方式及其在不同领域的应用。
一、真空度的定义和评价真空度是指单位体积内气体分子或原子的数量，是评价和描述真空状态的重要参数。
常见的真空度单位有torr、Pa、mbar等。
真空度的高低直接影响着各种真空工艺的进行和相关设备的性能。
真空度的评价可通过判断气体分子或原子的稀薄程度来实现。
较高的真空度意味着单位体积内的分子或原子数量较低，同时也会导致一些特殊气体动力学性质的改变。
二、表压的定义和意义表压是真空度的一种常用表达方式，是指真空度与大气压之比。
通常使用绝对压力计作为表压的示值器。
表压的意义在于直观、方便地表示真空度的大小。
较高的表压意味着真空度较高，而较低的表压则意味着真空度较低。
三、真空度与表压的关系真空度与表压之间存在着直接的关系，可以通过以下公式进行转换：真空度= (表压/ 大气压) × 100%由此可见，真空度与表压呈正相关关系。
当表压很小时，真空度接近于100%，即接近于真空状态；当表压接近或等于大气压时，真空度只有接近于0%。
四、真空度的常用表达方式在真空技术领域，通常使用以下方式来表示真空度：1. torr：1 torr等于标准大气压下的760分之一。
常用于微电子领域。
2. Pascal (Pa)：国际单位制中的压力单位，1 Pa等于1 N/m²。
常用于科研领域。
3. bar：1 bar等于10^5 Pa。
常用于工业领域。
五、真空度在不同领域的应用真空度的高低决定了在不同领域内真空技术的应用范围和效果。
1. 微电子：真空度的高低直接影响着半导体器件制造中的薄膜沉积、离子注入、蒸发和溅射等工艺。
高真空环境下可以减少污染物的存在，提高器件的性能稳定性和可靠性。
氧 真空度
氧真空度真空度并不影响氧气浓度。
因为抽真空使空气同比例稀释。
体积分数还是21%真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度。
若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。
从真空表所读得的数值称真空度。
真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即：真空度=大气压强-绝对压强，绝对压强=大气压+表压（-真空度）。
气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
全面解释“真空度”顾名思义就是真空的程度。
是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。
[1]所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。
在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
详细定义所谓的真空度是指一个空间内气体分子数的密度比标准状态下(一个大气压101325pa)少。
而湿度通常是指气态水分子的多少。
空气中除了氮和氧以外，还有很多其他气体，水分就是其中之一，所以通常来讲湿度越大真空度越小，那相对来说湿度大抽真空就不容易。
决定真空度大小有两个因素：一个是真空泵本身能达到的极限真空度和抽速，一个是整个系统的泄漏量。
由于任何物质由固态或液态转化为气态都需要能量，所以气温越高，分子运动越活跃，越容易将其抽出。
由于是抽真空元件内部的气体，所以和元件内部的温湿度关系大，和大气的温湿度关系小，但如果大气的温度较高湿度小的话，抽空效果会好一点。
一般情况下，水是影响真空的重要因素，要抽出水分最重要一点是温度，如果没有足够的热能，由于抽真空导致气压下降，部分液态水会挥发，使留下的水温度下降，甚至变成冰。
[2]定义三由于传统真空度表示的低于标准大气压强的压力值大小，不太容易比较出与标准大气压强的关系。
有很多人更倾向于接受：真空度=（标准大气压强-系统压强）/标准大气压强。
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真空度
处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度表示。
若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。
从真空表所读得的数值称真空度。
真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即：真空度=(大气压强—绝对压强）
定义一
气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
全面解释
“真空度”顾名思义就是真空的程度。
是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。
所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。
在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。
定义二
所谓的真空度是指一个空间内气体分子数的密度比标准状态下(一个大气压101325pa)少。
而湿度通常是指气态水分子的多少。
空气中除了氮和氧以外，还有很多其他气体，水分就是其中之一，所以通常来讲湿度越大真空度越小，那相对来说湿度大抽真空就不容易。
决定真空度大小有两个因素:一个是真空泵本身能达到的极限真空度和抽速，一个是整个系统的泄漏量。
由于任何物质由固态或液态转化为气态都需要能量，所以气温越高，分子运动越活跃，越容易将其抽出。
由于是抽真空元件内部的气体，所以和元件内部的温湿度关系大，和大气的温湿度关系小，但如果大气的温度较高湿度小的话，抽空效果会好一点。
一般情况下，水是影响真空的重要因素，要抽出水分最重要一点是温度，如果没有足够的热能，由于抽真空导致气压下降，部分液态水会挥发，使留下的水温度下降，甚至变成冰。
定义三
由于传统真空度表示的低于标准大气压强的压力值大小，不太容易比较出与标准大气压强的关系。
目前有很多人更倾向于接受：真空度=（系统压强-标准大气压强）/标准大气压强压强。
标识方法
对于真空度的标识通常有两种方法：
一是用“绝对压力”、“绝对真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识；
在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。
绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度=0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101.325KPa(即一个标准大气压)。
二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。
"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。
用普通真空表测量。
在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。
当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。
比如，有一款微型真空泵PH2506B测量值为－75KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低75KPa的真空状态。
编辑本段相关知识
相对真空度和绝对真空度的换算
国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度（绝对真空其实是一种理想的真空状态，其实绝对真空是不存在的）、绝对压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。
理论上二者是可以相互换算的，两者换算方法如下：
相对真空度=绝对真空度(绝对压力)-测量地点的气压
一个标准大气压1atm=101325Pa=101.325kPa=0.101325MPa≈0.1MPa单圈弹簧管式压力表（比如Y—100）测量的是相对压力，指针是顺时针变化，起始点0表示一个大气压0.1MPa，比如指示为1 MPa，表示比大气压高1 MPa，绝对压力应是1.1MPa。
单圈弹簧管式真空表（比如Z—100）测量的也是相对压力，指针是逆时针变化，起始点0表示一个大气压0.1MPa，若指示数为Px（应是负值），绝对压力P=Px+0.1MPa。
比如，指示数为Px=－0.02MPa=－20kPa，绝对压力
P=Px+0.1MPa=80 kPa。
指示数为Px=－0.04MPa=－40kPa，绝对压力
P=Px+0.1MPa=60 kPa。
指示数为Px=－0.06MPa=－60kPa，绝对压力
P=Px+0.1MPa=40 kPa。
指示数为Px=－0.08MPa=－80kPa，绝对压力
P=Px+0.1MPa=20 kPa。
相对真空压力－0.1MPa，实际应是－0.101325MPa，相当于绝对压力为0，这是不可能达到的，目前能达到的最高真空度大约为10^（－12）Pa。
常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kg/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI,atm等。
近似换算关系如下：
1MPa=1000KPa
1KPa=1000Pa
1标准大气压=100KPa=0.1MPa（近似值，在要求不高的场合近似计算，用于粗略计算）
1标准大气压=1公斤(Kg/cm2)（近似值，用于粗略计算）=760mmHg
1标准大气压=14.5PSI（近似值，用于粗略计算）
1KPa=10mbar
1bar=1000mbar
1atm=101325Pa (atm表示一个标准大气压作为参考量)
各种参数的关系
压力、绝对压力、表压力、真空度、真空压力，标准大气压之间的关系
空气压力可以用压力、表压力和真空度等来衡量。
绝对压力：以绝对真空作为起点的压力值。
一般需在表示绝对压力的符号的右下角标注“ABS”，即Pabs。
表压力：高出当地大气压的压力值。
由压力表测得的压力值即为表压力。
表示表压力的符号，一般不做标注，必要时可以在其右下角标注“e”，即Pe。
表压力会由于当地大气压力变化而变化。
真空度：低于当地大气压力的压力值
真空压力：绝对压力与大气压力之差。
真空压力在数值上与真空度相同，但应在其数值前加负号。
压力、绝对压力、表压力、真空度、真空压力之间的关系见下图：
一个标准大气压是这样规定的：把温度为0℃、纬度45度海平面上的气压称为1个大气压，水银气压表上的数值为760毫米水银柱高。