干式真空泵使用说明

4 热交换器(内部冷
却液和外部冷却
水）
5 真空腔体(三级抓
式结构)
6 反转的第二级抓
7 压力释放阀
8 出口法兰
9 齿轮箱
9
10 联接器箱
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…结构材料
• 定子和转子均用球墨铸铁（ductile）取 消了脆性铸铁
• 轴材料是EN24T钢 • 旋转密封用聚四氟乙烯 • 氟橡胶或FEP封装O圈
• 安全
• 更高的真空并且更灵活的
运行
• 抗腐蚀
• 无废料，无污染，无或 较
少处置废弃物 的费用
• 处理固体和液体
• •
较低的维护成本 溶剂直接在泵的排气口回
•
投资成本对比拥有成本
收
• 较低的水电消耗：较低的 • 维修服务
总拥有成本
• 应用及技术支持
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干泵：处理液体
• 干泵能够处理一些连续流体，和单个小 块而不损坏
极限真空 (mBar) 极限真空 (Pa) 冷却水从泵吸收的典型热量 (Kw) 最大耗水量 (升/小时)
泵工作温度为55゜C 泵工作温度为65゜C 泵工作温度为90゜C 冷却液容量 (升) 冲洗泵所需的清洁液 (升)
DP80 625
4 73 83 98 6x10 -1 60 2.5
DP160 700 7.5 78 163 197
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转矩限制器
(DP250和DP400标配,DP80和DP160选配) •马达通过转矩限制器驱动泵轴 •当泵的转矩因为某些原因过大时,转矩限制 器将松开,防止泵体机械装置的损坏
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Edwards干泵 技术数据
பைடு நூலகம்
参数 重量 (Kg) 马达功率 (Kw) 典型的连续A类声音压力等级 (dB) 最大泵速 (立方米/小时) 排气量 (立方米/小时)
EDP200/300）以节能
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…设计特点：垂直安装
• 增强对液体和颗粒的处理能力 • 如果需要泵易于冲洗 • 靠重力排液 • 小战地面积的紧凑单元
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...适应性
• 很好地适合于作机械增压泵的支持 • 低于80dB(A)的典型噪音水平 • 间接或直接水冷；空气鼓风冷却 • 溶剂注入点以清洗各个抽空级 • 高背压选项以改进排气凝结
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…设计特点
• 聚四氟乙烯（Fomblin）润滑的高真空 （HV)轴承
• 油润滑的齿轮箱 • 可以用气体或溶剂清洗的中间级 • 用气体冲洗－“轴封冲洗”来保护在齿
轮箱和低真空级之间的轴封 • 机械密封和加压齿轮箱选项
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… 设计特点
• 离合器 - 不受损于液体或金属小块 • 直接/间接水冷却 • 热保护自动开关 • 气镇 • 压力释放开关（仅对DP250/400，
BOC EDWARDS
化学干泵
DP Series
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Edwards化工干泵的外观
DP250
配有EH系列罗茨泵的机组
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Edwards干泵的原理－爪式机构
• 良好的气体压缩 比 – 1级：大气到 100 mbar
• 有效的气体压缩 – 最小的热量生 成
• 在较低的压力下 抽速依然有效
稍高的初期投资，但是 • 较佳的占有成本
– 延长维修间隔及轴承寿命 – 在工作范围内低功耗。因此，以立方
米/小时/千瓦计能耗更有效 – 无对污染油的弃置 – 要求标准受保证。若泵足够好，则对
无论什么工艺都不需例外
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1
5 6 7
8 10
内部构造
2
3
4
1 入口法兰
2 上部轴承
3 内部冷却液
而高的气导路径以达到最小的气体停留时间 • 较短的气路
– 消除冷点 – 阻止凝结 – 阻止固态小粒堆积
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液体泵的主要问题
• 密封液体供应 • 产生污染 • 废料处置费用 • 易受腐蚀 • 有蒸气压限制 • 可靠性低 • 拥有成本高 • 真空度差
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干泵的特点
• 无工艺气流污染
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爪式干泵的原理
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三级反置爪式泵：示意图
INLET
REVERSED CLAWS
EXHAUST
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三级反置爪式泵 ：优点
• 牢固的机构；能处理复杂的工艺 • 无须苛刻的角度设置 • 爪和齿轮均用栓销定位；易于装配和维修 • 倒置爪安排导致进口和入口在同一直线上；短
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Edwards干泵 电气参数
电压 类型 DP80 AB
DP160 AB
DP250 AB
DP400
A
B
380V S 8.3A 2.9A 14.3A 8.5A 21.2A 6.0A 34.5A 7.7A
380V F 7.9A 2.2A 11.0A 3.8A 22.1A 6.1A 36.0A 9.0A
¼” Swagelock fitting
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温度控制系统
•间接冷却系统 冷却液冷却泵体,再与外部冷却水进行热交换 •温度控制阀门 控制流向热交换器的冷却水,从而保持泵温稳 定不变 •热保护开关 在泵温过高时切断泵的电源
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压力释放阀(DP250和DP400)
•位于泵出口和第二级之间 •当泵的入口压力大于300mBar(DP250)或 200mBar (DP400)时,阀门打开,气体不经第三 级压缩直接排出 •可以在从大气压到10mBar的过程中提供稳定 的泵速, 减小此段时间内的电力消耗
– 标准泵可在1150mbar下抽真空 – 用较大的电机在1300 mbar下抽真空 – 可以有高压力差（~2bar）
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…易于维修
• 泵可以拆开 • 密封和轴承都装在可拆卸的套壳内 • 无须调置苛刻的径向间隙 • 在泵原位换电极 • 简单的直接驱动机构使维修最小化
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密封的吹气冲洗
5x10 -1 50 4
DP250 800 11 79 260 315
4x10 -1 40 5
DP400 875 18.5 82 385 540
4x10 -1 40 5
600 180 20 12.5
5
480
600
600
180
120
180
36
36
42
15 15.75 16.8
7
8.5
9.6
注: 冷却水为20゜C
• 若泵被液体充溢，不会损坏 • 注：由液体引起的腐蚀
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干泵：处理固体
• 能够处理一些固体而不损坏（但最好使 用用入口过滤器）
• 能够冲洗卡住的泵 • 如果需要，能够把泵拆开
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干泵：处理腐蚀性蒸汽
• 热泵运行则蒸汽保持在气态——没有腐 蚀
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干泵：占有成本