JSD-300蒸发镀膜机使用说明书

JSD-300型真空镀膜机

使

用

说

明

书

安徽嘉硕真空科技有限公司

目录

1、概述 (3)

2、主要技术性能参数 (3)

3、设备安装 (5)

4、操作规程 (5)

5、使用注意事项、维护与保养 (7)

6、设备主要配置 (8)

7、技术资料清单 (9)

一、概述

JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。

二、主要技术性能参数

1.真空室：φ300*H450mm；

2.基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）；

3.最大可镀工件直径：φ120mm；

4.极限真空度：1X10-4Pa;

5.抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min；

6.蒸发：电阻式蒸发电极（2对）

功率：2KW；

7.开启方式：上翻盖结构；

8.真空系统：机械泵+分子泵；

设备结构介绍：

1.真空室

钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底

板、蒸发源等；

2.真空系统

采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构；

3.电气系统

电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。

系统示意图如下所示：

图1 JSD-300真空镀膜机示意图

调节旋纽

电控面板 电流表 蒸发开关 膜厚仪探头

步进电机

插板阀

预抽阀门

备用接口 分子泵电源

前门板

总开关

电离单元 观察窗挡板 真空室 陶封电极 电机控制器

电阻单元

真空计

膜厚仪 加热温控电源 封板

地脚

脚轮

观察窗 温控仪表

三、设备安装

3.1、机架平面尺寸：L1200×W700mm。

3.2 、配套设施准备

设备安装前，客户应提供如下条件：

3.2.1 整机配电要求

安装位置附近应有易得的电源插座；

供电：交流220V，8KW。

3.2.2 联接地线要求

本设备必须进行良好接地。使用前，需将设备与安装场地内的地线进行有效连接。

3.2.3 冷却水安装

设备使用时，须对分子泵、电极等进行冷却。设备使用前，先接通冷却水。

四、操作规程

4.1 开机准备工作

4.1.1 总供电检测：用万用表测量用户端的电压是否正常，若为三相，检测三相是否正常，零线及地线是否有效；

4.1.2 冷却水检测：将设备的冷却水接通后打开冷却水阀门，为设备供水，观察出水口是否有水流出，保证各水路畅通。

4.1.3 电气检查：检查总供电电源配线是否完好，地线是否接好，所有仪表电源开关全部处于关闭状态。

4.1.4 真空系统检测：检查分子泵、机械泵油是否达到使用要求。检查所有手动阀门是否处在关闭状态（注意，本设备中所使用的手动阀门，顺时针方向为关，逆时针为开）。确定真空室已经处在抽真空的准备状态。

4.1.5 镀材安装：本设备的配置二组蒸发电极，蒸镀前在蒸发舟上安装需要镀制的材料。

4.1.6 基片安装：先将样品（待镀基片）清洗干净后，将基片装到基片盘上。

4.2 开机

4.2.1 启动总电源：确认所有电源开关都在关闭状态后，转动总控制电源开关，相关仪器表盘灯亮，供电正常。如果相关仪器表盘灯不亮，应检查供电电源是否有问题。在确认电源正常之后方可进行下一步工作。

4.2.2 启动机械泵: 按下控制面板上的机械泵开关，机械泵指示灯亮，此时机械泵工作。机械泵工作后，打开预抽阀，对真空室进行抽气，然后打开电磁阀对分子泵泵腔进行预抽。打开真空室复合真空计进行测量。（复合真空计及规管说明书见附件：《微机型数显复合真空计使用说明书》。）

4.2.3 启动分子泵：确认分子泵的冷却水均处于接通状态，待真空度达到10Pa以下时，打开分子泵控制器（按下分子泵控制电源面板上的工作按纽），启动分子泵，约1-2分钟分子泵完全启动后，关闭预抽阀，打开插板阀对真空室进行抽气。

4.3 镀膜

用分子泵+机械泵对真空室连续抽真空，利用复合真空计监测真空室内的真空度。待真空室内本底真空度达到本次实验所预期要求后，即可准备镀膜工作。

4.3.1先将调压开关调整至零位（逆时针转到最小）；

4.3.2确定蒸镀电极，在控制面板上先确定本次实验所需要的一组或多组电极，再根据实验需要依次或同时打开一组或二组电极；

4.3.3开启实验所需要的蒸发电压按钮，旋转调压器（00-100A左右），先将电阻蒸发丝预热，然后调整蒸发电流直至膜材完全蒸发。

4.3.4设备配套一个四通道膜厚仪，在镀膜过程中可实时监测膜厚，具体操作方法见使用说明书

4.3.5设备配置一套温控加热电源，可在加热过程中对基片加热，加热温度0-300度连续可调；

4.4 关机

4.4.1 停止镀膜

镀膜完成后，将调压器旋至零位，关闭蒸发电源按钮，关闭插板阀后关闭分子泵，约2-3分钟后，分子泵完全停下后既可断开冷却水，再关闭前级真空泵，关闭相应的电源。

4.4.2 关闭系统

完成镀膜后，开启放气阀，打开真空室取出样品，之后使用前级真空泵对真空室进行抽空后关闭电源。保持真空室处于真空状态。

五、使用注意事项、维护与保养

5.1 使用注意事项

5.1.1 设备应在清洁的室内环境使用。

5.1.2分子泵、机械泵的使用和维护应严格按照相应说明书上的规定进行。

5.1.3 真空室暴露大气应尽可能的短，同时暴大气时应关紧插板阀，以免分子泵、抽气管路等受到污染。

5.1.4样品可随炉冷却，真空室内温度≤60℃以下时再暴露大气。

5.1.6 对真空室内零件进行操作（包括蒸发舟、镀材等）时，要注意真空室的清洁。

5.2 维护和保养

5.2.1 设备运行一段时间后，若真空度有下降现象，应及时检查各法兰密封口是否有胶圈老化及螺钉松动现象，并及时更换胶圈，拧紧螺钉。

5.2.2 遇有前级真空抽不上去时，除了要尽力排除前级管道及电磁阀的泄露之外，要检查机械泵是否油不够或油质变劣，要定期查看油标，及时加注或更换泵油。分子泵的油标也要定期检查（约半年时间查一次）。