JSD-300蒸发镀膜机使用说明书
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
镀膜机操作步骤
镀膜机操作步骤注意：1.清洗前，看片子是否短路，是否大小与样品托合适，蒸镀时放样品托的架子升最高，且旋转。
2.打开电流开关，及时打开ABC舟中一个，打开束源炉，及时打开其中一个启动A、B等。
3.掺杂材料用量覆盖舟底即可。
操作步骤：1、打开总开关，包括冷却水开关和机器开关。
2、打开镀膜机总开关，样品旋转开关，升降开关按钮。
3、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下。
4、蒸镀室、预处理室放气。
5、打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向关，逆时针方向开），推拉杆推至大真空室中，将样品放到推拉杆上，将推拉杆拉回至预处理中。
关闭闸板阀（顺时关闭，逆时针开）6、打开快门控制电源，打开快门一，更换钨丝（每做一次实验更换一次），将铝丝挂在钨丝上（5个，挂于弯折处），检查蒸镀所需材料。
7、将掩膜版放置于掩膜版架上。
8、打开机械A、机械B泵。
打开四个真空计，关闭放气阀。
9、基片预处理（打开角阀）：当处理室真空度达到4.0E1 (4.0×10)Pa 时关闭预角阀，打开大真空室角阀，再打开紫外轰击电源（直流溅射电源），调节电流0.025-0.030A。
轰击10-15分钟（等预处理室与蒸镀室气压平衡，打开闸板）。
10、插入样品托：再次打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），将样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台（注意样品托挡板位置）与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。
11、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。
12、当大真空室的压强为1.2E1的时候，关闭角阀，打开闸板阀。
13、关闭机械泵A，升起样品台。
14、打开分子泵。
抽到6.0-6.5E-4（大概需要两个小时）。
电子束蒸发镀膜仪简易操作流程
电子束蒸发镀膜仪简易操作流程1、打开北313高纯氮气瓶主阀（减压阀0.25 MPa，使用结束切记关阀，因为漏气）；2、打开电子束蒸发仪后面的高氮手阀；3、登陆界面。
沉积系统和膜厚系统分别登陆；4、观察两个腔室真空度情况：主腔室一般~ 10-8 torr，送样室一般~ 10-7 torr；5、在真空界面，Loadlock自动充气（提前打开门把手）；6、取样品盘，装样，放入腔体，关仓门；7、Loadlock自动抽气，待真空达到~ 10-7 torr；8、送样：在送样界面，点击自动送样，稍等一会（待字体由红变黑结束送样），打开观察窗挡板观察送样是否到位，随后关闭观察窗挡板；9、打开下方的电子束高压电源与扫描控制器；10、在膜厚系统，Edit -> Process ->选择对应靶材，更改速率Set point（Å/s）以及厚度Finalthickness（kÅ），点击OK；11、在工艺控制界面，材料分布处输入对应靶材的号码并确定，点击坩埚导位（由绿变红完成导位）；打开观察窗挡板观察是否导位正确，随后关闭观察窗挡板；12、在工艺控制界面，样品旋转~10 rpm；13、待主腔室真空度达到~ 10-8 torr，点击HV1 On，开电子束，由红变绿，响一声；14、点击Start process，开始自动镀膜；15、在膜厚系统观察蒸镀过程。
Output power graph和Rate graph；若出现异常，点Abortprocess；16、蒸镀结束后，关闭HV1 ON。
若还需蒸镀其他材料，回到第9步；17、关闭高压电源以及扫描控制器；18、在送样界面，自动取样，稍等一会，待取样完成；19、Loadlock自动充气（提前打开门把手），取样；20、将样品盘放回，关仓门，Loadlock自动抽气；21、待Loadlock自动抽气按钮变成黑色后，退出登录（点击注销）；22、关闭高氮手阀，以及北313高氮气瓶；23、实验登记。
电阻式蒸发镀膜机具体操作说明书
电阻式蒸发镀膜机具体操作说明书电阻式蒸发镀膜机技术员培训文件§声明§：此镀膜机为专业领域使用镀膜设备，要由经过专业培训的镀膜技师操作此设备，对于操作人员误操作而造成的机械故障以及泵、腔、电器故障及损坏我司将不予负责。
一、设备开机的具体操作步骤我厂生产镀膜机为手/自动可切换型镀膜设备。
下面先讲一下手动开机和自动开机的具体步骤，《手自动关机待看标题第四项》1、手动开机（预机）（预：预热。
机：设备：）①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆接头是否松动、等等辅助设备。
②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已经进入通电待机状态，然后点击触摸屏上的“维持泵”图像按钮，打开维持泵。
带真空达到15Pa时（1.5x10°Pa）再点击触摸屏上的“扩散泵”图像按钮打开“扩散泵”《弯曲线变成红色》待加热90分钟，开机（预机）完成。
2、自动开机（预机）（预：预热。
机：设备：）①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆接头是否松动、等等辅助设备。
②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已经进入通电待机状态，然后点击触摸屏上的“参数设定”键，按下后会自动弹出一个新的画面，再点击新画面上的“自动开关机”键，紧接着又会弹出一个自动开关机设定画面，然后点击自动开关机设定画面上的“启动自动开机键”?《注1:！要先设定开关机时间再点击按钮》?《时间制式为24 小时制，如时间与当前时间不一致，也可通过左下方“时间调节”来调整时间》，这时已经启动自动开机（预机）,预机需要90分钟，时间一到触摸屏会提示开机完成。
注2?：本人认为自动开机对初学者提供一个比较好的步骤教材，初学者应在“自动”执行的时候看其步骤操作，可在其中学到开关泵、阀门、以及开关以上两点的真空度要求等等。
所以在此本人提醒一下初学要好好学好好看，如因自己学、识程度不够误操作设备出现的故障，我公司将是不会纳入保修之内的。
蒸镀设备操作简易说明 - 最终版
蒸镀设备操作简易说明1.打开循环水机，点击“启动”按钮，确保循环水机的压缩机按钮灯亮。
2.打开电控柜1、电控柜2电源。
3.电脑开机后，打开桌面软件“FC(力控ForceControl V7.0)”，点击“运行”，在弹出窗口输入用户名“user”，密码“111”。
4.观察电控柜1的电离是否关闭（电离灯灭为关闭状态），如电离为开启状态，点击“功能自动手动”按钮关闭电离，然后鼠标点击屏幕“电离规”按钮，使其由绿色变为红色。
5.打开放气阀，鼠标点击软件中“放气阀”，绿色表示为打开。
蒸镀箱体进气至常压，可观察显示屏上压力数值，大致在85000-100000Pa时即为常压。
6.打开蒸镀舱门，放置样品，将蒸镀金属放在指定的钼舟上，如将银放在钼舟2-1上（此为蒸镀银常用的位置），一般放置2-3粒，关闭舱门。
蒸发舟位置分布：7.关闭放气阀，鼠标点击“放气阀”，变为红色即为关闭。
8.鼠标点击“开机”键，系统自动抽真空，到压力小于为5×10-4Pa时，可以开始蒸镀。
9.打开需要的挡板，如“挡板2-1”，鼠标点击使其变为绿色。
在电控柜2中的无机蒸发电源2面板中点击“启动”按钮，“运行”灯亮，缓慢调节电流至102-106A，使蒸发速率稳定在0.1Å/s，然后鼠标点击打开“基片控制”模块中的“挡板”，使其由红色变为绿色。
然后再点击“清零”按钮。
之后根据需要调节蒸发速率，直至最后蒸镀到指定厚度，此时系统自动关闭挡板。
然后手动将蒸发电流逐渐调小至零，点击“停止”按钮，关闭蒸发电源。
10.关闭电离，点击“功能自动手动”按钮关闭电离，鼠标点击“电离规”使其变为红色。
11.鼠标点击“关机”键，等待系统的分子泵降速为零，再等待系统机械泵关闭（红色为关闭状态）。
12.鼠标点击“放气阀”，进气至常压。
然后打开舱门，取出样品，关闭舱门。
13.关闭放气阀，鼠标点击“放气阀”，显示为红色为关闭。
14.鼠标点击打开“机械泵”，再点击打开“旁路阀”，抽真空至30Pa左右，然后鼠标点击关闭“旁路阀”，再点击关闭“机械泵”。
蒸发镀膜设备软件说明书V.012
操作手冊富臨科技工程股份有限公司新北市五股區五權路57號3樓TEL：(02)2290-2333 FAX：(02)8990-4091目錄：半自動模式。
1.0鍍膜參數。
2.0系統設定值。
3.0鍍膜紀錄。
4.0趨勢圖。
5.0自動鍍膜。
6.0冷凍幫浦。
7.0手動模式。
8.0權限設定。
9.0安全警示標示說明標示說明注意高溫請勿觸摸注意作業人員維修前請先關閉電源，避免夾手注意高壓電危險，作業人員注意安全(存在場所：高壓電極導入部份與AC 220V部份)注意機械危險，請將手遠離機械裝置注意保持通風順暢注意高壓電，維修前請先關閉電源所有使用者在開始操作系統之前，應該熟讀本使用手冊，以及內附的各項儀器手冊中所提到的安全注意事項，以幫助使用者能夠確實瞭解本系統，進而避免系統損壞或人員傷害，也才能避免不可預期的操作失誤狀況。
安全只是閱讀本手冊的好處之一。
除了安全外，還可避免於安裝及操作本系統時發生挫折，並可學習操作訣竅，節省摸索測試的時間。
安全協定本公司建議系統操作者，應該預先受過適當的製程控制原理。
重要安全提示1.在系統有害的區域中裝置硬體和軟體安全連鎖、有害警告標誌或各種安全保護裝置以保護人員在操作或維修中受到傷害。
機器使用手冊提供完善的安全操作維護的必要程序與資料，此手冊並包含有可能發生的可視有害狀況以警告個人免受傷害。
2.警告：改裝此機器設備、修改或使安全連鎖裝置失效或沒有按照建議的操作維護程序工作將造成使用人員或設備上之損害。
3.只有受過完整訓練的個人及熟悉本設備之人員可以操作或維護本設備，其餘人員則嚴禁操作或變更本設備,否則會造成人員或設備之損傷, 而造成嚴重的後果。
4.建議至少兩位訓練合格的人員一起在場才可執行維修的工作，請勿一人獨立工作。
執行任務中一位人員必須監控控制和指示號誌，另一位執行維修工作。
維修中請關閉電源。
當內部元件或線路暴露在外時必須小心謹慎，在維修前請盡可能的關閉電源並鎖住標示。
除了維修手冊允許的程序，勿修改或使安全連鎖裝置失效。
镀膜机操作规程(3篇)
第1篇一、前言镀膜机是一种用于在物体表面形成均匀薄膜的设备，广泛应用于光学、电子、建材等行业。
为确保操作安全、设备正常运行以及产品质量，特制定本操作规程。
二、操作前准备1. 检查镀膜机各部件是否完好，包括电源、控制系统、真空系统、喷枪、泵等。
2. 确认设备处于关闭状态，并进行安全防护措施，如关闭电源、切断水源等。
3. 检查工作环境，确保无易燃易爆物品，通风良好。
4. 检查并调整真空系统，确保真空度达到要求。
5. 准备好所需材料，如镀膜液、清洗液、擦拭布等。
三、操作步骤1. 开启电源，启动控制系统，预热设备至设定温度。
2. 检查喷枪是否清洁，如有污垢，需用清洗液清洗干净。
3. 调整喷枪位置，确保喷枪与被镀物体表面保持适当距离。
4. 打开真空泵，逐渐降低设备内部压力，达到所需真空度。
5. 按照工艺要求，调整喷枪速度、角度、压力等参数。
6. 开始喷镀，控制喷镀时间，确保镀膜均匀。
7. 镀膜完成后，关闭喷枪，逐渐提高设备内部压力，使被镀物体缓慢回到常压状态。
8. 检查镀膜质量，如需进一步处理，可进行清洗、烘烤等操作。
四、注意事项1. 操作过程中，严禁触摸高温部件，以免烫伤。
2. 操作时，严禁将手或任何物品伸入喷枪射流范围内，以免受伤。
3. 操作过程中，严禁关闭真空泵，以免损坏设备。
4. 操作结束后，关闭电源，切断水源，清理工作区域。
5. 定期检查设备各部件，确保设备正常运行。
6. 如遇设备故障，立即停止操作，并及时报修。
五、维护保养1. 定期检查真空系统，确保真空度达到要求。
2. 定期清洗喷枪，保持喷枪清洁。
3. 定期检查控制系统，确保控制系统稳定可靠。
4. 定期检查设备各部件，确保设备无松动、损坏等情况。
六、结束本规程为镀膜机操作的基本要求，具体操作需根据实际情况和工艺要求进行调整。
操作人员应严格遵守本规程，确保操作安全、设备正常运行及产品质量。
第2篇一、概述镀膜机是一种用于在物体表面形成均匀薄膜的设备，广泛应用于电子、光学、化工等领域。
蒸镀机操作手册
按下停机按钮 切断电源
穿戴防护服 预防化学物质伤害
保持设备清洁 减少事故发生
● 06
第6章 蒸镀机操作手册总结
操作技巧总结
熟练掌握蒸镀机操作技巧可以提高工作效率、 延长设备寿命。正确的操作方式能够有效避免 设备故障，保持生产效率稳定。在操作过程中 要注意细节，确保每一个步骤都按照标准流程 进行。
准备工作
在操作蒸镀机前，需要进行系统开机检查，确 保所有设备正常工作；同时要对真空泵进行抽 空，以确保腔体内的真空度符合要求；最后需 要装载材料到蒸镀机内部，确保准备工作齐全。
操作步骤
设定蒸发功率
开始蒸发
调整蒸镀机的功率，以满足 蒸发材料的需求
启动蒸镀机，让材料开始蒸 发并沉积在目标表面上
调节腔体压力
蒸镀机工作原理
加热材料 将材料加热至蒸发温度
真空蒸发 通过真空系统将蒸发的物质沉 积到基材表面
蒸镀机特点
高效性能
01 快速蒸镀过程
广泛应用
02 适用于多种材料
稳定性强
03 镀膜均匀稳定
蒸镀机与其他镀膜设备对比
蒸镀机 工作原理简单 操作便捷
溅射镀膜设备 膜层均匀度高 成本较低
离子镀膜设备 膜层致密度高 生产效率高
操作技巧总结
注意细节
延长寿命
每个步骤都要按标准流程进 行
熟练掌握技巧有助设备长久 使用
保持稳定 正确操作可维持生产效率
提高效率 有效操作可提高工作效率
操作经验分享
多年的操作经验积累，有助于准确识别故障、 快速处理问题。通过分享经验，可以帮助新手 更快速上手，提高整体团队的操作水平。在操 作过程中要注意观察，及时处理异常情况，确 保设备稳定运行。
高真空电阻蒸发镀膜机（简要版）
高真空电阻蒸发镀膜机（简要版）
高真空电阻蒸发镀膜机
操作流程
1.开循环水—开启开总开关—分子泵电源）开关—开POWER—开
电阻单元旁边开关
2.开放气阀（确定电离规已关闭），待电阻单元显示大气压时，打开
玻璃罩放入样品及蒸镀靶材
3.关放气阀—自动开机—待电离单元减至<1*10-3 (约90min)
4.设置膜层--选择材料设置最终厚度-启动蒸镀按钮—选择A/B切
换金属
5.调节电流至理想蒸发速度在0-0.1埃/秒，待膜厚到达设置厚度，
电流归零，关闭蒸发电源，自动关机
6.关闭电离规—开放气阀取出样品
7.清理玻璃罩归位后，手动开机械泵、前极阀，待电阻单元降至5Pa，
依次关闭所有电源和循环水开关。
注意事项
1.真空室保持清洁干燥，不使用时保持真空状态，玻璃钟罩避免
磕碰。
2.注意保护各种真空元件：严禁触碰晶振片，开放气阀前务必关
电离规，电阻单元降至5Pa以下才可开启分子泵。
蒸发镀膜设备软件说明书V.012
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1.0鍍膜參數。
2.0系統設定值。
3.0鍍膜紀錄。
4.0趨勢圖。
5.0自動鍍膜。
6.0冷凍幫浦。
7.0手動模式。
8.0權限設定。
9.0安全警示標示說明標示說明注意高溫請勿觸摸注意作業人員維修前請先關閉電源，避免夾手注意高壓電危險，作業人員注意安全(存在場所：高壓電極導入部份與AC 220V部份)注意機械危險，請將手遠離機械裝置注意保持通風順暢注意高壓電，維修前請先關閉電源所有使用者在開始操作系統之前，應該熟讀本使用手冊，以及內附的各項儀器手冊中所提到的安全注意事項，以幫助使用者能夠確實瞭解本系統，進而避免系統損壞或人員傷害，也才能避免不可預期的操作失誤狀況。
安全只是閱讀本手冊的好處之一。
除了安全外，還可避免於安裝及操作本系統時發生挫折，並可學習操作訣竅，節省摸索測試的時間。
安全協定本公司建議系統操作者，應該預先受過適當的製程控制原理。
重要安全提示1.在系統有害的區域中裝置硬體和軟體安全連鎖、有害警告標誌或各種安全保護裝置以保護人員在操作或維修中受到傷害。
機器使用手冊提供完善的安全操作維護的必要程序與資料，此手冊並包含有可能發生的可視有害狀況以警告個人免受傷害。
2.警告：改裝此機器設備、修改或使安全連鎖裝置失效或沒有按照建議的操作維護程序工作將造成使用人員或設備上之損害。
3.只有受過完整訓練的個人及熟悉本設備之人員可以操作或維護本設備，其餘人員則嚴禁操作或變更本設備,否則會造成人員或設備之損傷, 而造成嚴重的後果。
4.建議至少兩位訓練合格的人員一起在場才可執行維修的工作，請勿一人獨立工作。
執行任務中一位人員必須監控控制和指示號誌，另一位執行維修工作。
維修中請關閉電源。
當內部元件或線路暴露在外時必須小心謹慎，在維修前請盡可能的關閉電源並鎖住標示。
除了維修手冊允許的程序，勿修改或使安全連鎖裝置失效。
DM—300镀膜机
⏹实验原理真空镀膜是将固体材料置于真空室内，在真空条件下，将固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分子能自由地弥布到容器的器壁上。
当把一些加工好的基板材料放在其中时，蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。
真空镀膜有两种方法,一是蒸发,一是溅射。
本次实验采用蒸发方法。
在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在适当的表面上。
●真空系统(DM—300镀膜机)●蒸发源蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等●蒸发源选取原则1 有良好的热稳定性，化学性质不活泼，达到蒸发温度时加热器本身的蒸汽压要足够底。
2 蒸发源的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度。
加热器要有足够大的热容量。
3 蒸发物质和蒸发源材料的互熔性必须很底，不易形成合金。
4 要求线圈状蒸发源所用材料能与蒸发材料有良好的浸润，有较大的表面张力。
5 对于不易制成丝状、或蒸发材料与丝状蒸发源的表面张力较小时，可采用舟状蒸发源。
●薄膜厚度分布设蒸发源为点蒸发源，单位时间内通过任何方向一立体角dω的质量为：蒸发物质到达任一方向面积元ds质量为：设蒸发物的密度为ρ，单位时间淀积在ds上的膜厚为t，则比较以上两式可得：对于平行平面ds，φ=θ，则上式为：由：可得在点源的正上方区域(δ=0)时：●薄膜的厚度测量–干涉显微镜法干涉条纹间距Δ0 ，条纹移动Δ，台阶高为：测出Δ0 和Δ，即可测得膜厚t其中λ为单色光波长，如用白光，λ取⏹实验步骤1.绕制钨篮，清洗钨篮和载玻片,铝丝，祛除表面氧化物。
2制作基片，.用一窄薄铝片遮盖在载玻片上，以便镀膜完成后在基片上形成台阶。
3. 将钨篮和钼舟固定在钟罩内的电极上，并放入铝丝。
,4抽至真空度达10-6torr以上,开始蒸发镀膜。
5.镀膜完成后,处理真空机组的后续工作。
6.用称重法测薄膜的厚度。
7.用干涉法测薄膜的厚度。
⏹思考题1扩散泵启动前必须要有机械泵提供的前级真空度几pa以上，否则就会使(a)扩散泵不能正常工作 (b) 扩散泵抽速降低 (c) 扩散泵返油[答案：(a)]2真空蒸发镀膜时，轰击装置的作用是(a)使基片升温 (b) 使钟罩升温 (c) 清洁基片和钟罩内壁[答案：(c) ]3 打开钟罩之前，必须充大气，这是为了(a)用大气冷却基片 (b) 升钟罩时不损坏升降电机 (c) 大气可以保护钟罩[ 答案：(b)]4 用干涉显微镜测膜厚，如果仪器调节一切正常，不出现干涉条纹的原因可能有(a)灯光太暗 (b) 镀膜层放反 (c) 镀膜层太薄[答案：(b)(c) ]5 我们使用的DM-300真空镀膜机，为什么在机械泵和扩散泵之间要加储气罐？⏹本实验重点1． DM-300镀膜机的真空系统结构及正确操作2．分别用钨篮和钼舟做蒸发源，掌握好二者的蒸发电流和蒸发时间是镀膜质量好坏的关键。
镀膜机操作规程
镀膜机操作规程1. 引言本文档旨在规范镀膜机的操作流程，确保操作人员能够正确、安全地操作镀膜机，提高生产效率和产品质量。
操作人员应严格遵守本操作规程，并接受相关培训后方可操作镀膜机。
2. 操作前的准备工作在操作镀膜机之前，操作人员应进行以下准备工作：2.1 安全检查•检查镀膜机是否处于正常工作状态，如有故障应及时通知维修人员；•检查镀膜机周围是否有杂物，如有应清理干净；•检查操作区域是否有明显的安全隐患。
2.2 准备镀膜材料•检查镀膜材料是否齐全，并按要求进行分类和摆放；•确保所使用的镀膜材料符合产品质量要求。
2.3 准备相关工具•确保所需要的工具齐全，并放置在便于使用的位置；•检查工具是否完好，如有损坏应及时更换。
2.4 个人防护措施•操作人员应佩戴防护眼镜、防护口罩和防护手套等个人防护用品；•镀膜机操作区域应保持清洁，防止外来杂质对操作人员造成伤害。
3. 镀膜机操作流程本节将详细介绍镀膜机的操作流程，包括开机操作、膜材装载、开始镀膜、镀膜完成和关闭镀膜机等环节。
3.1 开机操作•操作人员应确保镀膜机所需的电源已接通，并确认电源稳定；•打开镀膜机主电源，待镀膜机系统启动完成后，进行下一步操作。
3.2 膜材装载•根据产品要求，选择合适的膜材，并确认膜材尺寸和规格；•打开镀膜机的膜材装载仓，将膜材平整地放置在装载仓中，并确保膜材位置准确；•根据需要，调整装载仓的装载位置。
3.3 开始镀膜•在镀膜机的控制台上设置所需的镀膜参数，包括温度、压力等；•按下启动按钮，启动镀膜机；•监控镀膜机的运行状态，确保镀膜过程正常进行；•在镀膜机完成预定的镀膜周期后，停止镀膜机的运行。
3.4 镀膜完成•关闭镀膜机主电源，切断电源供应；•检查镀膜质量是否符合要求，如有问题应及时进行调整和修正；•清理镀膜机内外的杂物和残留物，并进行保养和维护。
3.5 关闭镀膜机•关闭镀膜机控制台上的所有开关，并切断电源供应；•将镀膜机周围的工作区域清理干净，恢复整洁。
镀膜机安全操作规程
镀膜机操作规程
①开机
a 开水泵，通水。
b 开总电源开关通电，开机械泵、扩散泵开始加温
c 加温时间约40分钟。
②镀膜
a 给真空室完全充气，升起盅罩。
b 根据镀件选择合适的托盘以及钨丝的形状与尺寸，装上相应的铝片。
c 对应装上镀件，降下盅罩。
d 开粗抽阀进行粗抽，抽至3×Pa时关闭粗抽阀，打开精抽阀，当真空度抽至小于3×10-2Pa时，可以镀膜。
e 打开蒸发开关，调整蒸发电压(用2圈钨丝的控制在110-150V,用散钨丝的控制在130-190V)后开始镀膜，时间控制要精确(附件一)，动作要果断以保证镀膜质量。
f 镀膜完成，关蒸发、关精抽阀（一定要关严），然后给盅罩充气。
g 升起盅罩取出镀件，清理后进行另一个镀膜周期。
③停机
a 关扩散泵，降下盅罩、开粗抽阀抽3分钟，关闭粗抽阀进入冷却阶段。
b 冷却40分钟，关机械泵、关总电源。
指标≧95%。
DM-300B真空镀膜机使用流程
DM-300B 真空电阻蒸发复合镀膜系统使用说明1、打开总水闸通冷却水。
2、接通电源。
3、开磁力充气阀，对钟罩充气，带充分充气后，关磁力充气阀，升钟罩。
4、安装蒸发源，蒸发材料及工件。
5、在对准升降杆上的刻度后，用手辅助钟罩将钟罩降下。
6、待钟罩关闭后，开启机械泵，低阀处在“抽钟罩”位置，复合亮。
7、将旋钮置于机械泵处，对系统和钟罩抽真空直至5Pa之下。
8、当系统和钟罩的真空度都在5Pa之下，将旋钮置于械泵-分子泵处，分子泵控制器中点开始。
9、当分子泵运行到27000转稳定后，并且系统和钟罩的真空度都在5Pa之下，低阀推至“抽系统”位置，开高阀。
10、当抽至所需真空度时，开启膜厚控制仪，开工件旋转，接通烘烤蒸发，调节所需旋转速度。
11、选好蒸发电级，接通蒸发，调节调压器，逐渐加大电流，开始预熔，用挡板挡住蒸发源，避免初熔的杂质蒸到工件上。
12、加大电流开始蒸发，移去挡板进行镀膜。
13、镀膜完毕后转动挡板挡住蒸发源，迅速将调压器调至“0”。
选择电流分配器，对另一对电极工作，按10-12进行。
14、完成所有镀膜后，关蒸发，关旋转，关膜厚控制仪，点复合，关高阀，低阀拉至“抽系统”位置，停机械泵，对钟罩充气，开钟罩取器件。
15、需进行下一次镀膜时操作程序如下：（1）同4（2）关钟罩，复合亮，开机械泵，对镀膜室抽低真空。
（3）当系统和钟罩的真空度都在5Pa之下，低阀推至“抽系统”位置，开高阀。
（4）按9-13进行16、需停止镀膜机的全部工作时，点复合，关高阀，停分子泵，停机械泵。
低阀拉至“抽系统”位置，对钟罩充气，开钟罩取器件。
在取出器件之后，再将钟罩及其镀膜室内的全部零件清洗干净，扣下钟罩，开机械泵对钟罩抽至5Pa 之下，停机械泵，关复合真空计，关电源，切断冷却水，全部工作结束。
注意事项：1、镀膜进行2-3次后，必须及时清洗钟罩及镀膜室内的零件，避免蒸发物质大量进入真空系统从而破坏真空性能。
2、分子泵连续工作时，扣下钟罩后必须先对镀膜室抽低真空，当达到5Pa之下在开高阀，决不允许直接抽高空，以免分子泵过载。
热蒸发镀膜操作手册
热蒸发镀膜操作细则一、进入房间：1、换拖鞋；穿上防尘服方可进入镀膜间。
2、进入房间，打开房间总电源，照明和插座的电源、打开排气扇。
3、打开镀膜间后面的电源和水源。
二、镀膜准备工作：1、整理好基板（在进入房间后，在开始用镀膜机前，先整理好基板，这样可以减少真空室的在大气压状态下的时间，有利于机械泵和分子泵抽真空，原因：暴露在大气压下时间长的话，真空室内壁上的蒸镀材料吸收空气，这个过程比较容易，尤其是在空气湿度较大的空气下；但是放出空气就比较难了，在抽真空的工程中一点一点的排出，不利于抽到高真空。
）2、打开镀膜机的电源，打开真空检测显示真空度，看是否正常（一般在使用完镀膜机，要抽至低真空，利于保养），观察是高真空还是低真空（高真空状态下电离规工作，低真空电阻规工作）注意：电离规工作的时候不能打开放气阀，否则会烧坏电离规；如果是在高真空即电离规工作的时候可以关闭真空检测显示在开放气阀，也可以把自动改为手动，电离规切换到电阻规的时候才可以开放气阀。
3、开放气阀，直到真空室们自动打开。
（这时关闭放气阀，以免忘掉），注意：凡是遇到旋拧的步骤，不要拧的太紧，适可而止。
4、（可选步骤）换钨丝，要夹紧才行。
如果这步选择的话要重新摸索条件（包括除气条件和蒸度条件，才能正式放入样品）。
5、整理铝条（长久放置的铝条表面可能附着一层氧化铝，用丙酮擦掉）；把整理好的铝条放在钨丝上（尽量放在中间，钨丝中间的温度较高）。
检查挡板是否正常，放上挡板。
6、把基板放在基板的夹槽里。
关上真空室。
三、镀膜：（注意：在完成每一步之后，要观察一会无异常后在进行下一步的操作）1、开机械泵2、无异常后开预抽阀3、无异常后开角阀直至1Pa左右。
4、关角阀5、无异常后关预抽阀6、无异常后开前级阀7、无异常后开分子泵电源预热（约十秒）8、无异常后开分子泵9、无异常按fun/Date10、无异常后开闸板阀直到真空度达到10E-4为佳。
11、开始蒸镀：打开蒸发舟电源，启动，缓慢加电流小于等于除气最大电流A1，待除气完毕（标准是真空度不在降低，或者是时间12、除气完毕要把电流调为0，待抽至高真空10E-413、打开挡板，把电流加到蒸发电流A2（使蒸发速率保持在4A/s的电流）等达到所需膜厚度把挡板加上。
热蒸发镀膜机操作流程
热蒸发镀膜机操作流程提示：钨舟1：铝粒；钨舟2：钛粒；钨舟3：金粒；钨舟4：预留。
请勿混用。
记录本上需要记录必要的信息，比如在多少压强下镀了多厚的什么样品，花了多少时间抽到这个压强。
仪器出问题及时联系刘亮188********热蒸镀机整体结构开启1.开气路：打开所有气体开关（CDA为压缩空气，用于所有气动阀，氮气用于破真空，氩气用于清洗基片，氧气视用途而定）2.检查水路：水冷给机械泵、分子泵、样品台以及加热电极冷却。
需要确保水冷回路水压正常，如果不正常会报警。
检查方式是看小隔间中水冷管路阀门是否打开（一般处于打开状态）。
3.开电路：开配电箱中的“总电源”和“热蒸发镀膜机”开关，打开镀膜机操作柜上的“Mainpower”，查看并记录真空规I和II的压强值（查看面板上真空计显示器CHN1和CHN2）*提示：必须先开压缩气体机，且保证水冷正常，再开电路，否则开启设备时会报警：“Air”、“Water”*运行第一步准备样品4.打开机械泵，开Forline阀，将II抽至蓝色，开分子泵。
5.按上端Vent键用氮气给进料腔（样品腔室）破真空,注意及时打开上盖以截断氮气进入。
带上丁晴手套，转动样品座朝上，用螺丝刀将样品板取下，将基片固定在样品板上，然后装回样品台，转动180度朝下，关闭腔门。
6.按下端Vent键给制程腔（最大的腔）破真空。
打开腔门，按下程控界面的“shutter”键打开钨舟上方的挡板，将靶材放到钨舟中间。
然后继续按“shutter”键关上挡板（这一步一定要注意）。
钨舟易断，每次蒸镀不能放太多的金属粒。
*提示：钨舟用过一次之后不要取下，因为再装就很容易断。
装钨舟时四个螺丝要均匀用力*。
第二步抽真空7.第4步打开了分子泵，此时需要检查分子泵转速是否上升到100%8.然后就可以按下操作屏左上角的“Auto”键，系统会自动抽真空，将整个腔体5E-5Torr以下，制程腔变蓝（一般在10min以内，如果耗时很长表明可能有漏，请联系master）。
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
蒸镀机操作手册
添加标题
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检查：定期检查设备的各项功能是 否正常
记录：对设备的维护保养情况进行 记录，方便追踪管理
定期保养
清洁机器表面，保持干燥整洁
检查电线、插头和开关是否正 常
定期更换滤网和密封圈
按照制造商的推荐使用润滑油 和清洁剂
常见故障排除
蒸镀机无法启动： 检查电源是否正 常，检查电机是 否损坏
蒸镀机运行不稳 定：检查气路是 否畅通，检查加 热元件是否正常
定期对蒸镀机进行全面检查和维护， 确保设备稳定可靠。
蒸镀机安全操作规 范
安全操作规程
操作前检查：确认蒸镀机是否正常，周围环境是否安全 操作中注意事项：避免触碰高温部位，按照规定时间进行操作 操作后维护：定期检查设备，保持清洁 异常处理：发现异常情况立即停机，联系专业人员进行检查维修
安全防护措施
放置待蒸镀材料，调整位置
打开电源，启动蒸镀机
打开加热装置，设定温度和 时间
打开气体供应，调整流量和 压力
关机操作流程
关闭电源开关 关闭水源 关闭气源 清理机器表面及周围环境
蒸镀机维护保养
日常保养
清洁：定期清洁蒸镀机表面，保持 设备整洁
润滑：定期对设备进行润滑，保证 设备运行顺畅
添加标 保持对蒸镀机最 新技术和安全规 定的了解。
操作记录与报告
操作前检查：确认设备正 常，准备好所需材料
操作过程：按照手册步骤 进行操作，注意安全
操作后检查：确认设备正 常，清理现场
异常处理：遇到问题及时 报告，按照手册处理
蒸镀机性能参数与 规格
主要性能参数
蒸镀机型号：具 体型号
THANK YOU
汇报人：
湿度：相对湿度 应保持在50%70%之间
镀膜机作业指导书
晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。
2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。
4．开机械泵。
5．开扩散泵。
6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。
7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。
关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。
注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。
晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。
机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。
在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。
标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。
镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。
数值大小与电流有关。
延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。
当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。
镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。
当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。
串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。
3静态参数设置。
轰击真空预置：若真空计型号为指针，设置为0表示在低真空轰击，设置为大于0的整数，表示在高真空轰击。
若真空计型号为串口，设置为0表示在低真空轰击，设置1―100(RF离子轰击)，表示在高真空轰击。
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JSD-300型真空镀膜机
使
用
说
明
书
安徽嘉硕真空科技有限公司
目录
1、概述 (3)
2、主要技术性能参数 (3)
3、设备安装 (5)
4、操作规程 (5)
5、使用注意事项、维护与保养 (7)
6、设备主要配置 (8)
7、技术资料清单 (9)
一、概述
JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。
设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。
二、主要技术性能参数
1.真空室：φ300*H450mm；
2.基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）；
3.最大可镀工件直径：φ120mm；
4.极限真空度：1X10-4Pa;
5.抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min；
6.蒸发：电阻式蒸发电极（2对）
功率：2KW；
7.开启方式：上翻盖结构；
8.真空系统：机械泵+分子泵；
设备结构介绍：
1.真空室
钟罩结构，上盖开启。
不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底
板、蒸发源等；
2.真空系统
采用分子泵+旋片式机械泵。
采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构；
3.电气系统
电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。
系统示意图如下所示：
图1 JSD-300真空镀膜机示意图
调节旋纽
电控面板 电流表 蒸发开关 膜厚仪探头
步进电机
插板阀
预抽阀门
备用接口 分子泵电源
前门板
总开关
电离单元 观察窗挡板 真空室 陶封电极 电机控制器
电阻单元
真空计
膜厚仪 加热温控电源 封板
地脚
脚轮
观察窗 温控仪表
三、设备安装
3.1、机架平面尺寸：L1200×W700mm。
3.2 、配套设施准备
设备安装前，客户应提供如下条件：
3.2.1 整机配电要求
安装位置附近应有易得的电源插座；
供电：交流220V，8KW。
3.2.2 联接地线要求
本设备必须进行良好接地。
使用前，需将设备与安装场地内的地线进行有效连接。
3.2.3 冷却水安装
设备使用时，须对分子泵、电极等进行冷却。
设备使用前，先接通冷却水。
四、操作规程
4.1 开机准备工作
4.1.1 总供电检测：用万用表测量用户端的电压是否正常，若为三相，检测三相是否正常，零线及地线是否有效；
4.1.2 冷却水检测：将设备的冷却水接通后打开冷却水阀门，为设备供水，观察出水口是否有水流出，保证各水路畅通。
4.1.3 电气检查：检查总供电电源配线是否完好，地线是否接好，所有仪表电源开关全部处于关闭状态。
4.1.4 真空系统检测：检查分子泵、机械泵油是否达到使用要求。
检查所有手动阀门是否处在关闭状态（注意，本设备中所使用的手动阀门，顺时针方向为关，逆时针为开）。
确定真空室已经处在抽真空的准备状态。
4.1.5 镀材安装：本设备的配置二组蒸发电极，蒸镀前在蒸发舟上安装需要镀制的材料。
4.1.6 基片安装：先将样品（待镀基片）清洗干净后，将基片装到基片盘上。
4.2 开机
4.2.1 启动总电源：确认所有电源开关都在关闭状态后，转动总控制电源开关，相关仪器表盘灯亮，供电正常。
如果相关仪器表盘灯不亮，应检查供电电源是否有问题。
在确认电源正常之后方可进行下一步工作。
4.2.2 启动机械泵: 按下控制面板上的机械泵开关，机械泵指示灯亮，此时机械泵工作。
机械泵工作后，打开预抽阀，对真空室进行抽气，然后打开电磁阀对分子泵泵腔进行预抽。
打开真空室复合真空计进行测量。
（复合真空计及规管说明书见附件：《微机型数显复合真空计使用说明书》。
）
4.2.3 启动分子泵：确认分子泵的冷却水均处于接通状态，待真空度达到10Pa以下时，打开分子泵控制器（按下分子泵控制电源面板上的工作按纽），启动分子泵，约1-2分钟分子泵完全启动后，关闭预抽阀，打开插板阀对真空室进行抽气。
4.3 镀膜
用分子泵+机械泵对真空室连续抽真空，利用复合真空计监测真空室内的真空度。
待真空室内本底真空度达到本次实验所预期要求后，即可准备镀膜工作。
4.3.1先将调压开关调整至零位（逆时针转到最小）；
4.3.2确定蒸镀电极，在控制面板上先确定本次实验所需要的一组或多组电极，再根据实验需要依次或同时打开一组或二组电极；
4.3.3开启实验所需要的蒸发电压按钮，旋转调压器（00-100A左右），先将电阻蒸发丝预热，然后调整蒸发电流直至膜材完全蒸发。
4.3.4设备配套一个四通道膜厚仪，在镀膜过程中可实时监测膜厚，具体操作方法见使用说明书
4.3.5设备配置一套温控加热电源，可在加热过程中对基片加热，加热温度0-300度连续可调；
4.4 关机
4.4.1 停止镀膜
镀膜完成后，将调压器旋至零位，关闭蒸发电源按钮，关闭插板阀后关闭分子泵，约2-3分钟后，分子泵完全停下后既可断开冷却水，再关闭前级真空泵，关闭相应的电源。
4.4.2 关闭系统
完成镀膜后，开启放气阀，打开真空室取出样品，之后使用前级真空泵对真空室进行抽空后关闭电源。
保持真空室处于真空状态。
五、使用注意事项、维护与保养
5.1 使用注意事项
5.1.1 设备应在清洁的室内环境使用。
5.1.2分子泵、机械泵的使用和维护应严格按照相应说明书上的规定进行。
5.1.3 真空室暴露大气应尽可能的短，同时暴大气时应关紧插板阀，以免分子泵、抽气管路等受到污染。
5.1.4样品可随炉冷却，真空室内温度≤60℃以下时再暴露大气。
5.1.6 对真空室内零件进行操作（包括蒸发舟、镀材等）时，要注意真空室的清洁。
5.2 维护和保养
5.2.1 设备运行一段时间后，若真空度有下降现象，应及时检查各法兰密封口是否有胶圈老化及螺钉松动现象，并及时更换胶圈，拧紧螺钉。
5.2.2 遇有前级真空抽不上去时，除了要尽力排除前级管道及电磁阀的泄露之外，要检查机械泵是否油不够或油质变劣，要定期查看油标，及时加注或更换泵油。
分子泵的油标也要定期检查（约半年时间查一次）。
六、设备主要配置
项目单
位数
量
规格产地备注
J S D 3 0 0真空镀膜机真空室（不锈钢）只 1 Φ300×H450 安徽嘉硕真空室壁+上盖、底板+
观察窗等设备机架台 1 安徽嘉硕包括电气面板
插板阀只 1 DN100 连接真空室和主泵
机械泵（配KF25
放气阀）
台 1 上海前级+预抽分子泵台 1 180L 北京主泵
电磁阀台 1 KF25 上海
充气阀台 1 安徽嘉硕
管路与接口批 1 安徽嘉硕
真空计（1电离+1
电阻）
套 1 成都
膜厚仪套 1 上海
电极套 3 安徽嘉硕
照明套 1 安徽嘉硕
烘烤套 1 安徽嘉硕
蒸发电源套 2 安徽嘉硕
温控电源套 1 安徽嘉硕
其他套 1 安徽嘉硕
标准件、配件、附
件
套 1 安徽嘉硕
七、技术资料清单
名称数量备注附件1 JSD-300 真空镀膜机使用说明书 1
附件2 分子泵使用说明书 1
附件3 双级旋片真空泵使用说明书 1
附件4 微机型数显复合真空计使用说明书 1 含规管使用说明附件5 FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书 1 上海泰尧。