TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介
玻璃的减薄技术及不良影响(研究运用)
2.蚀刻溶液依 靠重力下流， 蚀刻玻璃基材 表面 。
专业应用
5
技术一：蚀刻 减薄流程
清Te洗xt in here
蚀刻
Slimming
清洗
6
专业应用
减薄设备
Loader 单元
预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置
专业应用
7
专业应用
21
技术二：真空激光减薄
所谓真空激光减薄技术, 是指利用激光器发 出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并 调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化, 从而达到减薄膜层的目的。
专业应用
8
技术二：真空激光减薄
系统原理： 激光束经过聚焦、偏转后, 经
由石英窗口, 照射放置在真空度为 10- 3 Pa 高真空环境中的待加工 晶片, 以实现对晶片表面银电极层 的激光减薄。 系统工作原理图如图。
专业应用
13
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
专业应用
14
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻时 局部蚀刻不一致
玻璃本身含 有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干 净，有残留 2. PT等未清 洗干净
工艺设备
专业应用
15
Slimming后划伤
Human eye invisible
Slimming前发生 轻微Scratch
专业应用
9
技术二：真空激光减薄
优点：( 1) 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象; ( 2) 工作在真空环境下,膜层减薄过程 中不会出现对膜层污染、氧化等问题, 加之激光加工为非接触加工, 不会对膜 层产生机械损伤; ( 3) 利用激光移动灵活的特点, 可以实 现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。
tftlcd制造工艺流程
tftlcd制造工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor.I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!TFT-LCD制造工艺流程详解TFT-LCD，即薄膜晶体管液晶显示器，是目前广泛应用的显示技术之一。
TFT-LCD工艺流程讲解学习
TFT-LCD工艺流程讲解学习第二章TFT显示器的制造工艺流程和工艺环境要求第一节阵列段流程一、主要工艺流程和工艺制程（一）工艺流程（二）工艺制程1、成膜：PVD、CVD2、光刻：涂胶、图形曝光、显影3、刻蚀：湿刻、干刻4、脱膜二、辅助工艺制程1、清洗2、打标及边缘曝光3、AOI4、Mic、Mac观测5、成膜性能检测（RS meter、Profile、RE/SE/FTIR）6、O/S电测7、TEG电测8、阵列电测9、激光修补三、返工工艺流程PR返工Film返工四、阵列段完整工艺流程五、设备维护及工艺状态监控工艺流程Dummy Glass的用途Dummy Glass的流程第二节制盒段流程取向及PI返工流程制盒及Spacer Spray返工流程切割、电测、磨边贴偏光片及脱泡、返工第三节模块段流程激光切线、电测COG邦定、FPC邦定、电测装配、电测加电老化包装出货TFT 显示器的生产可以分成四个工序段：CF 、TFT 、Cell 、Module 。
其相互关系见下图：阵列段是从投入白玻璃基板，到基板上电气电路制作完成。
具体见下图：CF工序是从投入白玻璃基板，到黑矩阵、三基色及ITO制作完成。
具体见下图：Cell工序是从将TFT基板和CF基板作定向处理后对贴成盒，到切割成单粒后贴上片光片。
具体见下图：Module工序是从LCD屏开始到驱动电路制作完成，形成一个显示模块。
具体示意图如下：在以下的各节中，我们将逐一介绍TFT、Cell、Module的工艺制程。
由于天马公司现在没有规划CF 工厂，所以CF的工艺流程在此不作详细介绍。
第一节阵列段流程一、主要工艺流程和工艺制程（一）工艺流程上海天马采用背沟道刻蚀型（BCE）TFT显示象素的结构。
具体结构见下图：C'Storage capacitorITO pixel electrodeCros-s ection -C’a-Si TFTSelect lineData line对背沟道刻蚀型TFT结构的阵列面板，根据需要制作的膜层的先后顺序和各层膜间的相互关系，其主要工艺流程可以分为5个步骤（5次光照）：第一步栅极（Gate）及扫描线形成具体包括：Gate 层金属溅射成膜，Gate 光刻，Gate 湿刻等工艺制程（各工艺制程的具体介绍在随后的章节中给出）。
玻璃减薄技术.
玻璃液的拉薄
施。实践证明，温度范围883～769℃，有利于 玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了 展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得 的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要 求安置若干个拉边机。
7
影响成型质量的因素
影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出 现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致 停产，其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温 度制度、气氛制度、压力制度等项。
优点： 1.表面最光滑，甚 至可以不用抛光
15
减薄流程
清洗 Text in here
蚀刻
Slimming
清洗
16
减薄设备
Loader 单元 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
温度控制器
洗气装置
17
减薄工艺参数
1.反应时间与玻璃质量损失的关系
SEM对TFT端子部的表面和断面的观 察分析
31
End
谢谢！
32
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
18
减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系
19
减薄工艺参数
3.反应速率与HF酸浓度的关系
图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系
说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分，因为以氢键形式存在 的H－F键比HF分子中的H－F键更 脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。
LOGO
玻璃减薄 技术
材科112 贺文杰 201101524215
AMLCD (TFT) 的后工艺简介和常见问题及处理方法
2.2.1 像素与子像素 2.2.2 点缺陷的定义 2.2.3 点缺陷的分类 2.2.4 点缺陷的处理方法 2.2.5 实际生产中点缺陷的可接受标准 §2.3 线缺陷 2.3.1 线缺陷的定义 2.3.2 线缺陷的分类 2.3.3 线缺陷的处理方法
1.TCP 切割和 TCP 邦定相关的线缺陷 2.静电相关的线缺陷 3.特殊原因引起的线缺陷 §2.4 其他的缺陷 2.4.1 偏振片相关缺陷的处理方法 2.4.2 显示功能缺陷的处理方法 后记
页码
……………………………………………… 1 ……………………………………………… ……………………………………………… 1 ……………………………………………… 1 ……………………………………………… 2 ……………………………………………… 3 ……………………………………………… 4 ……………………………………………… ……………………………………………… 4 ……………………………………………… 7 ……………………………………………… 7 ……………………………………………… 7 ……………………………………………… 8 ……………………………………………… 8 ……………………………………………… ……………………………………………… 11 ……………………………………………… 11 ……………………………………………… 13 ……………………………………………… 14 ……………………………………………… 14 ……………………………………………… 15 ……………………………………………… 16 ……………………………………………… 17 ……………………………………………… 17 ……………………………………………… 17 ……………………………………………… 18
TFT_LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介
玻璃本身含有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）
17
Slimming后划伤
Human eye invisible Slimming前发生轻微Scratch
Slimming
13
减薄清洗单元（后）
DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡
a. DI水 b. 常温 C. 5min
a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min
a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min
a. DI水 b. 常温 C. 5min
清洗
14
研磨
Reject
外观检查
Item
Picture
适应产品 可修复不良
CAPA
Polishing
自动研磨
清洗
外观检查
手动研磨
无破损产品 不良率高发，严重不良 Q-panel抛光，效率高
所有产品 不良率较低的轻微不良 针对单点不良修复，效率低
15
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
16
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
Slimming后Scratch程度加重
18
Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
19
Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
20
Slimming后划伤
3.轮印
21
造成B-ITO不良
1.水渍酸印 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
tft-lcd工艺
tft-lcd工艺TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）是现代平面显示器的一种主流技术，广泛应用于智能手机、电视、电脑显示器等各种设备中。
TFT-LCD工艺是制造TFT-LCD的一系列技术过程，包括掩膜制作、刻蚀、沉积薄膜等多个步骤。
本文将对TFT-LCD工艺进行详细介绍。
TFT-LCD工艺通常由以下几个步骤组成：第一步是掩膜制作。
在TFT-LCD的生产过程中，需要使用金属掩膜来定义每个像素的位置。
通过光刻技术，将金属掩膜上的图案转移到底片上，形成像素点的排列。
这个步骤的关键是确保掩膜的制作精度和稳定性。
第二步是刻蚀。
刻蚀是将底片上金属掩膜之外的区域去除，只保留需要的图案。
这可以通过化学或物理的方式完成。
刻蚀是整个工艺中最关键的一步，任何偏差都可能导致显示器的质量问题，因此需要非常精确和细致的处理。
第三步是沉积薄膜。
TFT-LCD中的薄膜分为多层，包括背板、栅极、源极、漏极等各种功能层。
通过化学气相沉积或物理气相沉积技术，可以将这些薄膜一层层地覆盖在底片上。
每层薄膜的厚度和性质都需要严格控制，以确保显示器的性能。
第四步是液晶注入和密封。
在前面的步骤中，已经制作好了底板和上层玻璃基板。
这两个基板之间需要注入液晶，然后密封起来，形成显示器的组装。
液晶注入需要在无尘室条件下进行，以防止杂质进入液晶层。
密封需要使用高精度的设备确保两个基板之间的间隙均匀。
第五步是后道工艺。
后道工艺主要包括退火、切割、组装等步骤。
退火是为了改善TFT电流和透光率的特性，提高显示器的性能。
切割是将大尺寸的面板切割成小尺寸的显示器，方便后续的组装。
组装包括贴合触摸屏、封装等过程，将显示器组装成最终的产品。
总之，TFT-LCD工艺是一项十分复杂而精密的技术。
它需要高度纯净的生产环境、精密的设备和高水平的技术人员来完成。
通过掩膜制作、刻蚀、沉积薄膜、液晶注入和密封、后道工艺等多个步骤，可以制造出高性能、高品质的TFT-LCD显示器。
液晶显示器(TFT-LCD )基础知识及工艺流程
26
二、TFT/CTP模组生产流程
2.1 模组工艺流程
插架
TFT-LCD清洗
邦
定
端子擦拭
IC邦定
贴片 镜检
镜检
点银浆
COG电测
邦定车间
消泡 ACF贴附
透光检查 FOG主压
涂面胶涂线胶Fra bibliotek贴片外观 组 装
贴黄胶纸
组装CTP
组装车间
贴遮光纸 FPC对位 FQC电测
组装背光 背光电测 FQC外观
28
二、TFT/CTP模组生产流程
2.1 模组工艺流程
水线超声清洗
自动进料
超声鼓泡水溶性 洗剂清洗
作 业 流 程
全自动化清洗操作，可彻底清洁LCD 表面和夹缝脏污，保证洁净度。
Back-Light Power Supply
5
一、TFT基础知识介绍
1.1 TFT基础原理-结构图
6
一、TFT基础知识介绍
1.1 TFT基础原理-结构图
7
一、TFT基础知识介绍
1.1 TFT基础原理-TFT阵列模拟电路
Frame Time Gate pulsewidth
． ． ． ． ．
D1
4
一、TFT基础知识介绍
1.1 TFT基础原理-结构图
Video Data
LCD Timing Controller Timing Control
Graphic Card Signal
Scan Driver
Power Supply Circuit
Data Driver
TFT-LCD Array
Back-Light
15
TFT LCD简介与生产工艺流程
sunyes
6
TFT LCD简介与生产工艺流程
偏光板的特性
作用：将非偏极光（一般光线）过滤 成偏极光。 当非偏极光通过a方向的偏光片时，光 线被过滤成与a方向平行的线性偏极光。
右上图：线性偏极光继续前进，通过 第二片偏光片时，光线通过。
右下图：通过第二片时，光线被完全 阻挡。
sunyes
7
TFT LCD简介与生产工艺流程
Scribing & Breaking
sunyes
29
TFT LCD简介与生产工艺流程
Cutting Method
1ST CUTTING
2ND CUTTING
sunyes
30
TFT LCD简介与生产工艺流程
LCD面板世代
对设备的影响
玻璃基板的尺寸变大直接音响 电极图案形成设备。（Array）
e.g.成膜设备：占地面积加大与 确保膜厚均匀性等问题。 e.g.湿式设备：更换效率与节省 水等问题。 切割尺寸增大直接影响面板组 装设备。（CELL） e.g.液晶注入设备：处理时间过 长等问题。 次代交替快，产品生命周期短， 厂商设备开发成本高。
sunyes
24
TFT LCD简介与生产工艺流程
湿式洒布
sunyes
25
TFT LCD简介与生产工艺流程
Hot Pressure
sunyes
26
TFT LCD简介与生产工艺流程
Hot Press
sunyes
27
TFT LCD简介与生产工艺流程
Cell Process(3)
sunyes
28
TFT LCD简介与生产工艺流程
sunyes
12
TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介
瀑布流
优点： 1.表面最光滑，甚 至可以不用抛光
8
减薄流程
T清e洗xt in here
蚀刻
Slimming
清洗
9
减薄设备
Loader 单元
预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置
10
减薄工艺参数
1.反应时间与玻璃质量损失的关系
适应产品 可修复不良
CAPA
Polishing
自动研磨
清洗
外观检查
手动研磨
无破损产品 不良率高发，严重不良 Q-panel抛光，效率高
所有产品 不良率较低的轻微不良 针对单点不良修复，效率低
15
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
16
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O
液体+固体（玻璃）->液体
1
2
原理及方式
4 3
7
三种方式优缺点
多片直立浸泡
优点： 1.可以同时间处理 多片玻璃。 缺点： 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物, 白色粉沫，容易粘 附在Glass上。
单片直立喷洒
优点： 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点： 1.蚀刻表面易产生 凹点。
•
6、意志坚强的人能把世界放在手中像 泥块一 样任意 揉捏。 2020年 12月10 日星期 四上午 2时39 分34秒0 2:39:34 20.12.1 0
•
7、最具挑战性的挑战莫过于提升自我 。。20 20年12 月上午 2时39 分20.12. 1002:3 9December 10, 2020
玻璃减薄技术.[文字可编辑]
![玻璃减薄技术.[文字可编辑]](https://img.taocdn.com/s3/m/fc2b7232770bf78a652954dd.png)
玻璃减薄 技术
?浮法减薄技术 ?TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及
不良简介
2
浮法减薄技术
1
浮法玻璃成型的定义
2
浮法玻璃成型原理
3
玻璃液的拉薄
4
影响成型质量的因素
3
浮法玻璃成型的定义
? 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优 质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地 流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自 身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、 在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控 制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻 璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优 于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。
玻璃本身含有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
123...瀑N设o布备zz流故le分堵障叉塞（（ （Co瀑喷n布淋ve流式ye蚀蚀r）刻刻方方式式））
24
Slimming后划伤
Human eye invisible Slimming 前发生轻微Scratch
Slimming
获得光亮、平整的 表面。止强酸破坏 Cell封框胶以及进入 Cell 内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏构TFT结
12
封胶
加盖遮光垫
GLS
边框胶
涂胶
灯 UV
UV 固化
涂胶后检查
8
TFT-LCD面板 玻璃减薄
1
减薄的作用
玻璃的减薄技术及不良影响
出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并
调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化,
从而达到减薄膜层的目的。
8
技术二：真空激光减薄
系统原理：
激光束经过聚焦、偏转后, 经
由石英窗口, 照射放置在真空度为
10- 3 Pa 高真空环境中的待加工
晶片, 以实现对晶片表面银电极层
的激光减薄。
系统工作原理图如图。
9
技术二：真空激光减薄
优点：( 1) 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象; ( 2) 工作在真空环境下,膜层减薄过程
中不会出现对膜层污染、氧化等问题,
加之激光加工为非接触加工, 不会对膜 层产生机械损伤; ( 3) 利用激光移动灵活的特点, 可以实 现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。
合理配置好
纵向和横向
控制好锡液 流动
控制好玻璃
拉边机进行 双向拉薄
液的温度
12
技术五：逐级渐开拉薄法
1、是在试验的基础上建立起来的； 2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中, 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法, 对 原有的拉薄方法( 强冷重热拉薄法、徐 冷拉薄法和双向展薄法) 进行了试验探索； 3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满
2.蚀刻溶液依 靠重力下流， 蚀刻玻璃基材 表面 。
5
技术一：蚀刻 减薄流程
清洗 Text in here
蚀刻
Slimming
清洗
6
减薄设备
Loader 单元 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
TFTLCD模组工艺介绍
TFTLCD模组工艺介绍TFT（Thin-Film Transistor）液晶显示模组是一种先进的平面显示技术，广泛应用于智能手机、平板电脑、电视和计算机等电子设备中。
TFT液晶模组是由TFT液晶面板、背光源、IC驱动器、触摸面板和其他辅助零部件组成的。
本文将介绍TFT液晶模组的工艺流程。
1.玻璃基板处理：TFT液晶模组的制造过程通常从玻璃基板处理开始。
通常使用的是玻璃基板，大多数情况下是高质量的平板玻璃。
这些玻璃基板首先会经过清洗、干燥和去除尘埃等步骤，以确保基板的表面净度和平整度。
2.色彩滤光片制备：每个像素都有一个三原色滤光片，用于产生各种颜色的显示效果。
色彩滤光片通常由高分子材料制成，然后通过为每个像素区域逐一着色。
3.涂布薄膜制备：在液晶显示模组中，涂布多种材料用于形成不同的薄膜。
其中包括ITO（Indium Tin Oxide）透明导电薄膜，以及对齐膜和保护膜等。
这些薄膜通常通过溅射或喷涂等技术进行制备。
4.铭刻和曝光：在液晶显示模组中，部分结构需要通过光刻技术进行制备。
这需要使用光刻胶来覆盖材料表面，然后在光刻设备中进行曝光和开发，以形成所需的结构。
5.触摸屏集成：一些TFT液晶模组还包括触摸屏功能。
触摸屏通常是通过喷墨印刷或蒸发沉积技术制备的，并与液晶面板的一侧集成，以实现触摸操作功能。
6.液晶面板组装：在液晶显示模组制造的最后阶段，液晶面板和其他组件被组装在一起。
这包括将色彩滤光片、背光源、IC驱动器和触摸屏等各个部分组装在一起，并使用胶水、紧固件和导电胶来确保它们的稳定性和连接性。
7.测试和封装：在TFT液晶模组制造过程的最后，模组会经过严格的测试和封装，以确保其质量和性能。
测试通常包括检查显示质量、触摸屏响应和背光源亮度等方面。
总的来说，TFT液晶模组的制造过程非常复杂，需要多个步骤和不同的技术。
通过这些工艺，可以生产出高质量、高分辨率和高性能的液晶显示模组，满足现代电子设备对显示质量的要求。
TFT-LCD 不良品解析教材
一、流程1、Cell 流程Cell King →Laser Cut →COG/FPC →目检→PCB →PCB-Test →Silicon →P/APacking ←←Aging2、Repair 区Cell 流程各站不良品→FMA →IC/FPC Remove →Clean →COG-Repair →目检→Repair-Test →刷帐出货 →PCB-Repair →Repair-Test →刷帐出货→Laser-Repair →Repair-Test →刷帐出货→POL-Repair →POL Repair-Test →刷帐出货Cell Tudge →Scarp二、FMA 分析流程 开始→维修单的检查→目检→画面检查→Defect 判断、分析、填写Repair 单并在Run Card 上画“正”异常标准：1、From P/T 站在一个班内，同一线别，同一Model ，同一现象的由同一原因引起的3PCS Defect Panels 即为异常，需通知ON-Line 训练员或者轮班制程工程师2、From P/A 站在一个班内，同一现象，同一线别，同一Model ，由同一原因引起的2PCS Defect Panels 即为异常，特别的，如果发现reason 为IC&FPC 压痕不良/broken 1PCS ，PCB 撞伤/夹伤1PCS ，ASIC NG 1PCS ，需通知ON-Line 训练员或者轮班工程师。
3、From F/D 站在一个班内，同一现象，同一线别，同一Model ，由同一原因引起的2PCS Defect Panels 即为异常，特别的，如果发现reason 为IC&FPC 压痕不良/broken 1PCS ，PCB 撞伤/夹伤1PCS ，ASIC NG 1PCS ，需通知ON-Line 训练员或者轮班工程师。
三、操作规范FMA TAB/COFR-ASSY维修或报废 【不良品重工作业规定】 无异常 结束 如构成异常通知FMA 工程师1、准备作业：打开离子吹风机的电源开关，将风速打到二档，打开画面测试终端机（SI-300）的电源开关，选择所测试机种程序。
玻璃减薄技术
TFT-LCD面板 玻璃减薄
1
减薄的作用
2
减薄工艺简介
3
常见的减薄不良
9
减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
10
减薄工艺简介
封胶
减薄
研磨
防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ，破坏封框胶，进 入Cell内部，影响 产品性能。
用酸碱对Glass进 行刻蚀，从而达到 减薄的目的。
29
其它不良
1.电阻超标 原因： 酸残留
30
ห้องสมุดไป่ตู้
与减薄有关的性耐性
▪ 对LCM进行冲击和跌落。 ▪ 对LCM进行显示检查和外观检查
牢固度确认
玻璃基板表面蚀刻状况确认
▪ 将其放入冷热交替的冷热槽中 ▪ 对LCM进行显示检查和显微镜
Glass外观检查
TFT端子部腐蚀状况的确认
▪ 高温高湿的老化槽内进行的持续老化。 ▪ SEM对TFT端子部的表面和断面的观
获得光亮、平整的 表面。
11
封胶
UV胶
封胶工艺
防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏TFT结 构
12
封胶
加盖遮光垫
GLS
边框胶 涂胶
UV灯 UV固化
涂胶后检查
察分析
31
End
谢谢！
32
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
18
减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
tftlcd结构和基本生产工艺流程
tftlcd结构和基本生产工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor.I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!TFT-LCD结构解析与基本生产工艺流程详解TFT-LCD，全称为 Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display，即薄膜晶体管液晶显示器，是目前广泛应用的显示技术之一。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O
液体+固体（玻璃）->液体
1
2
原理及方式
4 3
7
三种方式优缺点
多片直立浸泡
优点： 1.可以同时间处理 多片玻璃。 缺点： 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物, 白色粉沫，容易粘 附在Glass上。
单片直立喷洒
优点： 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点： 1.蚀刻表面易产生 凹点。
LOGO
TFT-LCD面板玻璃减薄工 艺流程及不良简介
Contents
1
减薄的作用
2
减薄工艺简介
3
常见的减薄不良
2
减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
3
减薄工艺简介
封胶
减薄
研磨
防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ，破坏封框胶，进 入Cell内部，影响 产品性能。
用酸碱对Glass进 行刻蚀，从而达到 减薄的目的。
2020 2:39:34 AM02:39:342020/12/10
• 11、自己要先看得起自己，别人才会看得起你。12/10/
谢 谢 大 家 2020 2:39 AM12/10/2020 2:39 AM20.12.1020.12.10
• 12、这一秒不放弃，下一秒就会有希望。10-Dec-2010 December 202020.12.10
Slimming后Scratch程1. Lift Pin 凹点
19
Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
20
Slimming后划伤
3.轮印
21
造成B-ITO不良
1.水渍酸印 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
瀑布流
优点： 1.表面最光滑，甚 至可以不用抛光
8
减薄流程
T清e洗xt in here
蚀刻
Slimming
清洗
9
减薄设备
Loader 单元
预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置
10
减薄工艺参数
1.反应时间与玻璃质量损失的关系
察分析
24
End
谢谢！
25
•
1、有时候读书是一种巧妙地避开思考 的方法 。20.1 2.1020. 12.10Thursday, December 10, 2020
•
2、阅读一切好书如同和过去最杰出的 人谈话 。02:3 9:3402: 39:3402 :3912/ 10/2020 2:39:34 AM
•
6、意志坚强的人能把世界放在手中像 泥块一 样任意 揉捏。 2020年 12月10 日星期 四上午 2时39 分34秒0 2:39:34 20.12.1 0
•
7、最具挑战性的挑战莫过于提升自我 。。20 20年12 月上午 2时39 分20.12. 1002:3 9December 10, 2020
22
其它不良
1.电阻超标 原因： 酸残留
23
与减薄有关的性耐性
▪ 对LCM进行冲击和跌落。 ▪ 对LCM进行显示检查和外观检查
牢固度确认
玻璃基板表面蚀刻状况确认
▪ 将其放入冷热交替的冷热槽中 ▪ 对LCM进行显示检查和显微镜
Glass外观检查
TFT端子部腐蚀状况的确认
▪ 高温高湿的老化槽内进行的持续老化。 ▪ SEM对TFT端子部的表面和断面的观
适应产品 可修复不良
CAPA
Polishing
自动研磨
清洗
外观检查
手动研磨
无破损产品 不良率高发，严重不良 Q-panel抛光，效率高
所有产品 不良率较低的轻微不良 针对单点不良修复，效率低
15
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
16
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
•
3、越是没有本领的就越加自命不凡。 20.12.1 002:39: 3402:3 9Dec-20 10-Dec-20
•
4、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的 错儿。 02:39:3 402:39: 3402:3 9Thursday, December 10, 2020
•
5、知人者智，自知者明。胜人者有力 ，自胜 者强。 20.12.1 020.12. 1002:3 9:3402: 39:34D ecembe r 10, 2020
•
8、业余生活要有意义，不要越轨。20 20年12 月10日 星期四 2时39 分34秒0 2:39:34 10 December 2020
•
9、一个人即使已登上顶峰，也仍要自 强不息 。上午 2时39 分34秒 上午2时 39分02 :39:342 0.12.10
• 10、你要做多大的事情，就该承受多大的压力。12/10/
13
减薄清洗单元（后）
DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡
a. DI水 b. 常温 C. 5min
a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min
a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min
a. DI水 b. 常温 C. 5min
清洗
14
研磨
Reject
外观检查
Item
Picture
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
11
减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温1度2之间的关系
减薄工艺参数
3.反应速率与HF酸浓度的关系
图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系
说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分，因为以氢键形式存在 的H－F键比HF分子中的H－F键更 脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。
获得光亮、平整的 表面。
4
封胶
UV胶
封胶工艺
防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏TFT结 构
5
封胶
加盖遮光垫
GLS
边框胶 涂胶
UV灯 UV固化
涂胶后检查
6
减薄原理及方式
玻璃本身含有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）
17
Slimming后划伤
Human eye invisible Slimming前发生轻微Scratch
Slimming